‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .

‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺠﺎﻣﻌﺔ ﺍﻟﺘﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺔ‬
‫ﻗﺴﻢ ﺍﻟﻌﻠﻮﻡ ﺍﻟﺘﻄﺒﻴﻘﻴﺔ‬
‫ﻓﺮﻉ ﺍﻟﻠﻴﺰﺭ‬

‫ﻣﺤﺎﻇﺮﺍﺕ ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ﻭﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺮﻗﻴﻘﺔ‬

‫ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﻋﺒﺪ ﺍﻟﻜﺎﻇﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫‪٢٠٠٩-٢٠٠٨‬‬

‫‪١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :١‬ﻤﻬﺎﺭﺍﺕ ﺃﺴﺎﺴﻴﺔ )‪(Basic Skills‬‬
‫ﺴﻭﻑ ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺘﻘﺩﻴﻡ ﻤﻠﺨﺹ ﺒﺎﻟﻤﻬﺎﺭﺕ ﺍﻷﺴﺎﺴﻴﺔ ﻓﻲ ﻤﺠﺎل ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺎﺕ‪ ،‬ﺘﺤﻭﻴل ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ‪ ،‬ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻤﺘﺭﻱ‪ ،‬ﻤﻘﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻁﺒﻴﻌـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﺌﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ‪ ،‬ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﻭﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺍﻟﺒﻴﺎﻨﺎﺕ‪.‬‬
‫ﻤﻠﺨﺹ ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺎﺕ )‪:(Review Mathematics‬‬
‫ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺠﺭﻯ ﺘﺴﺠﻴل ﺩﻗﻴﻕ ﻭﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻭﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺘﺩﻭﻴﻥ ﻟﻠﺒﻴﺎﻨﺎﺕ‪ .‬ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻘﺴﻡ ﺍﻟﻰ ﺜـﻼﺙ ﺍﻨـﻭﺍﻉ‪:‬‬
‫ﺍﺭﻗﺎﻡ ﺼﺤﻴﺤﺔ‪ ،‬ﺍﺭﻗﺎﻡ ﺤﻘﻴﻘﻴﺔ ﻭﺍﺭﻗﺎﻡ ﺒﻜﺴﻭﺭ‪ .‬ﺴﻭﻑ ﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺭﻤﻭﺯ )× ‪ (- ، + ، ÷ ، / ،‬ﻟﻼﺸﺎﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺩﻭﺍل ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻓﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﺼﺤﻴﺤﺔ )‪ :(Integers‬ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﻜﺎﻤﻠﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﺴﺎﻟﺒﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪1,000,000 ،-7 ،3 :‬‬
‫ﺍﻻﻗﺎﻡ ﺍﻟﺤﻘﻴﻘﻴﺔ )‪ :(Real Numbers‬ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﻓﺎﺭﺯﺓ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪-12.34 ،0.001 ،5.4 :‬‬
‫ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺒﻜﺴﻭﺭ )‪ :(Rational Numbers‬ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﻜﻨﺴﺒﺔ ﺒﻴﻥ ﺭﻗﻤﻴﻥ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪-1/2 ،1/10 ،2/3 :‬‬
‫ﺍﻟﺩﻭﺍل ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺔ )‪ :(Mathematical Operators‬ﺍﻟﺠﻤﻊ )‪ ،(+‬ﺍﻟﻁﺭﺡ )‪ ،(-‬ﺍﻟﻀﺭﺏ )×(‪ ،‬ﺍﻟﻘﺴﻤﻪ )÷(‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻻﺕ )‪ :(Equations‬ﻭﻜﻤﺎ ﻴﺸﻴﺭ ﺍﻻﺴﻡ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻻﺕ ﻫﻲ ﺠﻤل ﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻴﻌﻁﻰ ﻓﻴﻬﺎ ﻨﺎﺘﺞ ﺠﻤﻠﺘﻴﻥ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ 15.7 = π × 5 :‬ﻫﻲ ﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﺭﺍﺀ ﺒﺎﻱ )‪ (Pi‬ﻤﻀﺭﻭﺒﺔ ﺒﺭﻗﻡ ﺨﻤﺴﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺎﻭﻱ ﺨﻤﺴﺔ ﻋﺸﺭ ﻓﺎﺭﺯﺓ ﺴﺒﻌﺔ )ﺨﻤﺴﺔ ﻋـﺸﺭ‬
‫ﻭﺴﺒﻌﺔ ﺒﺎﻟﻌﺸﺭﺓ(‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ )‪ :(Variables‬ﻨﺠﺩ ﻓﻲ ﺍﻟﻌﺎﺩﺓ ﺍﻨﻨﺎ ﻻﻨﻌﺭﻑ ﺍﻟﻘﻴﻡ ﻟﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻤﻌﻁﻴﺎﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﻭﻟﺫﻟﻙ ﻴﺘﻡ ﺍﻟﺘﻌﻭﻴﺽ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺎﺤﺭﻑ ﺍﻭ ﺭﻤﻭﺯ ﺒﺩﻻ" ﻤﻥ‬
‫ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻴﻀﺎ" ﺍﻥ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻓﻲ ﻜﺘﺎﺒﺔ ﺼﻴﻎ ﺍﻭ ﻤﻌﺎﺩﻻﺕ ﻋﺎﻤﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﻴﺘﻡ ﺘﻌﻭﻴﺽ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﻻﺤﻘﺎ"‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻤﺤﻴﻁ ﺍﻟﻜﺭﺓ )‪ (C‬ﺍﻟﺘﻲ ﻟﻬﺎ ﻗﻁﺭ )‪ (D‬ﻴﻌﻁﻰ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫ﺍﻟﻤﺤﻴﻁ = ‪D × π‬‬
‫‪C= πD‬‬ ‫ﺍﻭ‬
‫ﺘﻡ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺜﺎل ﺍﻟﺴﺎﺒﻕ ﺍﻟﻰ ‪ D‬ﻜﻤﺘﻐﻴﺭ ﻭﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻟﻪ ﺃﻱ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻭﺠﺒﺔ‪ .‬ﻭﻋﻨﺩﻤﺎ ﻻﻴﻭﺠﺩ ﻫﻨﺎﻙ ﺃﻱ ﺩﺍﻟﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻓﺎﻥ ﺫﻟﻙ ﻴﻌﻨـﻲ‬
‫ﺍﻨﻬﺎ ﻤﻀﺭﻭﺒﺔ ﺒﺒﻌﻀﻬﺎ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺼﻴﻎ )‪ :(Formulas‬ﺍﻥ ﺍﻟﺼﻴﻎ ﻫﻲ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﻤﻌﺎﺩﻻﺕ ﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﺘﻡ ﻭﻀﻌﻬﺎ ﻟﻙ ﻭﻜل ﺍﻟﺫﻱ ﻋﻠﻴﻙ ﻋﻤﻠﻪ ﻟﺤﻠﻬﺎ ﻫﻲ ﺍﻟﺘﻌﻭﻴﺽ ﻋﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴـﺭﺍﺕ‬
‫ﻓﻴﻬﺎ ﺒﻘﻴﻡ ﺭﻗﻤﻴﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﻟﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﻴﻌﻁﻰ ﻤﻥ ﺍﻟﺼﻴﻐﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬

‫‪Q = S× P‬‬
‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =Q‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪Torr-liter per second‬‬
‫‪ =S‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ )ﺍﻭ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻀﺦ( ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪liter/second‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪Torr‬‬
‫ﺍﻟﺼﻴﻎ ﺍﻻﺴﻴﺔ )‪ :(Exponential Notation‬ﻴﺠﺭﻯ ﻋﺎﺩﺓ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺤﺴﺎﺒﻴﺔ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻀﺭﺏ ﺭﻗﻡ ﺒﻨﻔﺴﻪ ﻋﺩﺓ ﻤﺭﺍﺕ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﺓ )‪ (A‬ﺘﺴﺎﻭﻱ ﺤﺎﺼل ﻀﺭﺏ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ ‪ π‬ﻓﻲ ﻤﺭﺒﻊ ﻨﺼﻑ ﺍﻟﻘﻁﺭ )‪) (r‬ﺃﻱ ﻨﺼﻑ ﺍﻟﻘﻁﺭ ﻤﻀﺭﻭﺏ ﻓﻲ ﻨﻔﺴﻪ(‪.A = π r 2 :‬‬
‫‪Base exponent‬‬

‫‪٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﺩﻭﺍل ﺍﻻﺴﻴﺔ )‪:(Math. Operations with Exponents‬‬

‫ﺠﻤﻊ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺍﺴﻴﺎ"‪:‬‬
‫)‪(Addition of Numbers Expressed in Expnential Notation‬‬
‫ﻟﻐﺭﺽ ﺠﻤﻊ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﻤﺜل ‪ 43‬ﻭ ‪ 36‬ﻓﺎﻨﻪ ﻤﻥ ﺍﻟﻀﺭﻭﺭﻱ ﺍﻴﺠﺎﺩ ﻗﻴﻡ ﻜل ﺍﺱ ﻭﻤﻥ ﺜﻡ ﺠﻤﻊ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺒﺎﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﺍﻻﻋﺘﻴﺎﺩﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪3‬‬
‫‪4 = 4×4×4= 64‬‬
‫‪6‬‬
‫‪3 = 3×3×3×3×3×3= 729‬‬
‫‪43 + 36= 64 + 729= 729‬‬
‫ﻁﺭﺡ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺍﺴﻴﺎ"‪:‬‬
‫)‪(Subtraction of Numbers Expressed in Expnential Notation‬‬
‫ﻭﻜﻤﺎ ﺘﻡ ﺸﺭﺤﻪ ﻟﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺠﻤﻊ ﺤﻴﺙ ﻴﺘﻡ ﺘﺤﺩﻴﺩ ﻜل ﺍﺱ ﺜﻡ ﻴﺘﻡ ﻁﺭﺤﻬﺎ‪.‬‬
‫ﻀﺭﺏ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺍﺴﻴﺎ"‪:‬‬
‫)‪(Multiplication of Numbers Expressed in Expnential Notation‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﻔﺱ ﺭﻗﻡ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﺍﻭ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ )‪ (base‬ﻴﺘﻡ ﻀﺭﺒﻬﺎ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺠﻤﻊ ﺍﺭﻗﺎﻡ ﺍﻻﺱ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪4‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪4+5‬‬ ‫‪9‬‬
‫‪2 ×2 = 2‬‬ ‫‪= 2‬‬
‫ﻗﺴﻤﺔ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺍﺴﻴﺎ"‪:‬‬
‫)‪(Division of Numbers Expressed in Expnential Notation‬‬
‫ﻭﻜﻤﺎ ﻤﺭ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﻀﺭﺏ ﺘﺘﻡ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻟﻨﻔﺱ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﺭﻗﻡ ﺍﺴﺎﺱ ﻤﺘﺸﺎﺒﻪ ﻭﻟﻜﻥ ﻫﻨﺎ ﺘﺠﺭﻯ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻁﺭﺡ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻻﺴﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪5‬‬ ‫‪3‬‬ ‫‪5-3‬‬ ‫‪2‬‬
‫‪2 × 2 = 2 = 2 = 16‬‬
‫ﻤﺎﺫﺍ ﻋﻥ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻤل ﺍﻟﻌﺩﺩ ‪ ٠‬ﻜﺎﺱ؟‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪0‬‬
‫‪3 =1‬‬
‫‪760= 1‬‬
‫ﻗﺎﻋﺩﺓ‪ :‬ﺃﻱ ﺭﻗﻡ ﻤﺭﻓﻭﻉ ﺍﻟﻰ ﻗﻭﺓ ‪ ٠‬ﻴﺴﺎﻱ ‪.١‬‬
‫ﻜﺎﻨﺕ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﻟﺠﻤﻴﻊ ﺍﻻﻤﺜﻠﺔ ﺍﻟﻤﺫﻜﻭﺭﺓ ﺍﻋﻼﻩ ﻟﻼﺴﺎﺱ ﻭﺍﻻﺱ ﺍﻋﺩﺍﺩ ﺼﺤﻴﺤﺔ‪ ،‬ﻟﻜﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻜﻠﺘﺎﻫﻤﺎ ﺍﻋﺩﺍﺩ ﺤﻘﻴﻘﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪4‬‬
‫‪5.3 = 5.3×5.3×5.3×5.3= 789‬‬
‫‪٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫‪2.8‬‬
‫‪6 = 6 multiplied by itself 2.8 times = 151‬‬
‫ﺍﻟﺘﻌﺒﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻌﻠﻤﻴﺔ )‪ :(Scientific Notation‬ﺍﻥ ﺍﻟﻜﺘﺎﺒﺔ ﻭﺍﻟﺤﺴﺎﺏ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻋﺩﺍﺩ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" ﺍﻭ ﺼﻐﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻨﺘﺞ ﻓﺭﺼﺔ ﻻﺨﻁـﺎﺀ‬
‫ﺭﻴﺎﻀﻴﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﻻﺤﺩﻨﺎ ﺍﻥ ﻴﻌﺒﺭ ﻋﻥ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﺤﻘﻴﻘﻴﺔ ﺒﺎﺭﻗﺎﻡ ﻤﻥ ‪ ١‬ﺍﻟﻰ ‪ ،١٠‬ﻤﻀﺭﻭﺒﺔ ﺒﺭﻗﻡ ‪ ،١٠‬ﻤﺭﻓﻭﻉ ﺍﻟﻰ ﻗﻭﺓ ﻤﻌﻠﻭﻤﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪5‬‬
‫‪567000= 5.67×10×10×10×10×10= 5.67 × 10‬‬
‫‪0.00034= 3.4 ÷ 10 ÷ 10 ÷ 10 ÷ 10 = 3.4 × 10-4‬‬
‫ﺍﻟﺘﺤﻭﻴل ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻌﺒﻴﺭ ﺍﻟﻌﻠﻤﻲ )‪ :(Converting from Scientific Notation‬ﻗﺩ ﺘﺤﺘﺎﺝ ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﺤﻴﺎﻥ ﺍﻥ ﺘﺤﻭل ﺍﻋﺩﺍﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻌﺒﻴﺭ ﺍﻟﻌﻠﻤﻲ‬
‫ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﻁﺒﻴﻌﻲ ﻟﻬﺎ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﻨﺠﺎﺯ ﻫﺫﺍ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺘﺤﺭﻴﻙ ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ ﺍﻟﻰ ﻴﻤﻴﻥ ﺍﻟﺭﻗﻡ ﺒﺎﻟﺸﻜل ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻪ ﻤﻀﺭﻭﺏ ﺒﻌﺸﺭﺓ ﻟﻘـﻭﺓ ﻤﻭﺠﺒـﺔ ﻭﺒـﻨﻔﺱ‬
‫ﺍﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﺘﺤﺭﻴﻙ ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻴﺴﺎﺭ ﻟﻠﻘﻭﺓ ﺍﻟﺴﺎﻟﺒﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪3‬‬
‫‪5.67 × 10 = 5670‬‬
‫‪3.4 × 10-4 = 0.00034‬‬
‫ﺠﻤﻊ ﺍﺭﻗﺎﻡ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(Addition of Numbers Expressed in Scientific Notation‬‬
‫ﻟﻐﺭﺽ ﺠﻤﻊ ﺍﻋﺩﺍﺩ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ ﻴﺠﺏ ﺍﻭﻻ ﺠﻌل ﺍﻻﺴﺎﺱ ‪ ١٠‬ﻟﻜل ﻤﻥ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﺭﺍﺩ ﺠﻤﻌﻬﺎ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺤﺩﻴﺩ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻟﺠﻤﻊ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪3‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪5‬‬
‫‪2×10 + 5×10 = 0.02×10 + 5×10 = 5.02×10‬‬
‫ﻁﺭﺡ ﺍﺭﻗﺎﻡ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(Subtraction of Numbers Expressed in Scientific Notation‬‬
‫ﻭﻜﻤﺎ ﺘﻡ ﺫﻜﺭﻩ ﻟﺤﺎﻟﺔ ﺠﻤﻊ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻻﻭﻟﻰ ﻫﻲ ﺘﺤﺭﻴﻙ ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ ﻟﺠﻌل ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺘﺤﻤل ﺍﻻﺴﺎﺱ ‪.١٠‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪5‬‬ ‫‪4‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪5‬‬ ‫‪5‬‬
‫‪3×10 - 2×10 = 3×10 – 0.2×10 = 2.8×10‬‬
‫ﻀﺭﺏ ﺍﺭﻗﺎﻡ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(Multiplication of Numbers Expressed in Scientific Notation‬‬
‫ﻟﻐﺭﺽ ﻤﻀﺎﻋﻔﺔ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﻋﻠﻤﻴﺎ"‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺍﺘﺒﺎﻉ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(A × 10 ) × (B × 10 ) = (A × B) × 10(x+y‬‬
‫‪x‬‬ ‫‪y‬‬

‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪4‬‬ ‫‪3‬‬ ‫)‪(4+3‬‬ ‫‪7‬‬ ‫‪8‬‬
‫‪(4 × 10 ) × (7 × 10 ) = (4 × 7) × 10‬‬ ‫‪= 28 × 10 = 2.8 × 10‬‬
‫ﻗﺴﻤﺔ ﺍﺭﻗﺎﻡ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﻋﻠﻤﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(Division of Numbers Expressed in Scientific Notation‬‬
‫ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﻤﺸﺎﺒﻬﺔ ﺍﻟﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻀﺭﺏ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪4‬‬ ‫‪3‬‬ ‫)‪(4-3‬‬ ‫‪1‬‬
‫‪(8 × 10 ) ÷ (2 × 10 ) = (8 ÷ 2) × 10‬‬ ‫‪= 4 × 10 = 40‬‬
‫ﺘﻘﺭﻴﺏ ﺍﻟﻘﻴﻡ ﻭﺘﺤﺩﻴﺩ ﻤﺠﺎل ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ )‪:(Rounding of Data and Significant Figures‬‬
‫ﺘﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻗﻴﺎﺱ ﻟﻁﻭل ﻭﻗﻁﺭ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻟﻐﺭﺽ ﺤﺴﺎﺏ ﺤﺠﻤﻪ‪ .‬ﺘﻡ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻘﻁﺭ ﻭﻜﺎﻥ ‪ 4.05cm‬ﻭﻁﻭﻟﻪ ‪ .83.7cm‬ﻴﻤﻜﻥ ﺤـﺴﺎﺏ ﺤﺠـﻡ ﺍﻻﻨﺒـﻭﺏ‬
‫ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪2‬‬
‫‪V= π r l‬‬
‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =V‬ﺤﺠﻡ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‬
‫‪ =r‬ﻨﺼﻑ ﻗﻁﺭ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‬
‫‪ =l‬ﻁﻭل ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‬

‫‪٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫‪V = π × (4.05 cm/2)2 × 83.7 cm = 343.222313 cm3‬‬ ‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻨﺸﺭ ﺍﻟﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﻜﺭﻗﻡ ‪ 343.22231 cm3‬ﻏﻴﺭ ﺼﺤﻴﺤﻪ‪ ،‬ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﺫﻟﻙ ﻴﻘﺘﺭﺡ ﺍﻥ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﻤﻌﺭﻑ ﺍﻟﻰ ﺘﺴﻊ ﻨﻘﺎﻁ ﺒﻌﺩ ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ‪،‬‬
‫ﻟﻜﻥ ﺍﻟﺤﻘﻴﻘﺔ ﺍﻥ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ ﻤﻌﺭﻭﻓﺔ ﻓﻘﻁ ﻟﺜﻼﺙ ﻨﻘﺎﻁ ﺒﻌﺩ ﺍﻟﻔﺎﺭﺯﺓ‪ .‬ﻟﺫﻟﻙ ﻴﺠﺏ ﺘﻘﺭﻴﺏ ﺍﻟﻨﺘﺎﺌﺞ ﺍﻟﻰ ‪ .343‬ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻨﺕ ﺍﺨﺭ ﻗﻴﻤﺔ ﻴﺠﺏ ﻁﺭﺤﻬﺎ ﻓﻲ ﻋﻤﻠﻴﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻘﺭﻴﺏ ﻫﻲ ﺍﻗل ﻤﻥ ‪ ٥‬ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻬﻤل ﻭﺍﻻ ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻀﺎﻑ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻨﺘﻴﺠﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﺍﺫﺍ ﺍﺠﺭﻴﻨﺎ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻀﺭﺏ ‪ 5.03 × 6.7‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻨﺘﻴﺠﺔ ﻫﻲ ‪ 33.701‬ﻭﻟﻜﻥ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻨﺸﺭ ﻜﺭﻗﻡ ‪ 34‬ﻻﻨﻪ ﺍﺼﻐﺭ ﺭﻗﻡ ﻤـﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﻨـﺎ )‪(6.7‬‬
‫ﻴﺤﻤل ﺭﻗﻤﺎﻥ ﻓﻘﻁ‪.‬‬
‫ﺍﻤﺜﻠﺔ‪:‬‬

‫ﺍﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ )‪:(Logarithms‬‬
‫ﺍﻥ ﻜل ﺭﻗﻡ ﻤﻭﺠﺏ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﺼﻑ ﻜﻘﻭﺓ ﻟﻌﺸﺭﺓ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﺍﻴﺠﺎﺩ ﺍﻟﻌﺩﺩ "‪ "p‬ﺍﺫﺍ ﺍﺨﺫﻨﺎ ﻤﺜﻼ" ﺍﻟﻌﺩﺩ ‪ .N=10‬ﻴـﺴﻤﻰ ‪ p‬ﻟﻭﻏـﺎﺭﺜﻡ ‪ N‬ﺍﻟـﻰ‬
‫‪p‬‬

‫ﺍﻻﺴﺎﺱ ‪ 10‬ﺍﻭ ﺍﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻡ ﺍﻻﻋﺘﻴﺎﺩﻱ ﻟﻠﺭﻗﻡ ‪.N‬‬

