"deificación," en el siglo XVII, proviene del Latín Tardío apotheosis "deificación," especialmente de un emperador o persona real, del Griego apotheosis, de apotheoun "hacer (a alguien) un dios," de apo, que significa, en este caso, "cambiar" (ver apo-) + theos "dios" (del raíz PIE *dhes-, formando palabras para conceptos religiosos).

"la doctrina de que no hay Dios;" "la falta de creencia en cualquier regularidad en el universo a la cual el hombre debe conformarse bajo penas" [J.R. Seeley, "Religión Natural," 1882], 1580s, del francés athéisme (16c.), con -ism + griego atheos "sin dios, negando a los dioses," de a- "sin" (ver a- (3)) + theos "un dios" (de la raíz PIE *dhes-, formando palabras para conceptos religiosos). Una forma ligeramente anterior se representa por atheonism (1530s) que quizás proviene del italiano atheo "ateo." También comparar atheous. El sustantivo antiguo griego era atheotēs "impiedad."

En el siglo XIX tardío, a veces se distinguía aún más en sentidos secundarios: "La negación del teísmo, es decir, de la doctrina de que la gran primera causa es una persona suprema, inteligente y justa" [Diccionario Century, 1897] y "indiferencia práctica y desprecio hacia Dios, falta de fe."

In the first sense above given, atheism is to be discriminated from pantheism, which denies the personality of God, and from agnosticism, which denies the possibility of positive knowledge concerning him. In the second sense, atheism includes both pantheism and agnosticism. [Century Dictionary]

En el primer sentido dado anteriormente, atheism debe ser discriminado de pantheism, que niega la personalidad de Dios, y de agnosticism, que niega la posibilidad de conocimiento positivo acerca de él. En el segundo sentido, el ateísmo incluye tanto el panteísmo como el agnosticismo. [Diccionario Century]