‫ﺍﺨﺘﻴﺎﺭﻴﺎ" ﻴﻤﻜﻥ ﻜﺘﺎﺒﺔ ‪:‬‬
‫)‪P = log10(N‬‬
‫ﺍﻤﺜﻠﺔ‪:‬‬

‫ﻻﺤﻅ ﺍﻥ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻻﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﻭﺍﺤﺩ ﺘﻤﻠﻙ ﻟﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ ﻤﻭﺠﺒﺔ ﻭﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻻﺼﻐﺭ ﻤﻥ ﻭﺍﺤﺩ ﺘﻤﻠﻙ ﻟﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ ﺴﺎﻟﺒﺔ‪.‬‬
‫ﻋﻜﺱ ﺍﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ )‪:(Antilogarithms‬‬
‫ﻟﻜل ﺭﻗﻡ ﻤﻌﺒﺭ ﻋﻨﻪ ﻜﻘﻴﻤﺔ ﻟﻘﻭﺓ ‪ 10‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﺠﺩ ﻜﻌﻜﺱ ﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻡ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪5‬‬
‫‪The antilogarithm of 10 is 5‬‬
‫ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﺤﺎﺴﺒﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ )‪:(Computation Using Logarithms‬‬
‫)‪Log (MN) = Log (M) + Log(N‬‬
‫)‪Log (M/N) = Log (M) – Log(N‬‬
‫)‪Log (MY) = Y × Log(M‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺤﺩﻴﺩ ﺍﻟﻌﻼﻗﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﻘﺩﺓ ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻠﻭﻏﺎﺭﺜﻤﺎﺕ‪.‬‬
‫‪z‬‬ ‫‪w‬‬ ‫‪Y‬‬
‫)‪Log (A × B ÷ C ) = Z × Log (A) + W × Log (B) – Y × Log (C‬‬

‫ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ )‪:(System of Units‬‬

‫ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺍﻻﺘﻔﺎﻕ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﻤﻥ ﺍﻻﻓﻀل ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ )‪ (SI units‬ﺍﻻ ﺍﻨﻪ ﺴﻭﻑ ﻨﻜﺘﺸﻑ ﺍﻨﻪ ﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻭﺤـﺩﺍﺕ‬
‫ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )ﻤﺜﻼ" ﻭﺤﺩﺍﺕ ‪ Torr‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺒﻜﺜﺭﺓ ﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﻀﻐﻁ(‪ .‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪.1.1‬‬

‫‪٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺠﺩﻭل )‪ (1.1‬ﺍﻻﺴﻤﺎﺀ ﻭﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﻟﻠﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ‬

‫ﺴﻭﻑ ﻨﻭﺼﻑ ﻫﻨﺎ ﺒﻌﺽ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻓﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺭ )‪ :(Meter‬ﻁﻭل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻨﺘﻘل ﻓﻴﻪ ﺍﻟﻀﻭﺀ ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﻔﺘﺭﺓ ﺯﻤﻨﻴﺔ ﻤﻘﺩﺍﺭﻫﺎ ‪ 1/299,792,458‬ﻤﻥ ﺍﻟﺜﺎﻨﻴﺔ‪ .‬ﻴﺒﻠﻎ ﺍﻟﻤﺘﺭ ﺤﻭﺍﻟﻲ "‪.2.2‬‬
‫ﺍﻟﻜﻴﻠﻭﻏﺭﺍﻡ )‪ :(Kilogram‬ﻴﺴﺎﻭﻱ ﻜﺘﻠﺔ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻋﻠﻤﻲ ﻟﻠﻜﻴﻠﻭﻏﺭﺍﻡ‪ .‬ﺘﺭﺘﺒﻁ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺝ ﺒﻭﺯﻨﻪ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻗﻭﺓ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﻤﻥ ﺨﻼل ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪Weight = mass × gravity‬‬
‫ﻴﺒﻠﻎ ﺍﻟﻜﻴﻠﻭﻏﺭﺍﻡ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 2.2‬ﺒﺎﻭﻨﺩ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺜﺎﻨﻴﺔ )‪ :(Second‬ﺍﻟﻔﺘﺭﻩ ﺍﻟﺯﻤﻨﻴﺔ ﻟﻘﻴﻤﺔ ‪ 9,192,631,770‬ﻟﺯﻤﻥ ﺸﻌﺎﻉ ﻤﻨﺒﻌﺙ ﻤﻥ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻲ ﻤﺤﺩﺩ ﻓﻲ ﺫﺭﺓ ﺍﻟﺴﻴﺯﻴﻭﻡ‪.١٣٣-‬‬
‫ﺍﻻﻤﺒﻴﺭ )‪ :(Ampere‬ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ ﺍﻟﺫﻱ ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺍﻟﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻴﻪ ﻓﻲ ﻤﻭﺼﻠﻴﻥ ﻤﺘﻭﺍﺯﻴﻴﻥ ﻟﻁﻭل ﻤﺎﻻﻨﻬﺎﺌﻲ ﻭﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﺒﻴﻨﻬﻤﺎ ‪ 1m‬ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺴـﻭﻑ‬
‫ﻴﻨﺘﺞ ﻗﻭﺓ ﺒﻴﻥ ﻫﺫﻴﻥ ﺍﻟﻤﻭﺼﻠﻴﻥ ﻤﻘﺩﺍﺭﻫﺎ ‪ 2 × 10-7 newtons‬ﻟﻜل ﻤﺘﺭ ﻤﻥ ﻁﻭل ﺍﻟﻤﻭﺼل‪ .‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺘﻁﺒﻴﻕ ‪ 10 volts‬ﺨﻼل ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ‪ ،10Ω‬ﻓـﺎﻥ‬
‫ﺍﻤﺒﻴﺭ ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺴﻭﻑ ﻴﻤﺭ ﺨﻼل ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﺓ‪ .‬ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺭﺒﻁ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ )‪ (R‬ﻭﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ )‪ (E‬ﻭﺍﻟﺘﻴﺎﺭ )‪ (I‬ﻤﻭﻀﺤﺔ ﺍﺩﻨﺎﻩ‪:‬‬
‫‪E= IR‬‬
‫ﺍﻟﻜﻠﻔﻥ )‪ :(Kelvin‬ﻫﻲ ﻭﺤﺩﺓ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺜﺭﻤﻭﺩﻴﻨﺎﻤﻴﻜﻴﺔ ﻭﻫﻲ ﺘﺴﺎﻭﻱ ‪ 1/276.23‬ﻤﻥ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻨﻘﻁﺔ ﺍﻟﺜﻼﺜﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺀ )ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﺠﺩ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺘﻪ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ‪ ،‬ﺍﻟﺴﺎﺌﻠﺔ ﻭﺍﻟﻐﺎﺯﻴﻪ ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ(‪ .‬ﺩﺭﺠﺔ ﺫﻭﺒﺎﻥ ﺍﻟﺜﻠﺞ ﻫﻲ ‪ ،273K‬ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓـﺔ‬
‫ﻫﻲ ‪ ،298K‬ﻭﺩﺭﺠﺔ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻫﻲ ‪ .373K‬ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﺘﺤﻭﻴل ﻤﻥ ﺩﺭﺠﺎﺕ ﺍﻟﺴﻠﺴﻴﺱ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﻠﻔﻥ ﻨﻀﻴﻑ ‪:273.15K‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫‪o‬‬
‫‪T / C + 273.15 = T/K‬‬
‫ﺍﻟﻤﻭل )‪ :(Mole‬ﻤﻭل ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻴﺤﻭﻱ ‪ .6.023 × 1023 particles‬ﻟﻘﺩ ﻭﺠﺩ ﺍﻥ ﻤﻭل ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻥ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻜﺎﺭﺒﻭﻥ ﻴﺯﻥ ‪) 12.011 g‬ﺍﻟﻭﺯﻥ‬
‫ﺍﻟﺫﺭﻱ ﻟﻠﻜﺎﺭﺒﻭﻥ(‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻨﻔﻜﺭ ﺒﺎﻟﻤﻭل ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﻋﺩﺩ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺝ‪ .‬ﻓﻜﻤﺎ ﻨﺸﻴﺭ ﺍﻟﻰ ﺍﻤﺘﻼﻙ ﻋﺩﺩ ﻤﺜﻼ" ‪ ٥‬ﺍﻗﻼﻡ ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻜﻤﻥ ﻻﺤﺩﻨﺎ ﺍﻥ ﻴﻤﻠﻙ ﻤﻭل ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻻﻗﻼﻡ‪.‬‬
‫ﺘﺤﻠﻴل ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ )‪:(Dimensional Analysis‬‬
‫ﺍﺫﺍ ﻓﻜﺭﻨﺎ ﺒﺎﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﻓﺎﻨﻪ ﺘﻘﺭﻴﺒﺎ" ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻜﻭﻥ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ‪:‬‬
‫‪Ma Lb Tc‬‬
‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ M‬ﻫﻭ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ‬
‫‪ L‬ﻫﻭ ﺍﻟﻁﻭل‬
‫‪ T‬ﻫﻭ ﺍﻟﺯﻤﻥ‬
‫ﺍﻤﺎ ‪ a‬ﻭ‪ b‬ﻭ ‪ c‬ﻓﻬﻲ ﺍﻋﺩﺍﺩ ﺼﺤﻴﺤﺔ‪.‬‬
‫ﻓﻤﺜﻼ" ﻤﻥ ﺍﻟﻭﺍﻀﺢ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 1.2‬ﺍﻨﻪ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻠﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ‪ a=1‬ﻭ ‪ b=2‬ﻭ ‪ .c=3‬ﻴﻤﻜﻥ ﻓﺤﺹ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺼﺤﺘﻬﺎ ﻋـﻥ ﻁﺭﻴـﻕ‬
‫ﺍﻟﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﺍﻟﺜﻼﺜﺔ ﻫﻲ ﻨﻔﺴﻬﺎ ﻓﻲ ﻜﻠﺘﺎ ﺍﻟﺠﺎﻨﺒﻴﻥ ﻟﻨﻔﺱ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ‪ .‬ﺘﺩﻋﻰ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺒﺘﺤﻠﻴل ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ )‪ (dimensional analysis‬ﻭﻫﻲ‬
‫ﺍﺩﺍﺓ ﻤﻔﻴﺩﺓ‪.‬‬
‫ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ )‪ (SI‬ﻗﺩ ﻋﺭﻓﺕ ﺍﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻌﻠﻤﻴﺔ ﻟﻠﻜﺘﻠﺔ ﺒﺎﻟﻜﻴﻠﻭﻏﺭﺍﻡ )‪ ،(Kilogram‬ﻭﺍﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ ﻟﻠﻁﻭل ﺒـﺎﻟﻤﺘﺭ )‪(Meter‬‬
‫ﻭﺍﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ ﻟﻠﺯﻤﻥ ﺒﺎﻟﺜﺎﻨﻴﺔ )‪.(Second‬‬

‫‪٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺠﺩﻭل )‪ (1.2‬ﺍﻻﺴﻤﺎﺀ ﻭﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﻻﺸﺘﻘﺎﻕ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﻘﻭﺓ )‪ :(Force‬ﻭﻫﻭ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﺎﻭل ﺍﻥ ﻴﻐﻴﺭ ﻤﻥ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺴﻜﻭﻥ )ﺍﻭ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ( ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﺯﺨﻡ ﺘﻘﺎﺱ ﺒﺎﻟﻘﻭﺓ‪:‬‬
‫‪Force = mass × acceleration‬‬
‫ﻨﺠﺩ ﺍﻨﻪ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ‪ ،‬ﻭﺍﺤﺩ ﻨﻴﻭﺘﻥ ﻫﻲ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﺠل ﻜﺘﻠﺔ ﻜﻴﻠﻭﻏﺭﺍﻡ ﻭﺍﺤﺩ ﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﻤﺘﺭ ﻭﺍﺤﺩ ﻭﻓﻲ ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻭﺍﺤﺩﺓ‪.‬‬
‫‪Pascals‬‬ ‫ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ :(Pressure‬ﻭﻫﻲ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﺸﺎﺌﻌﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ ﻓﻬـﻲ ‪ Ib/in2‬ﻭ ‪ PSI‬ﻭ ‪ Torr‬ﻭ‪ Bar‬ﻭ ‪ atm‬ﻭ‬
‫)‪ .(N/m2) (Pa‬ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻫﻭ ﺒﻤﺜﺎﺒﺔ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻤﻭﺯﻋﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻤﻁﻠﻕ )‪ :(absolute pressure‬ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻘﺎﺱ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﺼﻔﺭ )ﺍﻟﻤﺴﻤﻰ ‪.(PSIA‬‬
‫ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ )‪ :(gauge pressure‬ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻘﺎﺱ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ )ﺍﻟﻤﺴﻤﻰ ‪.(PSIG‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻁﺎﺭ ﺴﻴﺎﺭﺘﻙ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 30 PSIG‬ﻓﺎﻥ ﺍﻻﻁﺎﺭ ﻴﺤﻭﻱ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪.45 PSIA‬‬
‫ﺍﺫﻥ ‪.15 PSI = 1 atm‬‬
‫ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ )‪ :(Energy‬ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﺠﺎﺯ ﺸﻐل‪ .‬ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻜﺎﻤﻨﺔ ﺘﻌﻨﻲ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻤﺨﺯﻭﻨﺔ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﻤﻭﻗﻊ ﺍﻟﺠﺴﻡ‪ .‬ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻫﻲ ﻁﺎﻗـﺔ ﺍﻟﺠـﺴﻡ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻙ‪:‬‬
‫‪potential energy = mass × gravity × height‬‬
‫‪kinetic energy = 1/2 × mass × (velocity)2‬‬
‫ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ )‪ :(Power‬ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺫﻱ ﻓﻴﻪ ﻴﺘﻡ ﺍﻨﺠﺎﺯ ﺸﻐل‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺒﺎﻟﻭﺍﻁ ﺍﺫﺍ ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﺠﻭل ﻟﻠﺸﻐل ﻭﺍﻟﺯﻤﻥ ﺒﺎﻟﺜﺎﻨﻴﺔ‪.‬‬
‫‪Power = work / time‬‬
‫ﺍﻟﺠﻬﺩ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ )‪ :(Electrical Potential‬ﺍﻟﺸﻐل ﺍﻟﻤﻨﺠﺯ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﺭﻙ ﺠﺴﻡ ﻤﺸﺤﻭﻥ ﻤﻥ ﻨﻘﻁﺔ ‪ A‬ﺍﻟﻰ ﻨﻘﻁﺔ ‪ B‬ﻓﻲ ﻤﺠﺎل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ )‪ :(Electrical Resistance‬ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﻤﻭﺼل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻫﻲ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺠﻬﺩ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻭﺍﻟﺘﻴﺎﺭ‪ .‬ﺤﻴﺙ ﻴﺸﻴﺭ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺍﻭﻡ‬
‫ﺍﻟﻰ‪:‬‬
‫‪electric potential = current × resistance‬‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺩﺩ )‪ :(Frequency‬ﻫﻭ ﻤﻌﺩل ﺍﻫﺘﺯﺍﺯ ﺍﻟﺩﻗﻴﻘﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻭﺠﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﺠﺴﻡ‪ .‬ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻲ ﻟﻬﺎ ﻫﻭ ﺩﻭﺭﺓ ﻟﻜل ﺜﺎﻨﻴﺔ )‪ (cps‬ﺍﻭ ﻤـﺎﻫﻭ ﺸـﺎﺌﻊ‬
‫ﺒﺎﻟﻬﺭﺘﺯ )‪.(Hz‬‬
‫ﺍﻟﻤﺨﺘﺼﺭﺍﺕ )‪ :(Prefixes‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﺨﺘﺼﺭﺍﺕ ﻟﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ ﻭﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻻﻨﻜﻠﻴﺯﻴﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﺘﻌﺒﻴﺭ ﻋﻥ ﺍﻻﺭﻗﺎﻡ ﺍﻟﻜﺒﻴـﺭﺓ‬
‫ﺠﺩﺍ" ﻭﺍﻟﺼﻐﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" ﺒﺸﻜل ﻭﺍﻀﺢ ﻭﺴﻬل‪ .‬ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 1.3‬ﻴﻭﻀﺢ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺘﻌﺎﺒﻴﺭ‪.‬‬

‫‪٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺠﺩﻭل ‪ 1.3‬ﺍﻻﺴﻤﺎﺀ ﻭﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻻﺸﺘﻘﺎﻕ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ‬

‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻴﺒﻠﻎ ﻤﻌﺩل ﻨﺼﻑ ﻗﻁﺭ ﺍﻻﺭﺽ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ .6,378,245 km‬ﺤﺎﻭل ﺍﻥ ﺘﻌﺒﺭ ﻋﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺭﻗﻡ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ )‪ (SI‬ﻭﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﺘﻌﺎﺒﻴﺭ ﺍﻟﻤﺨﺘﺼﺭﺓ‪.‬‬
‫‪6,380,000 = 6.38 × 109 m = 6.38 × 106 km‬‬

‫ﺘﺤﻭﻴل ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ )‪:(Unit Conversions‬‬

‫ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻀﺭﻭﺭﻱ ﻋﺎﺩﺓ" ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺘﻐﻴﻴﺭ ﻟﻠﻭﺤﺩﺍﺕ ﻤﻥ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻰ ﺍﺨﺭ‪ .‬ﺍﻟﺘﻘﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ ﺘﻭﻀﺢ ﺫﻟﻙ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫ﺍﺫﺍ ﻜﻨﺕ ﺘﺴﻭﻕ ﺴﻴﺎﺭﺘﻙ ﺒﺴﺭﻋﺔ ‪ 30 miles/hr‬ﻓﻜﻡ ‪ feet/sec‬ﺴﻭﻑ ﺘﻨﺘﻘل؟‬
‫ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻫﻨﺎ ﺍﻥ ﻨﻐﻴﺭ ﻤﺠﻤﻭﻋﺘﻴﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻴل‪/‬ﻗﺩﻡ ﻭ ﺴﺎﻋﺔ‪/‬ﺜﺎﻨﻴﺔ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ" ﻨﺤﻥ ﻨﻌﺭﻑ ﺍﻥ ‪ ١‬ﻤﻴل ﻴﺴﺎﻭﻱ ‪ ٥٢٨٠‬ﻗﺩﻡ ﻟﺫﻟﻙ ﻨﻜﺘﺏ‪:‬‬
‫‪30 mile/hr × 5,280 feet/mile = 158,400 feet/hr‬‬
‫ﺍﻻﻥ ﻨﻐﻴﺭ ﻤﻥ ﻗﺩﻡ‪/‬ﺴﺎﻋﺔ ﺍﻟﻰ ﻗﺩﻡ ﻟﻜل ﺜﺎﻨﻴﺔ‪ .‬ﺍﺫ ﻨﻌﺭﻑ ﺍﻥ ﻜل ﺴﺎﻋﺔ ﺘﺤﻭﻱ ‪ ٦٠‬ﺩﻗﻴﻘﺔ ﻭﻜل ﺩﻗﻴﻘﺔ ﺘﺤﻭﻱ ‪ ٦٠‬ﺜﺎﻨﻴﺔ ﺃﻱ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻨﺤﺴﺏ ﺍﻨـﻪ ﻜـل‬
‫ﺴﺎﻋﺔ ﺘﺤﻭﻱ ‪ ٣٦٠٠‬ﺜﺎﻨﻴﺔ‪ .‬ﺍﺫﻥ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻨﻜﺘﺏ‪:‬‬
‫‪158,400 feet/hr × 1hr/3600 sec = 44 feet/sec‬‬
‫ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ )‪:(Basic Properties‬‬
‫ﻟﻐﺭﺽ ﺩﺭﺍﺴﺔ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻭﻀﺤﺔ ﻫﻨﺎ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻘﺴﻴﻡ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻰ ﺜﻼﺙ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻓﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﺍﻭ ﺤﺎﻻﺕ‪ :‬ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ‪ ،‬ﺍﻟﺴﺎﺌﻠﺔ ﻭﺍﻟﻐﺎﺯﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺼﻠﺒﻪ )‪ :(Solids‬ﺍﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻟﻠﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﺘﺴﻌﻰ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺘﺒﻘﻰ ﻓﻲ ﻤﻭﺍﻗﻊ ﺜﺎﺒﺘﻪ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﺍﻟﻰ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤـﺎﺩﺓ‬
‫ﺍﻟﺼﻠﺒﻪ ﺘﻤﻠﻙ ﺸﻜﻼ" ﻭﺤﺠﻤﺎ" ﻤﻌﺭﻓﺎ"‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﺍﻤﺎ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺒﻠـﻭﺭﻱ )‪ (crystalline‬ﺍﻭ ﻏﻴـﺭ ﻤﺘﺒﻠـﻭﺭ )‪.(amorphous‬‬
‫ﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﺍﻟﻤﺘﺒﻠﻭﺭﺓ ﺍﻟﺒﻠﻭﺭﺍﺕ ﺍﻟﻁﺒﻴﻌﻴﺔ ﺍﻤﺜﺎل ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻥ ﻭﺍﻻﺤﺠﺎﺭ ﺍﻟﻜﺭﻴﻤﺔ‪ .‬ﺘﺤﻭﻱ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻥ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﻋﻠـﻰ ﺍﻟﻌﺩﻴـﺩ ﻤـﻥ ﺍﻟﺒﻠـﻭﺭﺍﺕ‬

‫‪٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﺎﻴﻜﺭﻭﻴﺔ )ﺤﺒﻴﺒﺎﺕ‪ (grains:‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﻤﺎﻴﻜﺭﻭﺴﻜﻭﺒﺎﺕ ﻀﺨﻤﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﻤﻌﺎﻴﻨﺘﻬﺎ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﺘﻤﻠﻙ ﺴﻠﻭﻙ ﻤـﺸﺎﺒﻪ‬
‫ﻟﻠﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ )ﺍﺫ ﺘﻤﻠﻙ ﺤﺠﻤﺎ" ﻭﺸﻜﻼ" ﻤﻌﺭﻓﺎ"(‪ ،‬ﻭﻟﻜﻥ ﻀﻤﻥ ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ ﺍﻟﺫﺭﻴﺔ ﻻﺘﻭﺠﺩ ﻤﻌﺩل ﺍﺒﻌﺎﺩ ﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ﻭﺫﺭﻴﺔ ﻁﻭﻴﻠﺔ ﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻓﻲ ﺍﻟﺒﻠﻭﺭﺍﺕ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺴﺎﺌﻠﻪ )‪ :(Liquids‬ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﻰ ﺘﻭﺠﺩ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺤﺭﻜﺔ ﺤﺭﺓ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ‪ .‬ﻴﻤﻠﻙ ﺍﻟﺴﺎﺌل ﺤﺠﻤﺎ" ﻤﻌﺭﻓـﺎ"‬
‫ﻭﻟﻜﻥ ﺸﻜل ﺍﻟﺴﺎﺌل ﻤﻌﺭﻑ ﻓﻘﻁ ﺒﺠﺩﺭﺍﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻴﻪ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﻴﻪ )‪ :(Gas‬ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻭﺠﺩ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺒﺤﺭﻜﺔ ﺤﺭﺓ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﻭﺘﺴﻌﻰ ﺍﻟﻰ ﺘﻭﺯﻴـﻊ ﻨﻔـﺴﻬﺎ ﻟﺘﻤﻠـﺊ ﺃﻱ‬
‫ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﺤﻭﻴﻬﺎ ﻭﺒﺎﻱ ﺤﺠﻡ‪.‬‬
‫ﻗﺒل ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ ،400 BC‬ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻔﻴﻠﺴﻭﻑ ﺍﻻﻏﺭﻴﻘﻲ ﺍﻥ ﺍﺴﺎﺱ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻫﻲ ﺩﻗﺎﺌﻕ ﺘﺩﻋﻰ ﺒﺎﻟﺫﺭﺍﺕ )‪ (atoms‬ﻭﻫﻲ ﺤﺠﺭ ﺍﻟﺒﻨﺎﺀ ﻟﻜل ﺸـﻴﺊ ﺘﻘﺭﻴﺒـﺎ"‪ .‬ﺍﻥ‬
‫ﺍﻟﻔﻬﻡ ﺍﻟﺤﺎﻟﻲ ﻟﻁﺒﻴﻌﺔ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺘﻀﻤﻥ ﺠﺯﺀ ﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺫﺭﻴﺔ ﺍﻟﻜﻼﺴﻴﻜﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﺤﺠﺭ ﺍﻟﺒﻨﺎﺀ ﻟﻌﺎﻟﻤﻨﺎ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴـﺎﻭﻱ ﻤﻜـﻭﻥ ﻤـﻥ ﻤﺎﻴـﺩﻋﻰ‬
‫ﺒﺎﻟﻌﻨﺎﺼﺭ )‪ .(Elements‬ﺍﻥ ﻤﻭﺍﺩ ﻤﺎﻟﻭﻓﺔ ﻤﺜل ﺍﻟﺤﺩﻴﺩ‪ ،‬ﺍﻟﻜﺎﺭﺒﻭﻥ‪ ،‬ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻭﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻫﻲ ﻤﺜﺎل ﻟﺘﻠﻙ ﺍﻟﻌﻨﺎﺼﺭ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻫﻲ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﻤﻭﺍﺩ ﺘﺘﺸﻜل ﻤﻥ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻤﻥ ﺨﻼل ﺘﻔﺎﻋل ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ‪ .‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﻜل ﻤﻥ ﻤﻠﺢ ﺍﻟﻁﻌﺎﻡ ﻭﺍﻟﻤﺎﺀ ﻭﻏﺎﺯ ﺍﻟﻤﻴﺜﺎﻥ ﻤﻭﺍﺩ‬
‫ﺘﺩﻋﻰ ﺒﺎﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ‪ .‬ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻥ ﺍﻫﻡ ﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻨﻬﺎ ﺘﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻭﺒﻨﺴﺏ ﻤﻌﺭﻭﻓﺔ‪.‬‬
‫ﻜﻤﺜﺎل‪ :‬ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﺘﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺫﺭﺘﻲ ﻫﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﺫﺭﺓ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻥ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ‪ .‬ﻭﻋﺎﺩﺓ" ﻤﺎﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻟﻠﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺘﺨﺘﻠـﻑ‬
‫ﺒﺸﻜل ﺠﺫﺭﻱ ﻋﻥ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ‪ .‬ﺍﻟﻤﺎﺀ‪ ،‬ﻤﺜﻼ" ﻫﻭ ﻤﺎﺩﺓ ﺴﺎﺌﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪ ،‬ﻭﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﻜﻠﺘﺎ ﻋﻨﺎﺼﺭﻩ )ﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ( ﻫﻲ‬
‫ﻏﺎﺯﺍﺕ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪ .‬ﻻﺘﻜﻭﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﻨﻭﺍﺠﻬﻬﺎ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻤﺭﻜﺒﺎﺕ‪.‬‬
‫ﻓﺎﻟﺨﻼﺌﻁ )‪ (Mixtures‬ﻫﻲ ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﻤﺯﻴﺞ ﻓﻴﺯﻴﺎﻭﻱ ﻤﻥ ﻤﻭﺍﺩ )ﻻﺘﺘﻀﻤﻥ ﺘﻔﺎﻋل ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ(‪ .‬ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﺫﻱ ﻨﺴﺘﻨﺸﻘﺔ ﻫﻭ ﻤﺯﻴﺞ ﻤﻥ ﺤﻭﺍﻟﻲ‬
‫‪ 79%‬ﻨﺎﻴﺘﺭﻭﺠﻴﻥ )ﻋﻨﺼﺭ ﻏﺎﺯﻱ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﻭﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ( ﻭﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 19%‬ﺍﻭﻜﺴﺠﻴﻥ )ﻏﺎﺯ ﺍﺨﺭ ﻋﻨﺩ ﻨﻔﺱ ﺍﻟﻅﺭﻭﻑ(‪.‬‬

‫ﻤﻘﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ )‪:(Int. to Measurement Techniques‬‬

‫ﻟﻴﺱ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻨﻁﻘﻲ ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺘﺤﻀﻴﺭ ﺘﺠﺭﺒﺔ ﻭﻤﺭﺍﻗﺒﺔ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻅﻭﺍﻫﺭ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻤﺎﻟﻡ ﻨﻜﻭﻥ ﻤﺴﺘﻌﺩﻴﻥ ﻟﺘـﺴﺠﻴل ﻭﻨـﺸﺭ ﻫـﺫﻩ ﺍﻟﻨﺘـﺎﺌﺞ‬
‫ﺍﻟﻭﺍﻀﺤﺔ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻤﺎﺴﻭﻑ ﻨﺴﺘﻌﺭﻀﻪ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﺯﺀ‪.‬‬
‫ﺍﻭﻻ" ﻭﻗﺒل ﻜل ﺸﻴﺊ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻨﻔﻜﺭ ﺨﻼل ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ ﻜﻠﻬﺎ ﻗﺒل ﺍﻥ ﻨﺒﺩﺉ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺴﻠﺴل ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺠﺏ ﺍﺘﺒﺎﻋﻪ ﻴﻨﺘﺞ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻤﻔﻴﺩﺓ‪ .‬ﺩﻋﻨﻲ ﺍﻋﻁﻲ‬
‫ﻤﺜﺎﻻ" ﻫﻨﺎ‪ .‬ﻟﻨﻔﺭﺽ ﺍﻨﻲ ﺍﻋﻤل ﻋﻠﻰ ﻤﺸﺭﻭﻉ ﻜﺎﻥ ﺍﻟﻬﺩﻑ ﻤﻨﻪ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺘﺸﺨﻴﺹ ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻻﻨﺒﻌﺎﺙ ﻟﻠﺤﺩﻴﺩ ﻟﺘﺤﺩﻴﺩ ﻤﺘﻰ ﺘﻨﺘﻬﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴـﺫ ﻓﻴﻬـﺎ‪.‬‬
‫ﻭﻜﺎﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺯﺠﺎﺠﻴﺔ )ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺎﻴﺭﻜﺱ( ﺘﺴﻤﺢ ﺒﺭﺅﻴﺔ ﻤﺎﺒﺩﺍﺨﻠﻬﺎ ﻭﺍﺠﺭﺍﺀ ﻓﺤﻭﺼﺎﺕ ﻁﻴﻔﻴﺔ ﺍﺜﻨﺎﺀ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ‪ .‬ﻭﺍﺠﺭﻴـﺕ ﺍﻟﻌﺩﻴـﺩ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﺏ ﻭﺍﻜﺘﺸﻔﺕ ﺍﻨﻬﺎ ﺘﻌﻁﻲ ﻨﺘﺎﺌﺞ ﻏﻴﺭ ﻤﻨﻁﻘﻴﺔ ﺤﺘﻰ ﺘﻌﺘﻘﺩ ﺍﻨﻙ ﻗﺩ ﻓﻌﻠﺕ ﺸﻴﺊ ﺨﺎﻁﺊ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ‪ .‬ﻭﺒﻌﺩﻫﺎ ﺍﺴﺘﺒﺩﻟﺕ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺯﺠـﺎﺝ ﺒﻤـﺎﺩﺓ‬
‫ﺍﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﻴﺎﻗﻭﺕ ﺍﻻﺯﺭﻕ ﻓﻭﺠﺩﺕ ﺍﻥ ﺍﻟﻨﺘﺎﺌﺞ ﺍﻟﻤﺴﺘﺤﺼﻠﺔ ﻤﻁﺎﺒﻘﺔ ﺠﺩﺍ" ﻟﻤﺎ ﺘﻭﻗﻌﺕ‪.‬‬
‫ﺍﺫﻥ ﻗﺒل ﺍﻥ ﺘﺒﺩﺍﺀ ﺒﺎﻱ ﺘﺠﺭﺒﺔ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻌﻁﻲ ﺘﻨﺒﺊ ﺒﻤﺎ ﺴﻭﻑ ﻴﺤﺼل ﻭﻴﺩﻋﻭﺍ ﺍﻟﻌﻠﻤﺎﺀ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺸﺊ ﺒﺎﻟﻨﻅﺭﻴﺎﺕ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺠﺭﻱ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻗﻴﺎﺱ ﻟﺴﺭﻋﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺘﺠﺎﺭﺏ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻜﻴﻑ ﺘﺘﻭﻗﻊ ﺍﻥ ﺘﺘﻐﻴﺭ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻀﻐﻁ؟ ﻫل ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﻐﻴﺭ ﺴـﻴﻜﻭﻥ‬
‫ﺜﺎﺒﺘﺎ"؟ ﻫﺫﻩ ﻫﻲ ﻨﻭﻉ ﺍﻻﺴﺌﻠﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﺎﻭل ﺍﻥ ﺘﻁﺭﺤﻬﺎ ﻗﺒل ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻗﻴﺎﺴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ‪.‬‬
‫ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻥ ﻤﻔﺎﻫﻴﻡ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺠﻤﻊ ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﺠﻴﺩﺓ ﻫﻲ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ ﻟﻤﺭﺍﺕ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻟﺘﺘﺤﻕ ﻤﻥ ﺼﺤﺔ ﺍﻟﻨﺘﺎﺌﺞ‪.‬‬
‫ﺍﻻﺤﺼﺎﺌﻴﺎﺕ‪ :‬ﻫﻭ ﻋﻠﻡ ﺍﻟﺘﺤﻠﻴل ﻭﺍﻟﻔﻬﻡ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭ ﻟﻠﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻟﻨﻔﺭﺽ ﺍﻨﻙ ﺘﺠﺭﻱ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﺏ ﻟﺘﺤﺩﻴﺩ ﻁﻭل ﺍﻟﻭﻗﺕ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ ﺍﻟـﻰ ﻀـﻐﻁ ‪.50 µHg‬‬
‫ﻭﺍﻨﻙ ﺍﺠﺭﻴﺕ ﺍﺭﺒﻌﺔ ﺩﻭﺭﺍﺕ ﻭﺴﺠﻠﺕ ﺍﻟﻘﻴﻡ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪ 128, 136,124 :‬ﻭ ‪ ١٤٤‬ﺜﺎﻨﻴﺔ ﺒﺎﻟﺘﺭﺘﻴﺏ‪.‬‬
‫ﻤﺘﻭﺴﻁ ﺍﻟﻘﻴﻤﺔ )‪ :(Average‬ﻫﻭ ﺤﺎﺼل ﺠﻤﻊ ﺍﻻﻋﺩﺍﺩ ﻤﻘﺴﻭﻤﺎ" ﻋﻠﻰ ﻋﺩﺩ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ‪.‬‬
‫‪Average = (124+136+128+144)/4 = 522/4 = 230.5 = 131‬‬
‫ﺍﺫﻥ ﻴﻤﻜﻥ ﺤﺴﺎﺏ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻤﺩﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬
‫‪Range = 144-118 = 26 second‬‬

‫‪٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻌﺩﺩ ﺍﻟﻤﺤﺩﻭﺩ ﻤﻥ ﻤﺠﻤﻭﻉ ﺍﻟﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﺍﻟﻘﻭل ﺍﻥ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻁ ﻴﻘـﺎﺭﺏ ‪ 50 µHg‬ﻫـﻭ ﻤﺘﻭﺴـﻁ ﺍﻟﻘﻴﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﺤﺴﻭﺒﺔ ﺯﺍﺌﺩ ﻨﺎﻗﺹ ﻨﺼﻑ ﺍﻟﻤﺩﻯ )‪.(131±13‬‬

‫ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺍﻟﻨﺘﺎﺌﺞ )‪:(Presentation of Data‬‬

‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺍﻟﻨﺘﺎﺌﺞ ﺒﺸﻜل ﻭﺍﻀﺢ ﻀﺭﻭﺭﻱ ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻌﻤل ﺍﻟﻤﻨﺠﺯ ﺴﻭﻑ ﻴﺘﻡ ﺍﻟﺤﻜﻡ ﻋﻠﻴﻪ ﻟﻴﺱ ﻓﻘﻁ ﻤﻥ ﺨﻼل ﻤﺩﻯ ﺼﺤﺘﻪ ﻭﻟﻜﻥ ﺍﻴﻀﺎ" ﻤـﻥ‬
‫ﺨﻼل ﺍﺴﻠﻭﺏ ﻁﺭﺤﻪ ﻭﺘﻘﺩﻴﻤﻪ‪ .‬ﻗﺒل ﺍﻥ ﺘﺒﺩﺍﺀ ﺒﺎﺠﺭﺍﺀ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﺏ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﺤﻀﺭ ﺠﺩﻭل ﻻﺩﺨﺎل ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺤﺼﻠﺔ ﺨـﻼل ﻓﺘـﺭﺓ‬
‫ﺍﻨﺠﺎﺯ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻋﻤﺩﺓ ﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻤﺜل ﺍﻟﺯﻤﻥ‪ ،‬ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ ،‬ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪... ،‬ﺍﻟﺦ‪ .‬ﻨﺠﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻤﺭﻴﻥ ﺍﻟﺠﻴـﺩ ﺘـﺴﺠﻴل ﺍﺴـﻤﻙ‪ ،‬ﺍﻟﺘـﺎﺭﻴﺦ‬
‫ﻭﺍﻟﻭﻗﺕ ﺍﻟﺫﻱ ﺍﻨﺠﺯﺕ ﻓﻴﻪ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﺎﺕ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪.(1.4‬‬

‫ﺠﺩﻭل ‪ 1.4‬ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻤﻀﺨﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻟﺘﺠﺭﺒﺔ ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‬

‫ﺘﻡ ﺘﺴﺠﻴل ﺍﻟﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻤﻥ ﻗﺒل ﻤﺤﻤﺩ ﺴﻠﻤﺎﻥ ﻓﻲ ‪ ١٩٩٠/٢/٦‬ﻋﻨﺩ ‪6:30PM‬‬
‫ﺍﻻﺸﻜﺎل )‪ :(Graphs‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﻤﺜﻴل ﺍﻟﺼﻭﺭﻱ ﻟﻠﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻴﺴﻤﺢ ﻻﻱ ﺸﺨﺹ ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﻤﻥ ﻤﻌﺎﻴﻨﺔ ﺍﻟﻌﻼﻗﺎﺕ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ‪ .‬ﺴﻴﻤﺭ ﻋﻠﻴﻙ ﻓـﻲ ﻤﺨﺘﺒـﺭ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﺸﻜﺎل ﻭﺍﻟﺭﺴﻭﻤﺎﺕ ﻤﺜل ﺍﻟﺯﻤﻥ ﻀﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻀﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻻﺤﺩﺍﺜﻲ ﺍﻟـﺴﻴﻨﻲ )‪(X‬‬
‫ﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ )ﺍﻟﺯﻤﻥ ﻤﺜﻼ"(‪ ،‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﺍﻻﺤﺩﺍﺜﻲ ﺍﻟﺼﺎﺩﻱ )‪ (Y‬ﻓﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ )ﺍﻟﺘﻲ ﻗﻴﻤﺘﻪ ﺘﻌﺘﻤـﺩ ﻋﻠـﻰ ﺍﻭ‬
‫ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻤﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ(‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﻟﻘﺩ ﺍﻨﺸﺌﻨﺎ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﺩﻭل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﺘﺤﻭﻱ ﺍﻋﺩﺍﺩﺍ" ﺼﺤﻴﺤﺔ ﻤﻥ ‪ ١‬ﺍﻟﻰ ‪ ٥٠‬ﻜﻤﺘﻐﻴﺭ ﻏﻴﺭ ﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ )‪ (X‬ﻭﺘﻡ ﺤﺴﺎﺏ ﻗـﻴﻡ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ )‪ (Y‬ﻟﻌﺩﺓ ﺩﻭﺍل ﺒﺴﻴﻁﺔ‪.‬‬

‫‪١٠‬‬
‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.1‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ‪Y = X‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.2‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ‪Y = X2‬‬

‫‪١١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.3‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ‪Y = X3‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.4‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ )‪Y = Log (X‬‬

‫‪١٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.5‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ )‪Y = Exp (X‬‬

‫ﻭﻜﻤﺎ ﺒﻴﻨﺎ ﻟﺤﺎﻟﺔ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﺍﻟﺠﺩﻭل ﻓﺎﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻭﻀﻭﺡ ﻓﻲ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﺍﻻﺸﻜﺎل ﻤﻬﻡ ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﺤﻭﻱ ﻜل ﺸﻜل ﺍﻟﻌﻨﺎﻭﻴﻥ ﻭﺍﻻﺭﻗـﺎﻡ ﻟﻜـل‬
‫ﺍﺤﺩﺍﺜﻲ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﺤﻭﻱ ﺍﻟﻌﻨﻭﺍﻥ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ‪.‬‬
‫ﺍﺫﺍ ﻨﻅﺭﻨﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.6‬ﺍﻟﻤﻤﺜل ﺍﺩﻨﺎﻩ ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻪ )ﺍﻟﺯﻤﻥ( ﻗﺩ ﺭﺴﻡ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﺤﺩﺍﺜﻲ ﺍﻟﺴﻴﻨﻲ )‪ ،(X‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴـﺭﺍﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻴﻬﻤﺎ )ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﻀﻐﻁ ﺨﻁ ﺍﻟﺩﻋﻡ( ﺭﺴﻤﺕ ﻋﻠﻰ ﻴﺴﺎﺭ ﻭﻴﻤﻴﻥ ﺍﻻﺤﺩﺍﺜﻲ ﺍﻟﺼﺎﺩﻱ ﺒﺎﻟﺘﺭﺘﻴﺏ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 1.6‬ﻤﺜﺎل ﻴﻭﻀﺢ ﻜﻴﻔﻴﺔ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﺍﻟﺸﻜل‬

‫‪١٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٢‬ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ )‪(Safety‬‬

‫ﺍﻥ ﺍﻫﺘﻤﺎﻤﻨﺎ ﺒﻤﺴﺎﻟﺔ ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﻟﻜل ﺸﺨﺹ ﻴﺸﺎﺭﻙ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻫﻲ ﻤﺴﺎﻟﺔ ﺍﺴﺎﺴﻴﺔ ﻭﻤﻬﻤﺔ‪ .‬ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻫـﺫﺍ ﺍﻟﻬـﺩﻑ‪ ،‬ﻓـﺎﻥ ﻤﺨﺘﺒـﺭﺍﺕ‬
‫ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻗﺩ ﺘﻡ ﺘﺠﻬﻴﺯﻫﺎ ﺒﻤﺴﺘﻠﺯﻤﺎﺕ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﻟﻠﻌﺎﻤﻠﻴﻥ ﻓﻴﻬﺎ ﻤﺜل‪ :‬ﻜﻭﺍﺸﻑ ﺍﻟـﺩﺨﺎﻥ )‪ ،(smoke detectors‬ﻗﻭﺍﻁـﻊ ﺩﻭﺭﺓ‬
‫ﺍﻭﺘﻭﻤﺎﺘﻴﻜﻴﺔ )‪ ،(automatic sprinklers‬ﻤﻁﺎﻓﺊ ﺤﺭﻴﻕ )‪ (fire extinguishers‬ﻭﺤﻘﻴﺒﺔ ﻤﺴﺎﻋﺩﺍﺕ ﺍﻭﻟﻴﺔ )‪.(first aid kit‬‬
‫ﺘﻡ ﺘﻔﺎﺩﻱ ﻤﺴﺎﻟﺔ ﺍﻟﺘﻌﺭﺽ ﻟﻠﺴﻭﺍﺌل ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﺍﻭ ﺘﻘﻠﻴﻠﻬﺎ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﻲ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻭﻓﺭ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻤﻌﻠﻤﺔ ﻭﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺘﻬﻭﻴﺔ‬
‫ﻭﺍﻟﺘﺨﻠﺹ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﺴﺎل ﺍﻟﻁﺎﻟﺏ ﺍﻭ ﺍﻟﺒﺎﺤﺙ ﻋﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﺨﺹ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻋﺩﻡ ﻓﻬﻤﻪ ﻟﻌﻤل ﻫـﺫﺍ ﺍﻟﻨﻅـﺎﻡ‪ .‬ﻟﻜـﻥ‬
‫ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﺘﻘﻭل ﺍﻥ ﻜل ﺸﺨﺹ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﺴﺅﻻ" ﻋﻥ ﺴﻼﻤﺔ ﺍﻻﺸﺨﺎﺹ ﺍﻟﻤﺘﻭﺍﺠﺩﻴﻥ ﻤﻌﻪ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ )‪ :(physical safety‬ﻭﺘﺘﻀﻤﻥ ﺴﻼﻤﺔ ﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻌﻴﻭﻥ )‪ :(eyes‬ﺍﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻨﻅﺎﺭﺍﺕ ﺤﻤﺎﻴﺔ ﻤﺨﺘﺒﺭﻴﺔ ﻗﻴﺎﺴﻴﺔ ﻴﻜﻭﻥ ﻅﺭﻭﺭﻴﺎ" ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﻌﻤل ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺍﺫﺍ ﻨﻭﻴﺕ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺍﻭ ﺭﺴﻡ‬
‫ﺍﺸﻜﺎل ﻟﻠﺘﺠﺭﺒﺔ ﺍﻟﻤﻨﺠﺯﺓ ﻓﺎﻨﻪ ﻤﻥ ﺍﻻﻓﻀل ﺍﺠﺭﺍﺌﻬﺎ ﺨﺎﺭﺝ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ )ﺍﻟﻤﻜﺘﺒﺔ ﻤﺜﻼ"(‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻼﺒﺱ )‪ :(clothing‬ﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺘﺠﺎﺭﺏ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺘﺩﺍﺭ ﺒﻤﺎﻁﻭﺭﺍﺕ ﻭﻟﺫﻟﻙ ﻓﺎﻨﻪ ﻤﻥ ﺍﻻﻓﻀل ﻋـﺩﻡ ﺍﺭﺘـﺩﺍﺀ‬
‫ﻨﻭﻋﻴﺔ ﺍﻟﻤﻼﺒﺱ ﺍﻟﻤﻔﺘﻭﺤﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﻨﺸﻭﺭﺓ ﺍﻭ ﺍﻏﻁﻴﺔ ﺍﻟﺭﺍﺱ ﺍﻟﻁﻭﻴﻠﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﻨﺤﺸﺭ ﺒﺎﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻭ ﺘﻠﺘﺼﻕ ﺒﻬﺎ‪ .‬ﺍﻟﺸﻌﺭ ﺍﻟﻁﻭﻴل ﻤﺜﻼ" ﻋﻨـﺩ ﺍﻟﻨـﺴﺎﺀ‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﺨﻁﺭ ﻫﻨﺎ ﻭﻟﺫﻟﻙ ﻴﺠﺏ ﺘﺠﻤﻴﻌﻪ ﻭﺭﺒﻁﻪ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻌﻤل ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ‪ .‬ﻭﺍﺨﻴﺭﺍ" ﻴﺠﺏ ﺍﺭﺘﺩﺍﺀ ﺼـﺩﺭﻴﺔ ﻤﺨﺘﺒـﺭ ﻤﻨﺎﺴـﺒﺔ ﺩﺍﺨـل‬
‫ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ‪.‬‬
‫ﺘﻌﺭﺽ ﺍﻟﺒﺸﺭﺓ ﻟﻠﺨﻁﺭ )‪ :(skin rupture‬ﺍﻥ ﺍﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﺨﺎﻁﺊ ﻟﻼﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﺤﺎﺩﺓ ﻭﻤﻥ ﻀﻤﻨﻬﺎ ﻤﻌﺩﺍﺕ ﻭﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻗﺩ ﻴـﺴﺒﺏ ﺠـﺭﺡ ﺍﻭ‬
‫ﺍﺫﻯ ﻟﻠﺠﻠﺩ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﻤﺸﺎﻜل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻓﻘﺩ ﻴﺴﺒﺏ ﺍﺘﻬﺎﺒﺎ" ﻭﺍﻋﺭﺍﺽ ﺍﺨﺭﻯ ﻏﻴﺭ ﻤﺭﻏﻭﺒﺔ ﻟﺒﺸﺭﺓ ﺍﻟﺠﺴﻡ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ )‪:(Electrical safety‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻤﺭﺍﺭ ﺘﻴﺎﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺨﻼل ﺃﻱ ﺠﺯﺀ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﺴﻡ ﻗﺩ ﻴﺴﺒﺏ ﺍﻟﻤﻭﺕ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ )‪ (AC‬ﺍﻭ ﺍﻟﻤـﺴﺘﻤﺭ )‪(DC‬‬
‫ﻭﻴﺨﺘﻠﻑ ﻤﻥ ﻜﻭﻨﻪ ﺫﻱ ﻜﻤﻴﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﺠﺩﺍ" ﺍﻟﻰ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺘﻌﺭﺽ ﺍﺠﺴﺎﻤﻨﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺘﻠﻑ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﻤﺭﻭﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺘﻴﻥ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺘﻠﻑ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻌﺼﺒﻲ )‪.(Nervous system‬‬
‫‪ -٢‬ﺘﻠﻑ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺤﺭﻭﻕ )‪.(Joule heating‬‬
‫ﺍﻟﺘﻠﻑ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺼﺒﻲ )‪ :(Nervous system damage‬ﺍﻥ ﻤﺭﻭﺭ ﺘﻴﺎﺭ ﺒﻤﻌﺩل ‪ mA‬ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﺴﻡ ﻴﺴﺒﺏ ﺃﻟﻤﺎ" ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺤﺙ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻌﺼﺒﻲ ﻓـﻲ‬
‫ﺠﻠﺩﻨﺎ‪ .‬ﻜﻠﻤﺎ ﺯﺍﺩ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻗﺩ ﻨﻔﻘﺩ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻋﺼﺎﺒﻨﺎ ﻭﺘﺤﺼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺸﻠل ﻭﺭﺒﻤﺎ ﺘﻤﻨﻊ ﺍﻟﺸﺨﺹ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺨﻠﺹ ﻤﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﻴـﺎﺭ‪ .‬ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ‬
‫ﻴﺤﺼل ﺍﻟﺘﻠﻑ ﺍﺫﺍ ﻤﺎﺘﻡ ﺍﺭﺴﺎل ﺍﺸﺎﺭﺓ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﻴﻁﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻋﺼﺎﺏ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﺍﺭﺍﺩﻴﺔ ﻟﻠﻘﻠﺏ‪ ،‬ﺍﻟﺭﺌﺘﺎﻥ ﻭﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﻤﻬﻤﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻨﻌﻬـﺎ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻌﻤل ﺒﺸﻜل ﻤﻀﺒﻭﻁ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺴﺒﺏ ﺘﻭﻗﻑ ﺍﻟﻀﺦ ﻓﻲ ﺍﻟﻘﻠﺏ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺤﺭﻭﻕ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﻭﻟﺩﺓ )‪ :(Joule heat‬ﺍﻥ ﺍﻤﺭﺍﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻓﻲ ﻋﻨﺼﺭ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻤﺭﻭﺭﻩ ﻤﺜل ﺍﻟﺨﻼﻴﺎ ﺍﻟﺤﻴـﺔ ﻭﺍﻟـﺫﻱ‬
‫ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﺤﺭﺍﺭﺓ‪ .‬ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺤﺭﻭﻕ ﻤﻥ ﺍﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺜﺎﻟﺜﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻭﺍﻟﺫﻱ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﻜﻭﻥ ﻋﻀﻭ ﻤﻬﻡ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﻭﻟﻭﺠﻴﻜﻴﺔ ﻟﻠﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺍﻟﻤﺎﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﺴﻡ‪:‬‬
‫ﺘﻌﺭﻴﻑ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ‬ ‫ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺭ )ﺍﻤﺎﻥ(‬
‫ﻋﺩﻡ ﺍﻟﺸﻌﻭﺭ ﺒﺎﻱ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻓﻴﺯﻴﺎﻭﻱ‪.‬‬ ‫‪1 mA‬‬
‫ﺍﻟﺸﻌﻭﺭ ﺒﺼﺩﻤﺔ ﺨﻔﻴﻔﺔ‪.‬‬ ‫‪1-8mA‬‬
‫ﺘﻌﺭﻴﻑ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ‬ ‫ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺭ )ﻏﻴﺭ ﺍﻤﻴﻥ(‬
‫ﺼﺩﻤﺔ ﻤﺅﻟﻤﺔ‪ .‬ﻻﻴﻭﺠﺩ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻋﺼﺎﺏ‪.‬‬ ‫‪8-15mA‬‬
‫ﺼﺩﻤﺔ ﻤﺅﻟﻤﺔ‪ .‬ﻓﻘﺩﺍﻥ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻟﻠﻌﺼﺏ ﺍﻟﻤﺘﺎﺜﺭ‪.‬‬ ‫‪20-50mA‬‬
‫ﻀﺭﺒﺎﺕ ﺍﻟﻘﻠﺏ ﺘﺘﺎﺜﺭ‪ .‬ﺍﻟﺘﺼﺎﻕ ﺍﻟﺠﺴﻡ ﺒﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﺤﺘﻰ ﺍﻨﺘﻬﺎﺀ ﻤﺭﻭﺭﻫﺎ‪.‬‬ ‫‪100-200mA‬‬

‫‪١٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺴﺒﺏ ﻤﻭﺕ ﺍﻟﺸﺨﺹ‪.‬‬
‫ﺠﺭﻭﺡ ﻜﺒﻴﺭﺓ‪ .‬ﺼﺩﻤﺔ ﻋﺼﺒﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ‪ .‬ﺘﻭﻗﻑ ﻋﻤل ﺍﻟﻘﻠﺏ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻨﻘﺒﺎﺽ‬ ‫‪>200mA‬‬
‫ﺍﻋﺼﺎﺏ ﺍﻟﻘﻠﺏ ﻭﺨﺎﺼﺔ ﺍﺫﺍ ﺍﺴﺘﻤﺭ ﻤﺭﻭﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻟﻌﺩﺓ ﺩﻗﺎﺌﻕ‪.‬‬
‫ﺍﻻﻥ ﺍﻟﺴﺅﺍل ﺍﻟﻤﻁﺭﻭﺡ‪ ،‬ﻤﺎﺫﺍ ﻨﻔﻌل ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺤﺼﻭل ﺼﺩﻤﺔ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻟﺸﺨﺹ ﻴﻌﻤل ﺒﺎﻟﻘﺭﺏ ﻤﻨﻙ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ؟ ﻫﻨﺎﻙ ﻋﺩﺓ ﻨﻘﺎﻁ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻁﺒﻴﻘﻬـﺎ‬
‫ﻟﺘﻘﻠﻴل ﺍﻀﺭﺍﺭ ﺍﻟﺼﺩﻤﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﺴﺘﺩﻋﺎﺀ ﺍﻟﻤﺴﺎﻋﺩﺓ ﺤﺎﻻ"‪ :‬ﺍﻻﻓﻀل ﺍﻟﺼﻴﺎﺡ ﻁﺎﻟﺒﺎ" ﺍﻟﻤﺴﺎﻋﺩﺓ ﻤﻥ ﺍﻻﺨﺭﻴﻥ ﺤﻭﻟﻙ‪ .‬ﺍﻁﻠﺏ ﻤﻥ ﺍﺤﺩ ﺍﻻﺸﺨﺎﺹ ﺍﻻﺘﺼﺎل ﺒﺎﻟﺨﺩﻤﺔ ﺍﻟﻁﺒﻴﺔ ﻭﺤـﺩﺩ‬
‫ﻨﻭﻉ ﺍﻟﺤﺎﺩﺙ ﻭﺍﻟﻤﻜﺎﻥ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﻤﺴﺎﻋﺩﺓ ﺍﻟﻀﺤﻴﺔ‪ :‬ﺤﺩﺩ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﻭﺤﺎﻭل ﺍﻴﻘﺎﻓﻬﺎ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﺍﻟﺸﺩﻴﺩ ﻟﻌﺩﻡ ﺘﻌﺭﻀﻙ ﻟﺨﻁﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ‪ .‬ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻥ ﻀﺭﻭﺭﻴﺎ" ﺍﺴـﺘﺨﺩﻡ‬
‫ﺠﺯﺀ" ﻋﺎﺯﻻ" ﻟﻐﺭﺽ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻀﺤﻴﺔ ﻤﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻻﻨﻌﺎﺵ ﺒﺎﻟﺘﻨﻔﺱ ﺍﻻﺼﻁﻨﺎﻋﻲ )‪ :(CPR‬ﻴﺘﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺨﻁﻭﺍﺕ ﺍل )‪ (CPR‬ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻋﺩﻡ ﻤﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻀﺤﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻨﻔﺱ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﻻﺴﺘﻤﺭﺍﺭ ﺒﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻟﻤﺴﺎﻋﺩﺓ‪ :‬ﺍﺴﺘﻤﺭ ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍل )‪ (CPR‬ﺤﺘﻰ ﻗﺩﻭﻡ ﻤﺴﺎﻋﺩﺓ‪ .‬ﻗﺩ ﻴﺴﺘﻠﺯﻡ ﻴﺴﺘﻠﺯﻡ ﻓﺘﺭﺓ ﺴﺎﻋﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻗل ﺤﺘﻰ ﻴﺨﺭﺝ ﺍﻟـﻀﺤﻴﺔ‬
‫ﻤﻥ ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﺼﺩﻤﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺒﻌﺩ ﺍﻟﺘﻌﺭﺽ ﻟﻬﺎ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻟﺨﺩﻤﺔ ﺍﻟﻁﺒﻴﺔ ﻟﻠﻀﺤﻴﺔ‪ :‬ﺤﺘﻰ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﺴﺘﺭﺠﺎﻉ ﺍﻟﻀﺤﻴﺔ ﻟﻭﻋﻴﻬﺎ ﺒﻌﺩ ﺍﻟﺼﺩﻤﺔ‪ ،‬ﻓﻤﻥ ﺍﻟﻀﺭﻭﺭﻱ ﺍﻥ ﻴﻌﺭﺽ ﺍﻟﻀﺤﻴﺔ ﻟﻔﺤـﺹ ﻁﺒـﻲ‬
‫ﻤﺤﺘﺭﻑ ﻻﻨﻪ ﻗﺩ ﻴﻜﻭﻥ ﻗﺩ ﺘﻌﺭﺽ ﻟﺠﺭﻭﺡ ﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﻏﻴﺭ ﻤﺭﺌﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﻔﺎﻫﻴﻡ ﻓﻲ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ )‪(Basic of electricity‬‬
‫ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ )‪ :(Electrical energy‬ﻫﻲ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻤﺭﻭﺭ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻓﻲ ﻤﻭﺼل‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻬﺩ )‪ :(Potential‬ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻘﻴﺎﻡ ﺒﻌﻤل ﺍﻭ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ ،‬ﻭﻴﺘﻡ ﺍﻟﺘﻌﺒﻴﺭ ﻋﻥ ﺍﻟﺠﻬﺩ ﺒﺎﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ )‪.(V‬‬
‫ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ )‪ :(Current‬ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻭﻴﻌﺒﺭ ﻋﻨﻪ ﺒﺎﻻﻤﺒﻴﺭ )‪.(A‬‬
‫ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ )‪ :(Resistance‬ﻫﻲ ﺍﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﻤﺢ ﻓﻴﻬﺎ ﻤﺎﺩﺓ ﺒﻤﺭﻭﺭ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻭﻭﺤﺩﺍﺘﻬﺎ ﺍﻻﻭﻡ )‪.(Ω‬‬
‫ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ )‪ :(Power‬ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺯﻤﻨﻲ ﻻﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﻭﻴﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻭﺍﻁ )‪.(W‬‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺩﺩ )‪ :(Frequency‬ﻋﺩﺩ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺘﻜﻭﻨﺔ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﻭﻴﻌﺒﺭ ﻋﻨﻬﺎ ﺒﺎﻟﻬﺭﺘﺯ )‪.(Hz‬‬
‫ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ )‪ :(Direct Current: DC‬ﺍﻟﺠﻬﺩ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ ﻤﻊ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﻭﺭﺒﻤﺎ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻭﺠﺒﺎ" ﺍﻭ ﺴﺎﻟﺒﺎ"‪ ،‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﺩﻨﺎﻩ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ )‪ :(Alternating Current: AC‬ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﻟﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺘﺘﻐﻴﺭ ﺒﺸﻜل ﺠﻴﺒﻲ ﻤﻊ ﺍﻟﺯﻤﻥ‪ ،‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﺩﻨﺎﻩ‪ .‬ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻨﺯل ﻫـﻭ‬
‫‪.50Hz‬‬

‫‪١٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﻟﻠﺘﺭﺩﺩ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ )‪ :(Radio Frequency alternating current: RF‬ﺘﻴﺎﺭ ﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﺫﻱ ﺘﺭﺩﺩ ﺭﺍﺩﻴﻭﻱ ﻭﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ ﻟﻪ ﻗﻴﻤـﺔ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻜﻴﻠﻭﻫﺭﺘﺯ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﻴﻜﺎﻫﺭﺘﺯ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﺸﻜل ﻤﻭﺠﺎﺕ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻟﻬﺎ ﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻋﻠﻰ ﺠﺴﻡ ﺍﻻﻨﺴﺎﻥ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ"‪:‬‬
‫‪ -‬ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﻴﺴﺒﺏ ﻀﺭﺭﺍ" ﻟﻠﻘﻠﺏ ﻭﺘﻘﻠﺼﺎﺕ ﻟﻼﻋﺼﺎﺏ‪.‬‬
‫‪ -‬ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ ﻴﺴﺒﺏ ﺸﺩ ﻟﻼﻋﺼﺎﺏ ﻭﺍﻨﻘﺒﺎﺽ ﺍﻟﻘﻠﺏ ﻭﺤﺭﻭﻕ ﻋﻨﺩ ﻤﺴﺘﻭﻴﺎﺕ ﺍﻋﻠﻰ ﻤﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﻤﻊ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ‪.‬‬
‫‪ -‬ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﻟﻠﺘﺭﺩﺩ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ ﺍﻟﻤﺎﺭ ﺨﻼل ﺍﻟﺠﻠﺩ ﻴﺴﺒﺏ ﺤﺭﻭﻕ ﻋﻨﺩ ﻓﻭﻟﺘﻴﺎﺕ ﺍﻗل ﻤﻤﺎ ﻓﻲ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﻭﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺒﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺎﺕ )‪ :(Capacitors‬ﻭﻫﻲ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺨﺯﻥ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﻤﺠﻬـﺯﺍﺕ ﺍﻟﻘـﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴـﺔ ﻭﻭﺤـﺩﺍﺕ‬
‫ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻓﻲ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺘﺤﻭﻱ ﻤﺘﺴﻌﺎﺕ ﻓﻲ ﺩﻭﺍﺌﺭﻫﺎ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻨﺘﺞ ﺠﺭﻭﺡ ﺠﺩﻴﺔ ﻤﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻻﺘﺼﺎل ﺍﻟﻤﺒﺎﺸﺭ ﻤﻊ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺎﺕ ﺍﻟﻤﺸﺤﻭﻨﺔ‪.‬‬
‫ﻤﻼﺤﻅﺔ‪ :‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﺎﺨﺫ ﺒﻨﻅﺭ ﺍﻻﻋﺘﺒﺎﺭ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﻋﻠﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻫﻲ ﻤﺘﺴﻌﺔ ﻤﺸﺤﻭﻨﺔ !‪ .‬ﻟﺫﻟﻙ ﻭﻗﺒل ﺍﻟﺒﺩﺀ ﺒﺎﻟﻌﻤل ﻤﻊ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻱ ﻤﺘﺴﻌﺔ ﻴﺠﺏ ﺘﺎﺭﻴﺙ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻭﺍﻴﺭ ﺘﺎﺭﻴﺙ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﻤﺼﻤﻡ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻐﺭﺽ‪.‬‬
‫ﺍﻻﺨﻁﺎﺭ ﺍﻟﻤﺭﺍﻓﻘﺔ ﻟﻼﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪:‬‬
‫)‪(Hazards related with electrical equipments‬‬
‫ﺍﻟﺤﺭﻴﻕ )‪ :(Fire‬ﺘﺘﻭﻟﺩ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺭﺍﺌﻕ ﺒﺴﺒﺏ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺘﺩﺭﻴﺏ ﻋﻠﻰ ﺍﺴﺎﻟﻴﺏ ﻤﻌﺎﻟﺠﺔ ﺤﺭﻴﻕ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﺒﺘﻘﻨﻴﺔ ﻤﻁﻔﺌﺔ ﺤﺭﻴـﻕ ﻤﻨﺎﺴـﺒﺔ‬
‫)‪ .(fire extinguishers‬ﺘﻭﺠﺩ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻤﻭﻀﻭﻋﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻁﻔﺎﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﻌﻠﻕ ﺒﻜﻴﻔﻴﺔ ﺍﻻﺴﺘﻌﻤﺎل ﻭﻻﻱ ﻏﺭﺽ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺠﻴﺏ ﻗﺭﺍﺀﺓ ﻫﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺒﻌﻨﺎﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺴﺎﻤﺔ )‪ :(Toxic gas‬ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺘﻔﺎﻋل ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ ﻟﻠﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻌﺎﺯﻟﺔ ﻭﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻨﺒﻌﺎﺙ ﻭﺘﺤﻠل ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ )ﺍﻻﻭﺯﻭﻥ ﻤﺜﻼ"(‪.‬‬
‫ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺎﺕ ﺍﻟﻘﺩﻴﻤﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺤﻭﻱ ﻋﻠﻰ )‪ (PCB's‬ﺴﺎﻤﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻻﺸﻌﺔ ﺍﻟﺴﻴﻨﻴﺔ )‪ :(x-rays‬ﺍﻥ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﻌﻁﻲ ﺍﺸﻌﺔ ﺴﻴﻨﻴﺔ‪ .‬ﻟﺫﻟﻙ ﻴﺴﺘﻭﺠﺏ ﻭﺠﻭﺩ ﺤﺎﺠﺯ ﻟﺘﻘﻠﻴـل ﺍﻟﺘﻌـﺭﺽ‬
‫ﻟﻼﺸﻌﺔ ﺍﻟﺴﻴﻨﻴﺔ ﻭﻟﻤﺴﺘﻭﻯ ﻤﻘﺒﻭل‪.‬‬
‫ﺍﻟﻀﻭﺀ ﺍﻟﺴﺎﻁﻊ )‪ :(Bright light‬ﺍﻥ ﺍﻟﺸﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟﻘﻭﺱ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺴﺒﺏ ﺘﻠﻑ ﺩﺍﺌﻤﻲ ﻟﻠﻌﻴﻥ‪.‬‬
‫ﺍﻻﺸﻌﺎﻋﺎﺕ )‪ :(Radiations‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻭﺠﺎﺕ ﻭﺍﻻﺸﻌﺔ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﺨﻁﺭ ﺼﺤﻲ ﻭﺨﺎﺼﺔ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻜﻭﻥ ﺍﻟﺘﻌـﺭﺽ‬
‫ﻟﻬﺎ ﻟﻔﺘﺭﺓ ﻁﻭﻴﻠﺔ‪.‬‬
‫ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻋﺎﻤﺔ ﻟﻠﺴﻼﻤﺔ )‪(General safety criteria‬‬
‫‪ -١‬ﺍﺸﺘﺭﻱ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺠﺩﻴﺩﺓ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺴﺘﻌﻤﻠﺔ‪ ،‬ﻭﺍﻤﺎ ﺍﻟﻤﺴﺘﻌﻤل ﻤﻨﻬﺎ ﻓﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺨﺩﻤﺔ ﺍﻟﺼﻴﺎﻨﺔ ﻋﻠﻴﻬﺎ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻭﺠﻭﺩ ﺤﻭﺍﺠﺯ ﻓﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﻤﻨﻊ ﺍﻻﺘﺼﺎل ﺍﻟﻤﺒﺎﺸﺭ ﻤﻊ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﻭﺨﺎﺼﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻤل ﻤﻨﻬﺎ ﻋﻨﺩ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ )‪.(> 50V‬‬
‫‪ -٣‬ﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻭﺠﻭﺩ ﻭﻨﺼﺏ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﺎﻁﻊ ﺩﻭﺭﺓ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﻤﻨﻊ ﺤﺩﻭﺙ ﺨﻁﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻻﺘﺼﺎل ﺍﻟﻤﺒﺎﺸﺭ ﻤﻌﻬﺎ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻭﺠﻭﺩ ﻋﻼﻤﺎﺕ ﺘﻌﺭﻴﻔﻴﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻤﻨﺎﻁﻕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺒﺏ ﺍﻟﺨﻁﺭ ﻟﻠﺘﺤﺫﻴﺭ ﻤﻨﻬﺎ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﻴﺠﺏ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻨﻅﺎﻡ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﻟﻠﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻴﺠﻌﻠﻬﺎ ﺘﺘﻭﻗﻑ ﻋﻥ ﺍﻟﻌﻤل ﻋﻨﺩ ﺤﺩﻭﺙ ﺃﻱ ﺤﺎﺩﺙ‪.‬‬
‫‪ -٦‬ﺤﺩﺩ ﻤﻨﺎﻁﻕ ﺍﻟﺨﺭﻭﺝ ﻟﻠﻌﺎﻤﻠﻴﻥ ﻋﻨﺩ ﺤﺼﻭل ﺤﺎﻟﺔ ﻁﻭﺍﺭﺉ ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻁﻭﺍﺭﺉ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ‪.‬‬
‫‪ -٧‬ﺍﻟﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﻀﻭﺀ ﻭﺘﻬﻭﻴﺔ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ‪.‬‬
‫‪ -٨‬ﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻋﺩﻡ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﺘﺼﺎل ﻤﺒﺎﺸﺭ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻭﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﺒﺎﻱ ﺸﻜل ﻜﺎﻥ ﻭﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻟﺼﺭﻑ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﻠﻤﺎﺀ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻭﺠﻭﺩﻩ‪.‬‬
‫‪ -٩‬ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻻﺭﻀﻲ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﺍﻟﺯﺍﺌﺩﺓ ﻟﻼﺠﻬﺯﺓ ﻭﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻭﺍﻟﻤﻨﺎﻀﺩ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻌﺎﺩﻥ ﺫﺍﺕ ﺘﻭﺼـﻴﻠﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴـﺔ‬
‫)ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ( ﻤﺜل ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ‪.‬‬
‫‪ -١٠‬ﻴﺠﺏ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﻋﺼﻰ ﺘﺎﺭﻴﺙ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ )‪ (ground hooks‬ﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻤﻬﺎ ﻤﻊ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ -١١‬ﻴﺠﺏ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﻜﺘﻴﺏ ﺘﻌﻠﻴﻤﺎﺕ ﺨﺎﺹ ﺒﺎﻟﺴﻼﻤﺔ ﻭﺍﻻﻤﺎﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻴﻭﻀﺢ ﻓﻴﻪ ﻜﻴﻔﻴﺔ ﺍﻟﺘﻌﺎﻤل ﻤﻊ ﺍﻟﺤﻭﺍﺩﺙ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻁﻭﺍﺭﺉ‪.‬‬
‫ﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪:‬‬
‫)‪(Characteristics of Electrical Equipment Used in Vacuum Technology‬‬

‫‪١٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ )‪:(Chemical safety‬‬
‫ﺍﻥ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ )ﺼﻠﺒﺔ‪ ،‬ﺴﺎﺌﻠﺔ ﻭﻏﺎﺯﻴﺔ( ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺘﻌﺎﻤل ﻤﻌﻬﺎ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻫﻲ ﻤﻭﺍﺩ ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﺨﻁﺭﺓ‪ .‬ﺍﻻﻤﺜﻠﺔ ﻋﻠﻰ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﻫﻲ ﺍﻟﻤـﺫﻴﺒﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻜﻠﻭﺭﻴﺩﻴﺔ ﻭﺍﻟﻔﻠﻭﺭﻴﺩﻴﺔ ﻭﺍﻟﺯﺌﺒﻕ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻋﻨﺩ ﺤﻔﻅ ﻭﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻭﺍﺘﻼﻑ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﺒﻁﺭﻴﻘﺔ ﺍﻤﻴﻨﺔ ﻭﺍﻟﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻰ ﻨﻅﺎﻓﺔ ﺍﻟﺒﻴﺌـﺔ‬
‫ﻭﺒﺸﻜل ﻗﻴﺎﺴﻲ ﻭﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻜﺘﻴﺏ ﺨﺎﺹ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻐﺭﺽ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺫﻴﺒﺎﺕ ﺍﻟﻌﻀﻭﻴﺔ )‪ :(Organic solvents‬ﻴﺘﻡ ﺍﻻﺤﺘﻔﺎﻅ ﺒﺎﻟﻤﺫﻴﺒﺎﺕ ﺍﻟﻌﻀﻭﻴﺔ ﺒﺸﻜل ﺍﻤﻴﻥ ﻟﺤﻤﺎﻴﺘﻬﺎ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺭﻴﻕ ﻭﻋﺎﺩﺓ ﻤﺎﺘﻭﻀـﻊ ﻓـﻲ ﺨﺯﺍﻨـﺔ‬
‫ﺤﺩﻴﺩﺓ ﺤﻤﺭﺍﺀ ﺍﻟﻠﻭﻥ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻨﻘل ﻜﻤﻴﺎﺕ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ )ﺒﻴﻜﺭ ﺯﺠﺎﺠﻲ ﻤﺜﻼ"( ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻻﺴﺘﻌﻤﺎل ﻗﺭﺏ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ‪ .‬ﻴﺠـﺏ ﻋـﺩﻡ‬
‫ﺘﻌﺭﻴﺽ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺫﻴﺏ ﻻﻱ ﺸﺭﺍﺭﺓ ﺍﻭ ﺴﻁﺢ ﺤﺎﺭ ﺍﻭ ﺸﻌﻠﺔ ﻤﻔﺘﻭﺤﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺫﻴﺒﺎﺕ ﻓﻲ ﻤﻨﺎﻁﻕ ﺫﺍﺕ ﺘﻬﻭﻴﺔ ﺠﻴﺩﺓ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠـﺏ ﻤﻨـﻊ ﺃﻱ‬
‫ﺍﺘﺼﺎل ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﺫﻴﺏ ﻭﺍﻟﺠﺴﻡ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺫﻴﺏ ﺍﻟﻨﻅﻴﻑ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺴﺘﻌﻤل ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺘﻬﺎ ﺍﻻﺼﻠﻴﺔ ﺒﻌﺩ ﺍﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻭﺍﺭﺠﺎﻋﻬﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺨﺯﺍﻨـﺔ ﺍﻟﺤﺩﻴﺩﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﻠﻤﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ )‪ :(Mercury‬ﺍﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻗﺩ ﺍﺨﺘﻔﺕ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﻭﻟﻜﻥ ﻴﺠﺏ ﺍﻋﻁﺎﺀ ﻓﻜﺭﺓ ﻋﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺨﻁﺭﺓ ﻭﻜﻴﻔﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻌﺎﻤل ﻤﻌﻪ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻴﻤﻠﻙ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﺘﻭﺍﺯﻥ ﻜﺒﻴﺭ ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﺤﻭﺍﻟﻲ )‪ .(2 × 10-3 Torr‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﺴﺎﻡ ﻟﻠﺯﺌﺒـﻕ‬
‫ﻫﻭ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺘﺭﺍﻜﻤﻲ ﻭﻴﺴﺒﺏ ﺘﻠﻑ ﻟﻠﺩﻤﺎﻍ ﻭﻟﻠﻜﻠﻴﺘﻴﻥ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺤﻔﻅ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻏﻴﺭ ﻗﺎﺒﻠﺔ ﻟﻠﻜﺴﺭ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﺍﻟﻐﻠﻕ )ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ‪(Poypropylene‬‬
‫ﻭﻴﺠﺏ ﺍﻟﺘﻌﺎﻤل ﻤﻌﻬﺎ ﺒﺩﻭﻥ ﺃﻱ ﺘﻤﺎﺱ ﻤﻊ ﺍﻟﺠﻠﺩ ﺍﻭ ﺍﺴﺘﻨﺸﺎﻕ ﻤﺒﺎﺸﺭ ﻟﺒﺨﺎﺭﻫﺎ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ )‪:(Mechanical safety‬‬
‫ﻭﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻀﻐﻭﻁﺔ )‪:(Pneumatic lines‬‬
‫ﺍﻥ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻭ ﺃﻱ ﻏﺎﺯ ﻤﻀﻐﻭﻁ ﻴﻭﻓﺭ ﻤﺼﺩﺭ ﻁﺎﻗﺔ ﻤﻀﻐﻭﻁ ﺫﺍﺕ ﺩﺍﻓﻌﻴﺔ ﻗﻭﻴﺔ ﻋﻨﺩ ﺤﺩﻭﺩ ﻀﻐﻁ ﺒﻴﻥ )‪ .(70 – 120 psig‬ﻴﺠـﺏ ﺍﺭﺘـﺩﺍﺀ‬
‫ﻨﻅﺎﺭﺍﺕ ﺍﻤﺎﻥ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻌﻤل ﺤﻭل ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻀﻐﻭﻁﺔ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ" ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺒﻼﺴﺘﻴﻜﻲ ﻤﺭﺒﻭﻁ ﻤﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﻨﻔﺠﺭ ﺍﻭ ﻴﻔﻠﺕ ﺒـﺸﻜل‬
‫ﻋﻨﻴﻑ‪ .‬ﻻﺘﺤﺎﻭل ﺍﺒﺩﺍ" ﻭﻀﻊ ﻴﺩﻙ ﺍﻭ ﺍﺼﺒﻌﻙ ﻋﻠﻰ ﻤﻭﻀﻊ ﺍﻟﻔﺘﺤﺔ ﻻﻨﻪ ﻗﺩ ﻴﺴﺒﺏ ﺠﺭﻭﺡ ﺨﻁﻴﺭﺓ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻏﻴﺔ )‪:(Vacuum gate valve‬‬
‫ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﻭﻟﺩ ﻗﻭﺓ ﺘﺸﻐﻴل ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺠﺏ ﻋﺩﻡ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺎﺕ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻭﻻ" ﻓﺼل ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻬـﻭﺍﺀ‪ .‬ﺍﻥ ﺼـﻤﺎﻤﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺔ ﺘﻌﻤل ﻋﺎﺩﺓ ﻤﻊ ﺼﻤﺎﻡ ﺘﺤﻜﻡ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ‪-‬ﻫﻭﺍﺌﻲ )ﻴﺩﻋﻰ ﺍﺤﻴﺎﻨﺎ" ﺒﺎﻟﺴﻠﻨﻭﻴﺩ ‪ (Solenoid‬ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﻗـﺩﺭﺓ ﻤـﺴﺘﻤﺭﺓ ﺒـﺸﻜل ﺩﻭﺭﻱ ﻟﻴﺒﻘـﻰ‬
‫ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻤﻔﺘﻭﺤﺎ"‪ .‬ﺍﻥ ﺃﻱ ﺨﻠل ﻋﻨﺩ ﺃﻱ ﻟﺤﻅﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺴﺒﺏ ﺒﺘﻜﺴﻴﺭ ﺍﻟﻌﻅﺎﻡ ﺍﻭ ﻗﻁﻊ ﺍﻻﻁﺭﺍﻑ ﻻﺴﺎﻤﺢ ﺍﷲ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ )‪:(Thermal safety‬‬
‫ﺍﻥ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺘﺸﻐل ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺠﺩﺍ" ﺍﻭ ﺒﺎﺭﺩﺓ ﺠﺩﺍ" ﻭﺘﺘﻁﻠﺏ ﺒﻌـﺽ ﺍﻻﺤﺘﻴﺎﻁـﺎﺕ ﻟﻐـﺭﺽ‬
‫ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ ﻤﻨﻬﺎ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ"‪:‬‬
‫‪ -‬ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺸﻐﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫ﻤﺜل ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﻭﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‪ .‬ﺍﺫ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﺤﺭﻭﻕ ﻤﻥ ﺍﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺜﺎﻨﻴﺔ ﻭﺍﻟﺜﺎﻟﺜﺔ ﺍﺫﺍ ﺠﺎﺀﺕ ﺍﻟﺒـﺸﺭﺓ ﺒﺘﻤـﺎﺱ ﻤـﻊ ﺘﻠـﻙ‬
‫ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪.‬‬
‫‪ -‬ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺸﻐﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻤﺘﻭﺴﻁﺔ‪:‬‬
‫ﻤﺜل ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‪ ،‬ﻤﺠﻬﺯﺍﺕ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﻭﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ -‬ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺸﻐﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻁﺌﺔ ﺠﺩﺍ"‪:‬‬
‫ﻤﺜل ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻱ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴـﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴـﺔ‪ ،‬ﺨﻁـﻭﻁ ﺴـﺎﺌل ﺍﻟﻬﻠﻴـﻭﻡ‬
‫ﻭﻀﺎﻏﻁﺎﺕ ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ‪.‬‬

‫‪١٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٣‬ﻤﻔﺎﻫﻴﻡ ﺍﺴﺎﺴﻴﺔ ﻟﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪(Review of basic vacuum calculations‬‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪ :(Vacuum‬ﺍﻥ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﺎﺤﻴﺔ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻘﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻌﺭﻑ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﺤﺕ ﻀﻐﻁ ﺍﻗل ﻤﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ‪ .‬ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪3.1‬‬
‫ﻴﺒﻴﻥ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﻤﻌﺩﻻﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ‪.‬‬

‫ﺠﺩﻭل )‪ (3.1‬ﻴﺒﻴﻥ ﻤﻌﺩﻻﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫ﺘﻌﺘﻤﺩ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻋﻠﻰ ﺨﻠﻕ ﺒﻴﺌﺔ ﺘﺠﺭﻯ ﺘﺤﺘﻬﺎ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒﺔ )ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ‪ ،‬ﻟﺤﺎﻡ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‪.... ،‬ﺍﻟﺦ(‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻴﺠـﺭﻯ‬
‫ﻋﺎﺩﺓ" ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻤﻥ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻘﺒﻭﻟﺔ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺒﻌﺽ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭ )‪ :(atmosphere‬ﻏﻁﺎﺀ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻴﺤﻴﻁ ﺒﺴﻁﺢ ﺍﻻﺭﺽ ﻭﻴﺘﺴﻊ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺨﺎﺭﺝ ﺍﻟﻰ ﻤﺴﺎﻓﺔ ‪ ٢٥‬ﻤﻴل ﻭﻴﺸﺎﺭ ﺍﻟﻴﻪ ﺒﺎﻟﻬﻭﺍﺀ )‪ (air‬ﺍﻭ ﺍﻟﺠـﻭ‪.‬‬
‫ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺨﻠﻴﻁ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻴﻭﻟﺩ ﻀﻐﻁ ﻴﺅﺜﺭ ﺒﺸﻜل ﻤﺘﺴﺎﻭﻱ ﻋﻠﻰ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻻﺸﻴﺎﺀ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻋﻠﻰ ﺴﻁﺢ ﺍﻻﺭﺽ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻫﻭ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ ١٥‬ﺒﺎﻭﻨـﺩ‬
‫ﻟﻜل ﺍﻨﺞ ﻤﺭﺒﻊ ﻋﻨﺩ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﺒﺤﺭ‪ .‬ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 3.2‬ﻴﻭﻀﺢ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﺠﺎﻑ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.2‬ﻴﺒﻴﻥ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﺠﺎﻑ‬

‫ﺨﻭﺍﺹ ﺍﻻﻨﻅﻤﺔ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪:(Properties of systems under vacuum‬‬
‫ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﻜﻤﻴﺔ ﻤﻌﻴﻨﺔ ﻤﻥ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﺠﻭ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺨﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻀﻭﺡ ﻓﺎﻨﻨﺎ ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﺍﻥ ﻨﻭﻟﺩ ﺒﻴﺌﺔ ﺘﺨﺘﻠﻑ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﺍﺤﻲ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‪،‬‬
‫ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻭﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻓﻤﺎ ﻫﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ؟ ﻫﺫﺍ ﻤﺎﺴﻭﻑ ﻨﺴﺘﻌﺭﻀﻪ ﻫﻨﺎ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻜﻴﺔ )‪ :(Mechanical effects‬ﺍﺫﺍ ﻭﻀﻌﺕ ﻗﻨﻴﻨﺔ ﺒﻼﺴﺘﻴﻜﻴﺔ ﺤﺠﻤﻬﺎ ‪ ٢‬ﻟﺘﺭ ﻤﻤﻠﻭﺌﺔ ﺍﻟﻰ ﻨﺼﻔﻬﺎ ﺒﺴﺎﺌل ﻓﻲ ﺜﻼﺠﺔ‪ ،‬ﻨﻼﺤﻅ ﺒﻌـﺩ‬
‫ﻓﺘﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺍﻥ ﺠﻭﺍﻨﺏ ﺍﻟﻌﺒﻭﺓ ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻴﻜﻴﺔ ﺘﻁﻌﺠﺕ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﺩﺍﺨل‪ .‬ﺍﻟﺫﻱ ﺤﺼل ﻫﻨﺎ ﻫﻭ ﺍﻨﻙ ﺨﻠﻘﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﺠﻌﻠﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﻟﻠﻌﺒﻭﺓ ﺍﻗـل‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺨﺎﺭﺠﻲ‪ .‬ﻟﻘﺩ ﻜﺎﻥ ﺍﻟﻤﻬﻨﺩﺴﻴﻥ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﻥ ﻋﻠﻰ ﺩﺭﺍﻴﺔ ﺒﻬﺫﺍ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﻭﻟﺫﻟﻙ ﻓﻘﺩ ﺼﻤﻤﻭﺍ ﺍﻟﻌﺒﻭﺍﺕ ﻟﺘﺘﺤﻤـل ﻀـﻐﻁ ﺨـﺎﺭﺠﻲ ﻤﻘـﺩﺍﺭﻩ‬
‫‪) 14.7 Ib/in2‬ﻋﻨﺩ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﺒﺤﺭ( ﻋﻨﺩ ﻏﻴﺎﺏ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﺍﻟﻤﻌﻭﺽ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ )‪ :(Chemical effects‬ﻴﺴﺒﺏ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﻘﻠﻴل ﻋﺩﺩ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺘﺩﺍﺨل ﻤﻊ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺩﺍﺨـل‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺴﺒﺏ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺤﺒﺒﺔ ﻟﻠﻤﺎﺀ )‪ (hydroscopic‬ﺃﻱ ﺍﻟﺘﻲ ﻟﻬﺎ ﺍﻟﻘﺎﺒﻠﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻤﺘﺼﺎﺹ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﻭ ﻴﺘﻡ ﺤﻔﻅﻬـﺎ ﻓـﻲ‬
‫ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻴﻀﺎ" ﺤﻔﻅ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﺎﻜﺴﺩ ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻭ ﺒﻭﺠﻭﺩ ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺨﺎﻤﻠﺔ ﻤﺜل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﺒﻌﺩ ﺍﺯﺍﻟـﺔ ﺍﻟﻐـﺎﺯ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ )‪ :(Physical effects‬ﺘﺘﺎﺜﺭ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﺒﻘﻭﺓ ﺒﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ .‬ﺍﻻﻤﺜﻠﺔ ﻋﻠـﻰ ﻫـﺫﻩ ﺍﻟﺨـﻭﺍﺹ‬
‫ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‪ ،‬ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ ،‬ﺍﻨﺘﺸﺎﺭ ﺍﻟﺼﻭﺕ‪ ،‬ﺍﻻﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﺒﺼﺭﻱ ﻭﺍﻻﻤﺘﺼﺎﺹ ﺍﻟﺒﺼﺭﻱ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺫﻟﻙ ﻓﺎﻥ ﺘـﺎﺜﻴﺭ ﺍﻨﺨﻔـﺎﺽ‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﻜﻤﺎ ﺍﻥ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻤﻭﺠﻭﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﻭﺍﻟﺴﺎﺌﻠﺔ ﺍﻴﻀﺎ"‪ .‬ﺴﻭﺍﺌل ﻤﺜل ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ ﺘـﺼل‬
‫‪١٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﻐﻠﻴﺎﻥ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﻔﺭﻏﺔ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻟﺤﺎﺠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪ .‬ﻴﺤﺼل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺤﺎﻟﻤﺎ ﻴﺯﻴﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ ﻟﻠﻤﺎﺀ ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻁ‬
‫ﻤﺤﻴﻁ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻭﺒﺸﻜل ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻓﺎﻥ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻐﺎﺩﺭ ﺒﺸﻜل ﺘﻠﻘﺎﺌﻲ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺘﺒﺨـﺭ ﺍﻟﻤـﺎﺩﺓ‬
‫ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﻭﻟﻠﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ‪.‬‬
‫ﻗﻭﺍﻨﻴﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ )‪:(Gas laws‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻭ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺘﺘﺤﺭﻙ ﺒﺸﻜل ﻋﺸﻭﺍﺌﻲ ﻭﻤﺴﺘﻘل ﻭﺘﺘﺴﻊ ﺒﺸﻜل ﺘﻠﻘﺎﺌﻲ ﻟﺘﻤﻠﺊ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻴﻬﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﺴﻠﻭﻙ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ‬
‫ﺍﻭ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻓﻲ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﺼﻑ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻌﺭﻑ ﺍﺤﺩﻨﺎ ﺜﻼﺜﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﻤﻴﺎﺕ ﺍﻻﺭﺒﻌﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ :(Pressure‬ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ )ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﺸﺎﺌﻌﺔ ﻫﻲ ﺍﻟﺠﻭ‪ atm :‬ﻭﺍﻟﺘﻭﺭ‪( Torr :‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﺤﺠﻡ )‪ :(Volume‬ﺍﻟﺴﻌﺔ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺔ )ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻫﻲ ‪(liter‬‬
‫‪ -٣‬ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ )‪ :(Temperature‬ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻁﺎﻗﺘﻬﺎ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﺘﺘﺫﺒﺫﺏ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺒﺸﻜل ﻗﻭﻱ‪ .‬ﺍﻥ ﺩﺭﺠـﺔ‬
‫ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﺤﺩﺩ ﺒﻤﺼﻁﻠﺢ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻁﻠﻘﺔ )‪ (Absolute temperature‬ﻭﻫﻲ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ )ﺍﻟﻜﻠﻔﻥ‪.(K :‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﻟﻜﻤﻴﺔ )‪ :(amount‬ﻋﺩﺩ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﺤﺠﻡ )ﺘﻭﺼﻑ ﺒﻤﺼﻁﻠﺢ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﻭﻻﺕ(‪ ،‬ﺍﺫ ﺍﻥ ﻤﻭل ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻴﺤﻭﻱ ‪6.02 × 1023‬‬
‫ﺠﺯﻴﺌﺔ‪.‬‬
‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺒﻭﻴل )‪:(Boyle's law‬‬
‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺒﻭﻴل‪ :‬ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﺜﺒﻭﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻓﺎﻥ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺒﻭﻴل ﻴﻌﻁﻲ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﻭﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﻜﻤﻴﺔ ﺜﺎﺒﺘﻪ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬

‫ﻟﻐﺭﺽ ﺘﻭﻀﻴﺢ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺒﻭﻴل ﻨﺠﺭﻱ ﺍﻟﺘﺠﺭﺒﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﺘﺼﻭﺭ ﺍﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﻨﻅﺎﻡ ﻴﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺘﺎﻥ ﻻﺘﻨﻀﺢ ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﺒﻴﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪.3.1‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.1‬‬
‫ﻨﻔﺭﺽ ﺍﻥ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺜﺎﺒﺘﻪ ﻓﻲ ﻜل ﻤﻜﺎﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﻭﺍﻨﻨﺎ ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﻗﺭﺍﺀﺓ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺒﺸﻜل ﺩﻗﻴﻕ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺘﺎﻥ‪ .‬ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﺘﻁﺒﻴـﻕ ﻗـﺎﻨﻭﻥ ﺒﻭﻴـل‬
‫ﻟﺤﺴﺎﺏ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ‪ ١‬ﺍﻭ ‪.٢‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪ :‬ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻥ ﺤﺠﻡ ﺤﺎﻭﻴﺔ ‪ ١‬ﻫﻭ ‪ 120 liter‬ﻭﺍﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻴﻬﺎ ‪ 760 Torr‬ﻭﺍﻨﻪ ﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺤﺎﻭﻴﺔ ‪ ٢‬ﺍﻟﻰ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ .10 mTorr‬ﺍﺫﺍ ﺘـﻡ ﻓـﺘﺢ‬
‫ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺘﻴﻥ ﻭﺍﻟﺴﻤﺎﺡ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﺒﺎﻟﻤﺭﻭﺭ ﻟﻔﺘﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﻟﻴﺼل ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻥ‪ ،‬ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﺒﻌﺩﻫﺎ ﻗﺭﺍﺀﺓ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﻜل ﻤـﻥ ‪TC1‬‬
‫ﻭ ‪ TC2‬ﻟﻴﻌﻁﻲ ‪ .500Torr‬ﻓﻤﺎ ﻫﻭ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ‪.٢‬‬
‫‪P1= 760 Torr‬‬
‫‪V1= 120 liter‬‬

‫)‪(760 Torr) × (120 liter) = (500 Torr) × (V2 + 120 liter‬‬

‫‪V2 = 62 liter‬‬

‫‪١٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺠﺎﺭﻟﺱ )‪:(Charle's law‬‬
‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺠﺎﺭﻟﺱ‪ :‬ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﺜﺒﻭﺕ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﻭﺜﺒﻭﺕ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﺎﻥ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺠﺎﺭﻟﺱ ﻴﺼﻑ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬

‫ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺭﻓﻊ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻐﻠﻘﺔ ﻏﻴﺭ ﻗﺎﺒﻠﺔ ﻟﻠﻨﻀﻭﺡ ﺘﺤﻭﻱ ﻏﺎﺯ ﺒﻀﻐﻁ ﺍﻭﻟﻲ ‪ P1‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺴﻴﺭﺘﻔﻊ ﺍﻟﻰ ‪ P2‬ﺤﺴﺏ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺠﺎﺭﻟﺱ‪.‬‬

‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻲ )‪:(The ideal gas law‬‬

‫ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻲ‪ :‬ﻴﻌﻁﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻘﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ ،‬ﺍﻟﺤﺠﻡ ‪ ،‬ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻟﺤﺴﻥ ﺍﻟﺤﻅ ﻓﺎﻥ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﺴﻠﻙ ﺴﻠﻭﻙ ﻤﺜﺎﻟﻲ ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ‪:‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪(atm‬‬
‫‪ =V‬ﺍﻟﺤﺠﻡ )‪(liter‬‬
‫‪ =n‬ﻋﺩﺩ ﻤﻭﻻﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪(mole‬‬
‫‪ =R‬ﺜﺎﺒﺕ ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻲ = ‪0.08206 liter atm/K mole‬‬
‫‪ =T‬ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻁﻠﻘﺔ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻜﻠﻔﻥ )‪(K‬‬
‫ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 3.3‬ﺤﻴﺙ ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﻭﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﻭﺍﻟﻜﻤﻴﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫‪٢٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 3.3‬ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ‪ ،‬ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﻭﺍﻟﻜﻤﻴﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫ﺍﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﺤﺭﻜﻲ ﻟﺴﻠﻭﻙ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ )‪:(Kinetic description of the behavior of gases‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﺘﻌﺎﻤل ﻤﻊ ﻭﺼﻑ ﻜﻴﻑ ﺘﺴﻠﻙ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﺤﺕ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻗﻭﺓ ﺨﺎﺭﺠﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺒﺏ ﺍﻟﺤﺭﻜـﺔ‪ .‬ﻫﻨـﺎﻙ ﺍﺭﺒﻌـﺔ ﺍﻓﺘﺭﺍﻀـﺎﺕ‬
‫ﺍﺴﺎﺴﻴﺔ ﻴﺠﺏ ﺘﻭﻓﻴﺭﻫﺎ ﻟﺒﺭﻭﺯ ﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺘﺘﻜﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﻋﺩﺩ ﻜﺒﻴﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﺩﻗﺎﺌﻕ ﺍﻟﺼﻐﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" )ﺫﺭﺍﺕ ﻭﺠﺯﻴﺌﺎﺕ(‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺤﺭﻜﺔ ﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﺴﺭﻴﻌﺔ ﻭﺜﺎﺒﺘﻪ ﻭﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻋﺸﻭﺍﺌﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﺒﻴﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻨﻔﺭﺩﺓ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﻗﻁﺭ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻻﺘﺴﺒﺏ ﺒﻘﻭﺓ ﻤﻊ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﺍﻭ ﻋﻠﻰ ﺠﺩﺭﺍﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﺎﻋﺩﻯ ﺨﻼل ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ‪.‬‬
‫ﺴﺭﻋﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪:(Velocity of gas molecules‬‬
‫ﺴﺭﻋﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ :‬ﻫﻲ ﺍﻟﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﺤﺭﻙ ﺒﻬﺎ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻻﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﻟﻜﻨﻬﺎ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟـﻭﺯﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌـﻲ‬
‫ﻟﻠﻐﺎﺯ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ = ΰ‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴﺔ )‪.(cm/sec‬‬
‫‪ =T‬ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻁﻠﻘﺔ )‪.(K‬‬
‫‪ =Wm‬ﺍﻟﻭﺯﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ ﻟﻠﻐﺎﺯ )‪.(gm/mol‬‬
‫ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ )‪:(Mean free path‬‬
‫ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ‪ :‬ﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻘﻁﻌﻬﺎ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ ﺍﻟﻜﻠﻲ ﻭﺍﻟﻘﻁﺭ ﻟﺠﺯﻴﺌﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ )ﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﻁﻌﻬﺎ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌـﺔ ﻗﺒـل ﺍﻥ ﺘـﺼﻁﺩﻡ‬
‫ﺒﺠﺯﻴﺌﺔ ﺍﺨﺭﻯ(‪.‬‬

‫‪٢١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =L‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ )‪.(cm‬‬
‫‪ =N‬ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﺩﺩ ﻟﻠﺩﻗﺎﺌﻕ )‪.(cm-3‬‬
‫‪ =d‬ﻗﻁﺭ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺔ )‪.(cm‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪.(Torr‬‬
‫ﻻﻏﻠﺏ ﺍﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻨﻅﻴﻔﺔ ﻴﺘﻡ ﺍﻓﺘﺭﺍﺽ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ )ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ( ﻭﻋﻨﺩ ﺫﻟﻙ ﻭﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻓﺘﺭﺍﺽ ﺍﻟﻘﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﺘـﺎﻟﻲ ﻟﻐـﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =L‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ )‪.(cm‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪.(Torr‬‬
‫ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﻟﻠﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯﻴﺔ )‪:(Collisions of gaseous species‬‬
‫ﺍﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﻨﺘﻘل ﺒﺎﺘﺠﺎﻫﺎﺕ ﺨﻁﻭﻁ ﻤﺴﺘﻘﻴﻤﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﻭﺘﺘﺠﻪ ﻨﺤﻭ ﻀﺭﺏ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺭﻀﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟـﻀﻐﻭﻁ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﻗﻴﺎﺴﻬﺎ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻨﺎﺘﺠﺔ ﻤﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺤﺴﺎﺏ ﺘﺠﻤﻊ ﺍﻟﻀﺭﺒﺎﺕ ﺍﻭ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻋﻠﻰ ﺍﻟـﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴـﺔ‬
‫ﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺘﺼﺎﺩﻡ )‪ (impact‬ﺍﻭ ﺍﺭﺘﻁﺎﻡ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪ (impingement rate‬ﻟﻜل ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻟﻜل ﻭﺤﺩﺓ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺒﺎﻟـﺴﻨﺘﻤﻴﺘﺭ ﻫـﻲ ﺩﺍﻟـﺔ ﻟـﺴﺭﻋﺔ‬
‫ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻭﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =N‬ﺍﻟﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ) ‪.(cm‬‬
‫‪-3‬‬

‫‪ =ν‬ﺍﻟﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴﺔ )‪.(cm/sec‬‬

‫‪ =I‬ﻤﻌﺩل ﺍﻻﺭﺘﻁﺎﻡ )‪.(cm-2sec-1‬‬
‫ﺍﻟﻘﻴﻡ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﻗﻴﺎﺴﻬﺎ ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﻋﺎﺩﺓ" ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺨﺘﺒﺭ ﻫﻲ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻟﺫﻟﻙ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻨﻔﺱ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻻﺕ ﺍﻋﻼﻩ ﺒﺩﻻﻟـﺔ ﻤـﺼﻁﻠﺢ ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ‪:‬‬

‫ﺤﺭﻜﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪:(Motion of gas molecules‬‬

‫ﺤﺭﻜﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ :‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﺘﺼﺎﺩﻡ ﺒﻴﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﺍﻟﻤﻌﺭﺽ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺘﺘـﺸﺘﺕ )‪ ،(diffusely‬ﻭﻟﻜـﻥ‬
‫ﻟﻴﺱ ﻫﻨﺎﻙ ﻋﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺯﺍﻭﻴﺔ ﺍﻟﻘﺎﺩﻤﺔ ﻭﺍﻟﺯﺍﻭﻴﺔ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﺒﻌﺩ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ‪.‬‬
‫ﻟﻘﺩ ﺘﻡ ﺩﺭﺍﺴﺔ ﺯﺍﻭﻴﺔ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﻤﺴﺘﻭﻱ ﻭﻭﺠﺩ ﺍﻨﻬﺎ ﺘﺘﺒﻊ ﺍﻟﺘﻭﺯﻴﻊ ﺍﻟﺠﻴﺏ ﺘﻤﺎﻤﻲ )‪ (cosine‬ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻭﺍﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪.3.4‬‬

‫‪٢٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.4‬ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﺍﻟﻤﺘﺭﺍﻜﻤﺔ ﻟﺯﺍﻭﻴﺔ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﺴﺎﻗﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺴﻁﺢ ﻨﺎﻋﻡ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ" ‪ 50%‬ﻤﻥ ﺍﻟﺩﻗﺎﺌﻕ ﺘﻐﺎﺩﺭ ﺒﺯﺍﻭﻴﺔ ‪ 30o‬ﺍﻭ ﺍﻗل‪.‬‬
‫ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺨﻼل ﻓﺘﺤﺔ ﻀﻴﻘﺔ )‪:(Flow of gas through an orifice‬‬
‫ﺘﺼﻭﺭ ﺍﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﻨﻀﻭﺡ ﺤﺭ ﻤﻥ ﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﻴﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺘﻴﻥ ﻤﺘﺼﻠﺘﻴﻥ ﺒﺼﻤﺎﻡ‪ ،‬ﺍﺤﺩﻯ ﺍﻟﺤـﺎﻭﻴﺘﻴﻥ ﺘﺤـﻭﻱ ﻏـﺎﺯ ﺍﻟﻨﺘـﺭﻭﺠﻴﻥ ﻋﻨـﺩ ﻀـﻐﻁ‬
‫‪ ،5×10-5Torr‬ﻭﺤﺎﻭﻴﺔ ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﻭﺍﻁﺊ ﺠﺩﺍ" )‪ ،(5×10-10Torr‬ﻭﻜﺎﻨﺕ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺘﺎﻥ ﺘﺤﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪ .‬ﻓﺎﺫﺍ ﺘﻡ ﻓﺘﺢ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻓﺠـﺄﺓ‬
‫ﻓﻤﺎﺫﺍ ﺴﻴﺤﺼل ﺨﻼل ﺯﻤﻥ ﺘﻭﺯﻴﻊ ﺍﻟﻀﻐﻁ؟ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﺼل ﺍﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺭﺘﻁﻡ ﺒﺸﻜل ﻋﺸﻭﺍﺌﻲ ﻭﺍﻟﻨﺎﺘﺠﺔ ﻤﻥ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟـﺼﻤﺎﻡ ﺒـﻴﻥ ﺍﻟﺤـﺎﻭﻴﺘﻴﻥ‬
‫ﺘﻐﺎﺩﺭ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﻭﺘﺘﺤﺭﻙ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻭﺍﻁﺊ‪ .‬ﺍﻭ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﻘﻭل ﺍﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻌـﺎﻟﻲ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﻻﺘﺭﺘﻁﻡ ﻋﻨﺩ ﻓﺘﺢ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺘﻴﻥ ﻻﺘﺴﺘﻁﻴﻊ ﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻴﻬﺎ‪.‬‬
‫ﻤﺎﺫﺍ ﻴﺘﻡ ﺍﻻﻓﺘﺭﺍﺽ ﻫﻨﺎ؟ ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺔ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ ﻟﻠﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻟﻜل ﻭﺤﺩﺓ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﺫﻥ ﻓﺎﻥ ﻋﺩﺩ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭﺓ ﺘﺤﺴﺏ ﻤﻥ‪:‬‬

‫ﻴﻤﻜﻥ ﺤﺴﺎﺏ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻗﺴﻤﺔ ﻋﺩﺩ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻐﺎﺩﺭ ﻋﻠﻰ ﻋﺩﺩ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺤﺠﻡ )‪ .(N‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤـﻲ‬
‫ﻟﻠﻐﺎﺯ ﺨﻼل ﻓﺘﺤﺔ ﻻﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﻟﻜﻥ ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪ (ν‬ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟﻭﺯﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ‪.‬‬
‫ﻟﻠﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﻗﻁﺭ ﺍﻟﻔﺘﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻋﻠﻰ ﺠﺩﺭﺍﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺤﺴﺎﺏ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤـﻲ‬
‫)‪ (S‬ﻤﻥ‪:‬‬

‫)‪S = 3.6 × 103 √(T/Wm‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =S‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ )‪.(liter/sec‬‬
‫‪ =T‬ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻁﻠﻘﺔ )‪.(K‬‬
‫‪ =Wm‬ﺍﻟﻭﺯﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ )‪.(gm/mol‬‬
‫ﺍﻨﻤﺎﻁ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ)‪:(Modes of gas flow under various vacuum conditions‬‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﺜﻼﺙ ﺍﻨﻤﺎﻁ ﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻴﺘﻡ ﺍﻻﻫﺘﻤﺎﻡ ﺒﻬﺎ ﻓﻲ ﻤﻭﻀﻭﻋﻨﺎ ﻫﻨﺎ ﻭﻫﻲ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺩﻭﺍﻤﻲ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﻀﻁﺭﺏ )‪.(turbulent or viscous‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﻨﺘﻘﺎﻟﻲ )‪.(laminar or Transition‬‬
‫‪٢٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫‪ -٣‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ )‪.(molecular‬‬
‫ﺘﺨﻠﻕ ﺍﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺤﺙ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻤﺭﻭﺭ ﺨﻼل ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺍﺴﻁﻭﺍﻨﻲ ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻘﻁﺭ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﻭﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =D‬ﺍﻟﻘﻁﺭ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ )‪.(inches‬‬
‫= ﻤﺘﻭﺴﻁ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪(Torr‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﺒﺩﺍﻴﺔ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺍﻟﺒﺩﺀ ﺒﺎﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻴﻜﻭﻥ ﻨﻭﻉ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﻀﻁﺭﺏ ﻭﻴﺘﻤﻴﺯ ﺒﺩﻭﺍﻤﺎﺕ )‪ (eddies‬ﻭﺘﻴـﺎﺭﺍﺕ ﺘـﺸﺎﺒﻪ ﺍﻟﺜـﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟـﺴﺭﻴﻊ‬
‫)‪.(raging rapid‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.5‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﻁﺭﺏ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺨﻼل ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻍ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.6‬ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﻨﺘﻘﺎﻟﻲ‪ .‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺭ ﻤﺴﺎﻭﻴﺎ" ﺍﻟﻰ ﻗﻁﺭ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.7‬ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ‪ .‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ‪ 1.5‬ﻤﺭﺓ ﻤﻥ ﻗﻁﺭ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‪.‬‬
‫ﻤﻌﺩﻻﺕ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪:(Gas flow rates‬‬
‫ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ )‪ :(Volumetric Flow‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ )‪ (S‬ﻫﻭ ﻜﻤﻴﺔ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺎﺭ ﻤﻥ ﻨﻘﻁﺔ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟـﺯﻤﻥ‪ .‬ﻤﺜـﺎل ﺍﻟﻭﺤـﺩﺍﺕ ﻫـﻲ‬
‫‪ liter/sec‬ﺍﻭ ‪ .ft3/min‬ﻴﻤﻜﻥ ﻭﺼﻑ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ ﻋﻨﺩ ﻨﻘﻁﺔ ﻤﻌﻴﻨﺔ ﻓﻲ ﻁﺭﻴﻕ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل‪.‬‬

‫‪٢٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﻤﻲ )‪ :(Quantitative flow‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﻤﻲ )‪ (Q‬ﻫﻲ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺎﺭ ﺨﻼل ﻨﻘﻁﺔ ﻤﻌﻴﻨﺔ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺯﻤﻥ‪ .‬ﻤﺜـﺎل ﺍﻟﻭﺤـﺩﺍﺕ‬
‫ﻫﻲ ‪.Torr liter/sec‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﺍﻴﻀﺎ" ﺒﻤﻔﻬﻭﻡ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ )‪ (throughput‬ﻭﻫﻭ ﺜﺎﺒﺕ ﻓﻲ ﻜل ﻤﻜﺎﻥ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻤـﺎﻟﻡ ﻴﻜـﻭﻥ‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﻨﻀﻭﺡ ﻓﻲ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻭ ﻴﺘﻡ ﻗﻨﺼﻪ ﻭﺘﻜﺜﻴﻔﻪ ﺨﻼل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =Q‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﻤﻲ )‪.(Torr liter/sec‬‬
‫‪ =S‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ )‪.(liter/sec‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪.(Torr‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.8‬ﻴﻭﻀﺢ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺨﻼل ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺒﺩﺀ" ﻤﻥ ﺍﻟﺩﺨﻭل ﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪ (vacuum vessel‬ﻭﺤﺘﻰ ﺍﻟﺨﺭﻭﺝ ﻋﻨﺩ ﻋـﺎﺩﻡ ﻤـﻀﺨﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻻﻭﻟﻴﺔ )‪ .(roughing pump‬ﻨﺠﺩ ﻋﻨﺩ ﻜل ﻤﻭﻗﻊ ﻓﻲ ﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﻤﻲ ﻫﻲ ﻨﻔﺴﻬﺎ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.8‬‬
‫ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪:(Conductance in a vacuum system‬‬
‫ﺍﻥ ﻤﺭﻭﺭ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺨﻼل ﻋﻨﺼﺭ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل )ﺍﻨﺒﻭﺏ‪ ،‬ﺤﺎﻭﻴﺔ‪ ،‬ﻓﺘﺤﺎﺕ ﺘﻨﻔﻴﺱ( ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﺴﻭﻑ ﻴﺠﺎﺒﻪ ﺒﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﺤﺭﻜﺘﻪ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻭﻁ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪ ،‬ﻫﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﻘﺎﺭﻤﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻔﺭﻕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﻬﻨﺩﺴﻲ ﻟﻌﻨﺼﺭ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =Z‬ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ )‪.(sec/liter‬‬
‫‪ =P‬ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪.(Torr‬‬
‫‪ =Q‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ )‪.(Torr liter/sec‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻫﻨﺎ ﻓﻬﻭ ﻤﻘﻠﻭﺏ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬

‫‪٢٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =C‬ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )‪.(liter/sec‬‬
‫ﺤﺘﻰ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻭﺠﻭﺩ ﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﺒﺴﻴﻁ ﻓﺎﻨﻪ ﻴﺤﻭﻱ ﻋﻠﻰ ﻋﺩﺓ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻤﻭﺼﻠﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﻟﻲ ﻭﺍﻟﺒﻌﺽ ﻤﻭﺠﻭﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻱ‪ .‬ﺩﻋﻨﺎ ﻨﻔﺤﺹ ﻜﻴﻑ ﻴﺘﻡ‬
‫ﺤﺴﺎﺏ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻭﺠﻭﺩ ﻋﺩﺓ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪.‬‬
‫ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﻟﻲ‬
‫)‪(Conductance elements connected in series‬‬
‫ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.9‬ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻓﻴﻬﺎ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﺘﻭﺼﻴل ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﻟﻲ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.9‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺤﺴﺎﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =CT‬ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺍﻟﻜﻠﻴﺔ ﻟﻠﻌﻨﺎﺼﺭ ‪...،C2 ،C1‬ﺍﻟﺦ‪ .‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﻟﻲ‪.‬‬
‫ﻋﻨﺎﺼﺭ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻱ‬
‫)‪(Conductance elements connected in parallel‬‬
‫ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.10‬ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻓﻴﻬﺎ ﻋﻨﺎﺼﺭ ﺘﻭﺼﻴل ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻱ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.10‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺤﺴﺎﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬

‫‪٢٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =CT‬ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺍﻟﻜﻠﻴﺔ ﻟﻠﻌﻨﺎﺼﺭ ‪...،C2 ،C1‬ﺍﻟﺦ‪ .‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻱ‪.‬‬
‫ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )‪:(Calculations of conductance‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺘﻘﺩﻴﻡ ﻋﺩﺓ ﻨﻤﺎﺫﺝ ﻤﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺎﻀﻴﺔ ﻟﺤﺴﺎﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪.‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﻁﺭﺏ )‪:(Viscous flow‬‬
‫ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺎﻟﺔ ﻤﺴﺎﻭﻴﺎ" ﻟﻘﻴﻤﺔ ﻗﻁﺭ ﻋﻨﺼﺭ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫= ﻤﺘﻭﺴﻁ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪.(P1+P2/2‬‬
‫‪ = D‬ﻗﻁﺭ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ )‪.(inches‬‬
‫‪ = L‬ﻁﻭل ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ )‪.(inches‬‬
‫ﺘﻌﻁﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﺔ ﻓﻲ ﺘﻠﻙ ﺍﻟﺤﺎﻟﺔ ﻤﻥ‪:‬‬

‫ﻤﻼﺤﻅﺔ‪ :‬ﻋﻨﺎﺼﺭ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )ﺍﻟﻁﻭل ﻭﺍﻟﻘﻁﺭ( ﻫﻨﺎ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻻﻨﺞ )‪.(inches‬‬

‫‪ -٢‬ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ )‪:(Molecular flow‬‬
‫ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﻫﻨﺎ ﺍﻜﺒﺭ ﺒﻜﺜﻴﺭ ﻤﻥ ﻗﻁﺭ ﻋﻨﺼﺭ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل‪.‬‬
‫ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ )‪ (Qm‬ﻭﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )‪ (Cm‬ﺘﻌﻁﻰ ﻤﻥ‪:‬‬

‫ﻟﻨﺤﺎﻭل ﺍﻻﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﻟﺤﺴﺎﺏ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻀﺦ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﺒﺴﻴﻁ )ﺍﻟﺸﻜل ‪:(3.11‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.11‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﺃﻱ ﻤﻭﻗﻊ ﻓﻲ ﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻓﺎﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ ﺍﻭ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻴﻤﻜﻥ ﺤﺴﺎﺒﻪ ﺍﺫﺍ ﻋﺭﻓﻨﺎ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻋﻨﺩ ﺘﻠﻙ ﺍﻟﻨﻘﻁﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻋﻨﺩ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻠﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺭﺒﻭﻁ ﻟﻬﺎﺘﻴﻥ ﺍﻟﻨﻘﻁﺘﻴﻥ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ‪ ،P 1= Q/St‬ﻭﺒﺸﻜل ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻋﻨﺩ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻨﺠـﺩ‬
‫ﺍﻥ ‪ .P 2= Q/SP‬ﺴﻭﻑ ﻨﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ )‪ ،(Q‬ﺍﻨﺨﻔﺎﺽ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ (P 1-P 2‬ﻭ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )‪:(C‬‬

‫‪٢٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻨﻌﻭﺽ ﻗﻴﻤﺔ ‪ Q/St‬ﻓﻲ ‪ P 1‬ﻭﻗﻴﻤﺔ ‪ Q/Sp‬ﻓﻲ ‪ P 2‬ﻟﻨﺤﺼل ﻋﻠﻰ‪:‬‬

‫ﻴﺘﻡ ﻗﺴﻤﺕ ﻜﻼ ﺠﺎﻨﺒﻲ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺒﻘﻴﻤﺔ ‪ Q C‬ﻟﻠﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ‪:‬‬

‫ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟﺘﻨﻔﻴﺱ‪:‬‬

‫ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻘﺘﺤﺔ ﺘﺼﺒﺢ ﻤﻬﻤﺔ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻋﻠﻰ ﻨﻅﺎﻡ ﻓﺭﺍﻍ ﻟﻠﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﻴﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻘﻁﺭ ﻻﻨﺒﻭﺏ ﺒﻤﻌﺩل ﺭﺘﺒﺘﺎﻥ ﺍﻭ ﺍﻜﺜﺭ )ﺍﻨﻅـﺭ‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪.(3.11‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪3.11‬‬
‫ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﻟﻤﻀﺒﻭﻁﺔ ﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻔﺘﺤﺔ )‪ (aperture‬ﺘﻜﻭﻥ ﻤﻌﻘﺩﺓ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺩﻭﺍﻤﻲ ﻓﺎﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻋﻼﻗﺔ ﺘﻘﺭﻴﺒﻴﺔ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻘﺒﻭﻟﺔ‪:‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =A‬ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﻟﻠﻔﺘﺤﺔ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﻴﺔ ﺍﻭ ﺸﺒﻪ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ =Cv‬ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪ liter/sec‬ﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺩﻭﺍﻤﻲ‪.‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ ﻤﻘﺒﻭﻟﺔ ﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =A‬ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﻟﻠﻔﺘﺤﺔ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﻴﺔ ﺍﻭ ﺸﺒﻪ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ =Cm‬ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪ liter/sec‬ﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ‪.‬‬
‫ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺯﻤﻥ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪:‬‬
‫ﻗﺒل ﺸﺭﺍﺀ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻭ ﺒﻨﺎﺀ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﻴﺘﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻋﺎﺩﺓ" ﻻﻋﻁﺎﺀ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﺘﺤﺩﺩ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻨﻅﺎﻡ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﻤﻌﻴﻥ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﻘﺴﻴﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺍﻟﻰ ﺨﻤﺴﺔ ﻤﺭﺍﺤل ﺍﻭ ﺍﻜﺜﺭ ﻭﻓﻲ ﻜل ﻤﺭﺤﻠﺔ ﻴﺘﻡ ﺤﺴﺎﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻼﻨﺒـﻭﺏ ﺒـﻴﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ‬
‫ﻭﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪.‬‬
‫ﺘﺠﺭﻯ ﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﺠﻬﺯﺓ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﺍﺨﻴﺭﺍ" ﻴﺘﻡ ﺒﺭﻤﺠﺔ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻼﺯﻡ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ﺤﺩﻭﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻌﻠﻴﺎ ﻟﻠﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﺩﻭﺩ ﺍﻟـﻀﻐﻁ‬
‫ﺍﻟﺩﻨﻴﺎ ﻟﻠﻤﺭﺤﻠﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺍﻟﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻋﻠﻰ ﻗﻁﻊ ﻤﻨﻔﺼﻠﺔ ﻻﻨﻪ ﻜل ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ )ﻓﻲ ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻻﻀﻁﺭﺍﺏ( ﻭﺴﺭﻉ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴـﻎ ﺘﺘﻐﻴـﺭ ﻤـﻊ ﻨﻘـﺼﺎﻥ‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﺍﻻﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ )‪ (3.12, 3.13‬ﺴﻭﻑ ﺘﻭﻀﺢ ﺍﻟﺴﻠﻭﻙ ﺍﻟﻌﺎﻡ ﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﻭﺴﺭﻋﺔ ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ =t‬ﺯﻤﻥ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ﻀﻐﻁ ‪ P 1‬ﺍﻟﻰ ‪ P 2‬ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ )‪.(sec‬‬
‫‪ =V‬ﺤﺠﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ )‪.(liter‬‬
‫‪ =St‬ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﺠﻬﺯﺓ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ )‪.(liter.sec‬‬
‫‪٢٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻤﺎ ﻤﺭﺍﺤل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻤﺫﻜﻭﺭﺓ ﺍﻋﻼﻩ ﻓﻬﻲ‪:‬‬
‫ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ‪ :(Pressure Interval 1) ١‬ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ 760Torr‬ﺍﻟﻰ ‪.100Torr‬‬
‫‪ (١‬ﺍﺤﺴﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ (٢‬ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤﻨﺤﻨﻰ ﻜﻔﺎﺀﺓ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻟﺘﺤﺩﻴﺩ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺠﻤﻲ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﻟﻠﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻤﺤﺩﺩﺓ‪.‬‬
‫‪ (٣‬ﺍﺤﺴﺏ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﺠﻬﺯﺓ‪.‬‬
‫‪ (٤‬ﺍﺤﺴﺏ ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻼﺯﻡ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ P 1‬ﺍﻟﻰ ‪.P 2‬‬
‫ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ‪ :(Pressure Interval 2) ٢‬ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ 100Torr‬ﺍﻟﻰ ‪.10Torr‬‬
‫ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ‪ :(Pressure Interval 3) ٣‬ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ 10Torr‬ﺍﻟﻰ ‪.1Torr‬‬
‫ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ‪ :(Pressure Interval 4) ٤‬ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ 1Torr‬ﺍﻟﻰ ‪.0.1Torr‬‬
‫ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ‪ :(Pressure Interval 5) ٥‬ﺍﻟﺯﻤﻥ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻥ ‪ 0.1Torr‬ﺍﻟﻰ ‪.0.01Torr‬‬
‫ﻤﻼﺤﻅﺔ‪ :‬ﺘﺠﺭﻯ ﻨﻔﺱ ﺍﻟﺤﺴﺎﺒﺎﺕ ﻤﻥ ‪ ١‬ﺍﻟﻰ ‪ ٤‬ﻋﻠﻰ ﺒﺎﻗﻲ ﺍﻟﻤﺭﺍﺤل‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻭﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﻠﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﺠﺎﻑ ﺍﻟﻤﻔﺭﻍ ﺨﻼل ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻴﻤﻠﻙ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ ﺩﺍﺌﺭﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.12‬ﻴﻭﻀﺢ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻀﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺯﻴﺘﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻭﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺯﻴﺘﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 3.13‬ﻴﻭﻀﺢ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻀﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺯﻴﺘﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ‪.‬‬

‫‪٢٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﺴﺎﺌل ﻤﺤﻠﻭﻟﺔ ‪:Solved Problems‬‬

‫ﺱ‪ (١‬ﻋﺭﻑ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ؟‬

‫‪ -١‬ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻗﺎﺒﻠﺔ ﻟﻼﻨﻀﻐﺎﻁ )‪ :(noncondensable gases‬ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﻻﻴﻤﻜﻥ ﻀﻐﻁﻬﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺴﺎﺌﻠﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ‬
‫ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ )‪ :(Mean Free Path‬ﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﻁﻌﻬﺎ ﺠﺯﻴﺌﺔ ﻗﺒل ﺍﻥ ﺘﺼﻁﺩﻡ ﺒﺠﺯﻴﺌﺔ ﺜﺎﻨﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﻗﺎﻨﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻲ )‪ :(Real Gas Law‬ﻫﻲ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ ،‬ﺍﻟﺤﺠﻡ‪ ،‬ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻴﺔ ﻴﻌﻁﻰ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻘﺎﻨﻭﻥ‪PV=nRT :‬‬
‫‪ -٤‬ﻤﻌﺩل ﺍﻻﺭﺘﻁﺎﻡ )‪ :(impingement Rate‬ﻤﻌﺩل ﺍﻻﺭﺘﻁﺎﻡ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻟﻜل ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻟﻜل ﻭﺤﺩﺓ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺒﺎﻟـﺴﻨﺘﻤﻴﺘﺭ ﻫـﻲ ﺩﺍﻟـﺔ ﻟـﺴﺭﻋﺔ‬
‫ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻭﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪I= N ν/4 :‬‬
‫‪ -٥‬ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﺩﻭﺍﻤﻲ )‪ :(viscous region‬ﻫﻲ ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻲ ﻓﻴﻬﺎ ﻴﺤﺼل ﻋﺩﺓ ﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﻟﻠﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻤﻊ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﺨـﺭﻯ ﻋﻨـﺩ‬
‫ﻤﺭﻭﺭﻫﺎ ﺨﻼل ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ -٦‬ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺴﺎﻜﻥ )‪ :(static system‬ﻫﻭ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻐﻪ ﻭﻤﻥ ﺜﻡ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻏﻠﻘﻪ‪.‬‬
‫‪ -٧‬ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻙ )‪ :(dynamic system‬ﺍﻻﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭﺓ‪.‬‬

‫ﺱ‪ (٢‬ﺍﺸﺭﺡ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﺍﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﻋﻥ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﺒﺤﺭ ؟‬

‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬

‫‪٣٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺱ‪ (٣‬ﻏﺎﺯ ﻴﻤﻠﻙ ﺤﺠﻡ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 1500 cm3‬ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ 25 oC‬ﻭﻀﻐﻁ ‪ .10 mTorr‬ﻓﺎﺫﺍ ﺘﻡ ﺘﻐﻴﻴﺭ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻰ ‪ 2000 cm‬ﻭﺍﻟـﻀﻐﻁ ﺍﺼـﺒﺢ ‪5‬‬
‫‪3‬‬

‫‪ mTorr‬ﻓﻤﺎ ﻫﻲ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪T1= 25+273= 298 K‬‬
‫? =‪T2‬‬

‫‪P1= 10 mTorr, P2= 5 mTorr, V1= 1500 cm3, V2= 2000 cm3‬‬

‫‪P1 V1 / T1 = P2 V2 / T2‬‬

‫‪(10 x 1500)/298 = (5 x 2000) / T2‬‬

‫‪50.34 = 10000/T2‬‬

‫‪T2= 199 K‬‬

‫‪T2= -74 oC‬‬

‫‪ 1x10‬ﻭﻋﻨﺎﺼﺭ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل ﻫـﻲ‬‫‪-6‬‬
‫ﺱ‪ (٤‬ﻤﻀﺨﺔ ﺘﻤﻠﻙ ﺴﺭﻋﺔ ﻤﻘﺩﺍﺭﻫﺎ ‪ 100 liter/s‬ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﺒﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻭﺠﺩ ﺍﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻋﻨﺩ ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪Torr‬‬
‫ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻁﻭﻟﻪ ‪ 35in‬ﻭﻗﻁﺭﻫﺎ ‪ .1.5in‬ﺍﺤﺴﺏ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪3‬‬
‫‪C= 80 D /L‬‬
‫‪C= (80 x (1.5)3) / 35‬‬

‫‪C= 7.71 liter/s‬‬

‫‪Sn= pumping speed = C Sm / C + Sm‬‬

‫)‪Sn = (7.71 x 100)/ (7.71 + 100‬‬

‫‪771/107.71‬‬

‫‪Sn= 7.16 liter/s‬‬

‫ﺱ‪ (٥‬ﻏﺎﺯ ﻴﺸﻐل ﺤﺠﻤﺎ" ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 100 liter‬ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 10-5 mmHg‬ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ . 25 oC‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻰ‬
‫‪ 10-2mmHg‬ﻭﺯﻴﺎﺩﺓ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻰ ‪ .100oC‬ﺍﺤﺴﺏ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻨﻬﺎﺌﻲ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪T1= 25+273= 298 K‬‬
‫‪T2= 100 + 273= 373 K‬‬

‫?=‪P1= 10-5 mmHg, P2= 10-2 mmHg, V1= 100 liter, V2‬‬

‫‪P1 V1 / T1 = P2 V2 / T2‬‬

‫‪(10-5 x 100) / 298 = (10-2 x V2 )/ 373‬‬

‫‪3.36 x 10-6 = 2.68 x 10-5 V2‬‬

‫‪V2= 0.19 liter‬‬

‫‪٣١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺱ‪ (٦‬ﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺤﺠﻤﻬﺎ ‪ 200 Liter‬ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﻀـﻐﻁ ‪(١) .10 mTorr‬ﺍﺤـﺴﺏ ﻋـﺩﺩ ﺍﻟﻤـﻭﻻﺕ ﻟﻠﻐـﺎﺯ ﻓـﻲ‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ‪ (٢).‬ﺍﺤـﺴﺏ ﻋـﺩﺩ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌـﺎﺕ ﻓـﻲ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ‪) .‬ﺍﺫﺍ ﻋﻠﻤـﺕ ﺍﻥ ‪ R=0.08206 L atm/K mol‬ﻭﺍﻥ ﻗﻴﻤـﺔ ﺭﻗـﻡ ﺍﻓﻭﻜـﺎﺩﺭﻭ‬
‫=‪(6.02x1023molecules per mol‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬

‫‪P= 10 mTorr x 10-3 x 1/760= 1.32 x 10-5 atm‬‬

‫‪T= 25 + 273= 298 K‬‬
‫‪PV= nRT‬‬
‫‪-5‬‬
‫)‪(1.32 x 10 atm )(200 liter)= n (0.08206 liter atm/K mol) (298K‬‬
‫‪2.64 x 10-3 = 24.45 n‬‬
‫‪n= 1.08x 10-4 mol‬‬
‫‪number of molecules = 1.08 x 10-4 x 6.02 x 1023= 6.5 x 1019 molecules‬‬

‫ﺱ‪ (٧‬ﻫﻭﺍﺀ ﻤﻭﺠﻭﺩ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ‪ .1atm‬ﺍﻭﺠﺩ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ؟‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫)‪L (cm) = 5/ P(µHg‬‬

‫‪P= 1atm = 760 mmHg × 1000 µHg/1mmHg = 760 000 µHg‬‬

‫‪L = 5/760 000 = 6.6 × 10-6 cm = 2.6 × 10-6 in‬‬

‫ﺱ‪ (٨‬ﻏﺎﺯ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ‪ 10-4 Torr‬ﻴﺸﻐل ﺤﺠﻤﺎ" ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ .2000cm3‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻰ ‪ ،8000cm3‬ﻓﻤﺎ ﻫﻭ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ؟ ﺍﺫﺍ ﻓﺭﻀـﻨﺎ‬
‫ﺍﻥ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻻﺘﺘﻐﻴﺭ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪Pi Vi = Pf Vf‬‬
‫‪-4‬‬
‫‪10 × 2000 = Pf × 8000‬‬
‫‪Pf = 2.5 × 10-5 mmHg‬‬
‫ﺱ‪ (٩‬ﻤﺯﻴﺞ ﻤﻥ ﻏﺎﺯ ‪ N2‬ﻭ ‪ He‬ﻴﺸﻐل ﺤﺠﻡ ‪ 100 liter‬ﻭﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻜﻠﻲ ﻟﻠﻤﺯﻴﺞ ﻫﻭ ‪ .20mmHg‬ﺍﻓﺘﺭﺽ ﺍﻥ ﺍﻟﻀﻐﻭﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻴﺔ ﻟﻜـل ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ ﻫﻭ ‪ 15mmHg‬ﻭ ‪ 5mmHg‬ﺒﺎﻟﺘﺭﺘﻴﺏ‪ .‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻰ ‪ 25liter‬ﻋﻨﺩ ﺜﺒﻭﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪ ،‬ﻓﻤﺎ ﻫﻭ ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ؟‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪(VHe)I = 100liter, (VHe)f = 25liter‬‬
‫‪Pi Vi = Pf Vf‬‬
‫‪5 × 100 = (PHe)f × 25‬‬
‫‪(PHe)f = 20 mmHg‬‬
‫‪15 × 100 = (PN2)f × 25‬‬
‫‪(PN2)f = 60 mmHg‬‬
‫‪PT = 60 + 20 = 80 mmHg‬‬
‫‪-----------------------------‬‬
‫‪OR‬‬
‫‪Pi Vi = Pf Vf‬‬
‫‪20 × 100 = Pf × 25‬‬
‫‪Pf = 80 mmHg‬‬

‫‪٣٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺱ‪ (١٠‬ﻏﺎﺯ ﻴﺸﻐل ﺤﺠﻤﺎ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 5ft3‬ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ .20oC‬ﻤﺎﻫﻭ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻊ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﻋﻨﺩ ‪) 100 C‬ﺒﺜﺒﻭﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ(؟‬
‫‪o‬‬

‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪Ti= 20 + 273 = 293 K‬‬
‫‪Tf= 100 + 273 = 373 K‬‬

‫‪Vi/Ti = Vf/Tf‬‬
‫‪5/293 = Vf/393‬‬
‫‪Vf = 6.7 ft3‬‬
‫ﺱ‪ (١١‬ﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ‪ ،1Torr‬ﺍﻭﺠﺩ ﻗﻴﻤﺔ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﺩﺩ ﺍﻟﻤﻜﺎﻓﺊ؟‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪3‬‬ ‫‪20‬‬ ‫‪2‬‬
‫) ‪n (Particles/cm ) = 2.4 × 10 P (N/m‬‬
‫‪1 Torr = 1.3 × 102 Pa‬‬
‫)‪n = 2.4 × 1020 × (1.3 × 102‬‬
‫‪n = 3.1 × 1022 Particles/cm3‬‬

‫ﺱ‪ (١٢‬ﺍﺤﺴﺏ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻜﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﻘﺭﻴﺒﻴﺔ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﻤﻴﻨﺎﺀ ﻤﺸﺎﻫﺩﺓ ﺯﺠﺎﺠﻲ ﺒﻘﻁﺭ "‪ 4‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻲ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪2‬‬
‫‪Surface area of the port = A = π r‬‬
‫‪A = 3.14 × 22‬‬
‫‪A = 12.6 in2‬‬
‫)‪Force = A (in2) × 14.7 (Ibs/in2‬‬
‫‪Force = 12.6 in2 × 14.7 Ibs/in2 = 185 Ibs‬‬

‫ﺱ‪ (١٣‬ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪ ،‬ﺘﻤﻠﻙ ﺤﺠﻡ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 50 liter‬ﻭﺘﺤﻭﻱ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ‪ .5 × 10-6 Torr‬ﺍﻭﺠـﺩ‬
‫‪.(3.8 × 10-8 cm‬‬ ‫ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﺩﺩ‪ ،N ،‬ﻭﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ‪) .L ،‬ﺍﺫﺍ ﻋﻠﻤﺕ ﺍﻥ ﻗﻁﺭ ﺠﺯﻴﺌﺔ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ‪ 3.8 Å‬ﺍﻭ‬
‫ﺍﻟﺠﻭﺍﺏ‪:‬‬
‫‪-6‬‬ ‫‪-9‬‬
‫‪P= 5 × 10 Torr × (1 atm /760 Torr) = 6.7 × 10 atm‬‬
‫‪T = 25 + 273 = 298 K‬‬
‫‪PV=nRT‬‬
‫)‪(6.7 × 10-9 atm) (500 liter) = n (0.08206 liter atm K-1 mole-1) (298 K‬‬
‫‪n = 1.36 × 10-8 moles of gas molecules in 50 liter volume‬‬
‫)‪number of molecules = (1.36 × 10-8 moles) × (6.02 × 1023 molecules per mole‬‬
‫‪= 8.2 × 1015 molecules‬‬
‫‪N = (8.2 × 10 molecules) (1/50 liter) = 1.64 × 1014 molecules/liter‬‬
‫‪15‬‬

‫‪N = (1.64 × 1014 molecules/liter) (1 liter/1000 cm3) = 1.64 × 1011 molecules/cm3‬‬

‫‪Mean Free Path = L = (√2 P N d2)-1‬‬

‫‪L(cm) = (√2 × 5×10-6 Torr × 1.64×1011 molecules cm-3× 3.8×10-8 cm)-1‬‬
‫‪L = 22.7 cm‬‬

‫‪٣٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٤‬ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪(Vacuum system components‬‬
‫ﻟﻘﺩ ﺘﻁﻭﺭﺕ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻥ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﺴﻨﻭﺍﺕ ﺍﻟﻌﺸﺭﻴﻥ ﺍﻻﺨﻴﺭﺓ ﺍﻻ ﻭﻫﻲ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪.(System hardware‬‬
‫ﻟﻘﺩ ﺘﻤﻴﺯﺕ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺴﺎﺒﻘﺎ" ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﻜﺴﺭﻫﺎ ﻭﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺨﺎﻡ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﺠﺫﺍﺏ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺍﻻﻥ ﻓﺎﺼﺒﺤﺕ ﺍﻜﺜﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻭﺠﺎﺫﺒﻴﺔ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻴﻌﻭﺩ ﺍﻟـﻰ ﻋـﺩﺓ‬
‫ﺍﺴﺒﺎﺏ ﻤﻨﻬﺎ ﺘﻨﺎﻓﺱ ﺍﻟﻤﺼﻨﻌﻴﻥ ﻭﺍﺤﺘﻴﺎﺠﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﻻﻨﻅﻤﺔ ﺠﺫﺍﺒﺔ ﻭﻨﻅﻴﻔﺔ ﻟﻠﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻰ ﺘﺠﻬﻴﺯﺍﺕ ﺤﺩﻴﺜﺔ ﻭﻤﺘﻘﺩﻤﺔ ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺍﻥ ﺍﺴﻌﺎﺭﻫﺎ ﻗـﺩ‬
‫ﺍﺭﺘﻔﻌﺕ‪ .‬ﺴﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺘﻘﺩﻴﻡ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺘﺴﻤﺢ ﻟﻙ ﺒﺎﻥ ﺘﺼﺒﺢ ﻋﻠﻰ ﻋﻠﻡ ﺒﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻓﻲ ﻤﺠﺎل ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻟﻘﺩ‬
‫ﻗﻤﻨﺎ ﻫﻨﺎ ﺒﺎﺴﺘﻌﺭﺍﺽ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺠﻤﻌﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻻﻤﺭﻴﻜﻴﺔ )‪ (AVS‬ﻟﻠﺘﻌﺒﻴﺭ ﺒﺎﻟﺭﺴـﻡ ﻋـﻥ ﺍﻨﻅﻤـﺔ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‪ .‬ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺘﺸﺎﺒﻪ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻠﺘﻌﺒﻴﺭ ﻋﻥ ﺍﻟﺩﻭﺍﺌﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ .‬ﺴﻴﺘﻡ ﺍﻴﻀﺎ ﺍﻟﺘﻁﺭﻕ ﻫﻨﺎ ﺍﻟﻰ ﻤﻭﺍﻀـﻴﻊ ﻓـﻲ ﻤـﻭﺍﺩ ﻤﺨﺘـﺎﺭﺓ‬
‫ﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺒﺼﻭﺭﺓ ﺨﺎﺼﺔ‪ ،‬ﻴﻭﻓﺭ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺨﺎﺹ ﺒﺎﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ )‪ (valves‬ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻓﻲ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻓﻲ ﺴﻠﻭﻙ ﻓﻘـﺩﺍﻥ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪ (outgassing‬ﻤﻨﻬﺎ‪ ،‬ﺍﻟﻨﻔﺎﺫﻴﺔ )‪ (permeability‬ﻟﻤﺨﺘﻠﻑ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻭﺍﻟﺸﺩ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ )‪.(mechanical strength‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﺍﻟﺘﻁﺭﻕ ﻓﻲ ﺍﻟﺼﻔﺤﺎﺕ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﻭﺼﻑ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ )‪:(Pumps‬‬

‫‪٣٤‬‬
‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ )‪:(Valves‬‬

‫ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻭﺼﻑ ﺃﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪:(Gauges‬‬

‫‪٣٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ )‪:(Baffles‬‬

‫ﺍﻟﺭﻤﻭﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻭﺼﻑ ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ )‪ (Feed-through‬ﻭﺼﻤﺎﻡ ﻭﻗﻑ ﺍﻟﺘﺩﻓﻕ )‪:(Stop-cock‬‬

‫‪٣٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )‪:(Vacuum chambers‬‬

‫ﺘﺎﺘﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺎﺤﺠﺎﻡ ﻭﺍﺸﻜﺎل ﻤﺘﻨﻭﻋﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺅﺩﻱ ﻋﻤﻼ" ﻤﺤﺩﺩﺍ"‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ" ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺘﺠﺭﺒﺔ ﺒﺤﺠﻡ ﻤﺨﺘﺒﺭﻱ ﺼﻐﻴﺭ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻨﻔﺫ ﺒﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓـﺭﺍﻍ‬
‫ﻟﻬﺎ ﺤﺠﻡ ﺼﻐﻴﺭ ﻴﺼل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﺘﺭ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻁﺭﻑ ﺍﻻﺨﻴﺭ ﻤﻥ ﻁﻴﻑ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻱ‪ ،‬ﻤﺜل ﺍﻟﺘﺭﺍﺩﻑ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻟﺘﺠﺭﺒﺔ ﺍﻻﻨـﺩﻤﺎﺝ‬
‫ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻓﻲ ﻤﺨﺘﺒﺭ ﻟﻔﺭﻤﻭﺭ ﻟﻭﺭﻨﺱ ﺍﻟﻭﻁﻨﻲ ﻓﺤﺠﻤﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺴﺘﻭﻋﺏ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺒﺎﺼﺎﺕ ﻓﻲ ﻨﻔﺱ ﺍﻟﻭﻗﺕ‪.‬‬
‫ﺍﺠﺭﻴﺕ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﺏ ﺍﻟﻘﺩﻴﻤﺔ )ﺤﻭﺍﻟﻲ ﺴﻨﺔ ‪ (١٦٤٠‬ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺨﺸﺏ ﺍﻟﻤﻀﻐﻭﻁ‪ .‬ﻭﻟﻜﻥ ﺒﻌﺩ ﺘﻁﻭﺭ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻓﻘﺩ ﺍﺴـﺘﺨﺩﻤﺕ‬
‫ﻤﻭﺍﺩ ﻤﺜل ﺍﻟﺭﺼﺎﺹ‪ ،‬ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ‪ ،‬ﺍﻟﺯﺠﺎﺝ‪ ،‬ﺍﻟﺤﺩﻴﺩ ﻭﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺃ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺤﺠﻡ )‪ :(Size‬ﻫﻨﺎﻙ ﺍﻫﻤﻴﺔ ﺨﺎﺼﺔ ﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺒﺤﺠﻡ ﺼﻐﻴﺭ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻥ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺼﻤﻤﺕ ﻤﻥ ﺍﺠﻠﻬﺎ ﺘﻠـﻙ‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﻋﺩﺓ ﺍﺴﺒﺎﺏ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻻﺨﺘﻴﺎﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﻜﻠﻔﺔ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﺘﺯﺩﺍﺩ ﺒﺴﺭﻋﺔ ﻤﻊ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﺍﻟﺤﺠﻡ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ" ﺍﻥ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠﺔ ﺍﻟﺒـﺴﻴﻁﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﻟﺤﺎﻤﻬﺎ ﻤﻊ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﻜﻠﻑ ‪ 20$‬ﻟﺤﺠﻡ ﻗﻁﺭ "‪ 2 3/4‬ﻭﺘﻜﻠﻑ ‪ 250$‬ﻟﺤﺠﻡ ﻗﻁﺭ "‪ 10‬ﻭﻟﻨﻔﺱ ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ!‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟـﻰ ﺍﻟﻜﻠﻔـﺔ ﺍﻻﻭﻟﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﺫﻜﻭﺭﺓ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻜﻠﻔﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻜﺒﻴﺭ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻀﺭﻭﺭﻱ ﺴﻴﻜﻭﻥ ﻜﺒﻴﺭﺍ" ﻭﻴﻌﻭﺩ ﺫﻟﻙ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻔﺘﺭﺓ ﺍﻟﺯﻤﻨﻴﺔ ﺍﻟﻁﻭﻴﻠﺔ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒـﺔ‬
‫ﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﻟﻌﻤل ﻭﺯﻴﺎﺩﺓ ﺩﻭﺭﺍﺕ ﺍﻟﺘﺼﻠﻴﺢ ﻋﻠﻰ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟـﺸﻜل )‪ :(Geometry‬ﺍﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻭﻜﺎﺕ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺘﻭﻓﺭ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺘﻨﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﺸﻜﺎل ﻭﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ‪ :‬ﺍﻻﺴـﻁﻭﺍﻨﻴﺔ )‪،(Cylindrical‬‬
‫ﺍﻟﻜﺭﻭﻴﺔ )‪ (Spherical‬ﻭﺍﻟﻤﺴﺘﻁﻴﻠﺔ )‪ .(Rectangular‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺼﻨﻑ ﺍﻟﻰ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻔﻠﺔ ﻤﻨﻬﺎ‪ :‬ﺠﺭﺓ ﺍﻟﺠـﺭﺱ )‪،(Bell jars‬‬
‫ﺍﺴﻁﻭﺍﻨﻴﺔ )‪ ،(Cylinders‬ﺼﻨﺩﻭﻗﻴﺔ )‪ ،(box coaters‬ﺸﻜل ﺤﺭﻑ ‪ (Tees) T‬ﻭﺸﻜل ﺍﻟﺼﻠﻴﺏ )‪ (Crosses‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﺸﻜﺎل ﺤﺴﺏ ﻁﻠﺏ‬
‫ﺍﻟﺯﺒﻭﻥ‪.‬‬
‫ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺠﺭﺓ ﺍﻟﺠﺭﺱ )‪ :(Bell jar vessel‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺼﻨﻴﻌﻬﺎ ﻤﻥ ﺯﺠﺎﺝ ﺍﻟﺒﺎﻴﺭﻜﺱ ﻭﺍﻟﺫﻱ ﻴﻘﺎﻭﻡ ﺍﻟﺘﻠﻑ ﻤﻥ ﺍﻟﺼﺩﻤﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴـﺔ‪ ،‬ﺍﻟـﺸﺩ ﺍﻟﻤﻴﻜـﺎﻨﻴﻜﻲ‬
‫ﻭﺍﻟﻬﺠﻭﻡ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻏﻴﺭ ﻤﻜﻠﻑ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻲ ﺍﻟﻤﻘﺎﺒل ﻟﻬﺎ ﺍﻟﻤﺼﻨﻊ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﻤﺜﻼ"‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ ﻟﻠﻌﻤـل‬
‫ﺍﻟﺼﻐﻴﺭ ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﻟﻪ ﺍﻫﻤﻴﺔ ﻭﺍﻀﺤﺔ ﻓﻲ ﺴﻤﺎﺤﻪ ﺒﺎﻟﻤﺸﺎﻫﺩﻩ ﻤﻥ ﺨﻼﻟﻪ ﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﺫﺍ ﻤﺎﺘﻡ ﺍﻟﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻰ ﻨﻅﺎﻓﺔ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﺴﻌﺭ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺠﺭﺓ ﺍﻟﺠﺭﺱ ﻴﺘﺭﺍﻭﺡ ﺒﻴﻥ ‪ 350$‬ﻟﺤﺠﻡ )ﻗﻁﺭ "‪ 10‬ﻭﻁﻭل "‪ (12‬ﺍﻟﻰ ‪ 1000$‬ﻟﺤﺠﻡ )ﻗﻁﺭ "‪ 18‬ﻭﻁﻭل "‪ .(30‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﻫـﺫﺍ‬
‫ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺤﻠﻘﺔ ﺤﺼﺭ ﻤﻁﺎﻁﻴﺔ ﻤﻭﻀﻭﻋﺔ ﻓﻲ ﻗﺎﻋﺩﺓ ﺍﻟﺠﺭﺓ ﻟﻤﻨﻊ ﺃﻱ ﻨﻀﻭﺡ ﻭﺘﻭﻓﻴﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻏﻠﻕ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠﺔ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋـﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﻁـﺎﻁ‬
‫ﺍﻟﺼﻨﺎﻋﻲ ﻤﺜل ﺍﻟﻨﻴﻭﺒﺭﻴﻥ )‪ ،(Neoprene‬ﺍﻟﻔﺎﻴﺘﻭﻥ )‪ (Viton‬ﻭﺍﻟﺒﻭﻨﺎ )‪ (Buna‬ﻜﺤﻠﻘﺎﺕ ﺤﺼﺭ‪ .‬ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻤﺎﺩﺓ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘـﺘﻡ‬
‫ﻁﺒﻘﺎ" ﻟﻠﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻌﺔ )ﻓﻲ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ ،‬ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ ،‬ﺍﻟﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ(‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺍﻏﻠﻰ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺤﻠﻘﺎﺕ ﺍﻟﺤـﺼﺭ ﻓﺘـﺼﻨﻊ‬
‫ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻔﺎﻴﺘﻭﻥ ﻭﺘﻜﻠﻑ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 200$‬ﻟﻘﻁﺭ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺠﺭﺓ ﺠﺭﺱ "‪ .24‬ﻴﺘﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺠﺯﺀ ﻴﻐﻁﻲ ﺠﺭﺓ ﺍﻟﺠﺭﺱ ﻤﺼﻨﻊ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻗﺎﺒﻠﺔ‬
‫ﻟﻠﺘﻤﺩﺩ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﺴﻼﻤﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻬﺩﻑ ﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺩﺭﻉ ﻫﻭ ﺜﻨﺎﺌﻲ‪ ،‬ﺍﻭﻻ" ﻟﺤﻤﺎﻴﺔ ﺍﻟﺠﺭﺓ ﺍﻟﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﺨﺎﺭﺠﻲ ﺍﻟﺫﻱ ﻗﺩ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﻜﺴﺭﻫﺎ ﻭﻜﺫﻟﻙ‬
‫ﻟﺤﻤﺎﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻤﻠﻴﻥ ﻤﻥ ﺘﻁﺎﻴﺭ ﺍﺠﺯﺍﺌﻬﺎ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺤﺼﻭل ﺘﺼﺩﻉ ﻓﻴﻬﺎ‪.‬‬
‫ﺘﺘﻭﻓﺭ ﺍﻴﻀﺎ" ﺍﻨﻭﻉ ﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ﻭﺘﺎﺘﻲ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﻊ ﻁﺒﻘﺔ ﺨﺎﺭﺠﻴﺔ ﻤﺒﺭﺩﺓ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻭﻓﺘﺤﺔ ﻤﺸﺎﻫﺩﺓ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺍﻻﻗل )‪ .(Viewport flange‬ﺘﻜﻠﻑ ﺠﺭﺓ ﺍﻟﺠﺭﺱ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 2000$‬ﺩﻭﻻﺭ ﻟﺤﺠﻡ )ﻗﻁﺭ "‪ 18‬ﻭﻁﻭل "‪ (30‬ﺍﻟﻰ ‪ 4000$‬ﻟﺤﺠـﻡ )ﻗﻁـﺭ‬
‫"‪ 24‬ﻭﻁﻭل "‪ .(30‬ﺍﻜﺜﺭ ﺍﻨﻭﻉ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ ‪ .٣٠٤‬ﺘﻤﻠﻙ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻨﻭﻋﻴﺔ ﻨﻔﺎﺫﻴﺔ ﻟﻠﻐـﺎﺯ ﻗﻠﻴﻠـﺔ‬
‫)‪ ،(Permeability‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻁﺭﺩ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻨﻬﺎ )‪(outgassed‬ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﻭﺘﻘﺎﻭﻡ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻻﺴﻁﻭﺍﻨﻴﺔ )‪ :(Cylinders‬ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻻﺴﻁﻭﺍﻨﻴﺔ ﻴﻜﻭﻥ ﻗﻁﺭﻫﺎ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﻁﻭﻟﻬﺎ ﻭﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﻤﻌـﺩﻥ ﺍﻟﻔـﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘـﺎﻭﻡ‬
‫ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ﻨﻭﻉ ‪ ٣٠٤‬ﻭﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺤﻠﻘﺎﺕ ﺤﺼﺭ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻟﻠﻔﻠﻨﺠﺎﻥ ﻓﻲ ﻗﺎﻋﺩﺓ ﻭﻗﻤﺔ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻋﺩﺓ ﺒﻭﺍﺒﺎﺕ )‪ (Ports‬ﻟﻠﺤﺎﻭﻴـﺔ ﻤـﺼﻨﻌﺔ‬
‫ﺒﺸﻜل ﺍﺴﻁﻭﺍﻨﻲ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﻤﺸﺎﻫﺩﻩ )‪ (Viewport‬ﻭﺍﺩﺨﺎل ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ )‪.(Feed-through‬‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻟﺼﻨﺩﻭﻗﻴﺔ )‪ :(Box coates‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻻﻜﺜﺭ ﺸﻌﺒﻴﺔ ﻓﻲ ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﺼﻨﺎﻋﺎﺕ ﺍﻟﺒﺼﺭﻴﺔ ﻭﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﺩﻗﻴﻘﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻫﺫﻩ‬
‫ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﻟﺴﻬﻭﻟﺔ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺤﻤﻴﻠﻬﺎ ﻟﻔﺘﺭﺓ ﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻭﺍﻋﺎﺩﺓ ﻓﺘﺤﻬﺎ ﻭﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﻬﺎ ﻤﻥ ﺠﺩﻴﺩ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﻤﻤﻴﺯ ﺍﺨﺭ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻫﻭ ﺍﻨﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﻟﺤـﺎﻡ‬
‫ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠﺎﺕ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﺠﺩﺭﺍﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ ،‬ﻭﺍﻋﺎﺩﺓ ﺼﻴﺎﻏﺔ ﻤﺼﺎﺩﺭ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ‪ ،‬ﺤﻭﺍﻤل ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﻭﺘﺸﺨﻴﺹ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻫﻲ ﻤﺴﺎﻟﺔ ﺒـﺴﻴﻁﺔ‪ .‬ﻴـﺘﻡ‬
‫ﺘﺼﻨﻴﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ‪ ٣٠٤‬ﻭﻤﺠﻬﺯﺓ ﺒﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺘﺒﺭﻴﺩ ﺘﺤﻴﻁ ﺒﻬﺎ‪ .‬ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﻴﺘﻡ ﺘﺠﻬﻴﺯ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺒﺒﻭﺍﺒـﺔ‬
‫‪٣٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﺘﺤﺭﻜﺔ ﺘﺤﻭﻱ ﺤﻠﻘﺔ ﺤﺼﺭ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺩﺍﺨﻠﻬﺎ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻻﺤﻴﺎﻥ ﺼﻔﻴﺤﺔ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻜﻌﺎﺯل ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﻤﻨﻊ ﺤﺼﻭل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺭﺴـﻴﺏ‬
‫ﻋﻠﻰ ﻭﺍﺠﻬﺔ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﻭﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺒﺩﺍﻟﻬﺎ ﺩﻭﺭﻴﺎ"‪.‬‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺸﻜل ‪ T‬ﻭﺍﻟﺼﻠﻴﺒﻲ )‪ :(Tees and Crosses‬ﺘﻭﻓﺭ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﻜﺘﻴﺒﺎﺕ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﻥ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﺘﺠﻤﻴﻊ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻨﺎﺒﻴﺏ ﻭﺍﺸﻜﺎل ﺤﺭﻑ ‪ T‬ﻭﺼﻼﻴﺏ ﻤﺠﻬﺯﺓ ﺒﻔﻠﻨﺠﺎﺕ ﻗﻴﺎﺴﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺠﻤﻴﻌﻬﺎ ﻤﻊ ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﻭﻤﻀﺨﺎﺕ ﻭﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﻟﺒﻨﺎﺀ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻨﻭﺫﺠﻴـﺔ‪ .‬ﺍﻏﻠـﺏ‬
‫ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ‪ ٣٠٤‬ﻭﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﺒﺎﺤﺠﺎﻡ ﺒﻘﻁﺭ ﺨﺎﺭﺠﻲ ﻤﻥ "‪ 3/4‬ﺍﻟﻰ ﻗﻁﺭ ﺨﺎﺭﺠﻲ "‪.10‬‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ‪ ،‬ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﻭﺍﻟﻤﺭﺸﺤﺎﺕ )‪:(Traps, Baffles and Filters‬‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺘﻌﺭﻑ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ‪ ،‬ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻬﺎ ﺃﻱ ﺠﻬﺎﺯ ﻤﻭﻀﻭﻉ ﻓﻲ ﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻴﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﺍﻟﺩﺍﺌﺭﺓ‪ .‬ﺘﻌﺘﺒﺭ ﺍﻟﻤـﺼﺎﺌﺩ‬
‫ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻗﻨﺹ ﻤﺴﺎﻋﺩﺓ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﻟﻤﻨﻊ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺒﺎﻻﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻁﻠﻭﺏ )ﻜﻤﺎ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ(‪ .‬ﺘﻭﻀﻊ ﺍﻟﻤـﺼﺎﺌﺩ ﻓـﻲ‬
‫ﻤﺴﺎﻟﻙ ﺘﻭﺼﻴل ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﻴﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻟﺘﻘﻠﻴل‪ ،‬ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ‪ ،‬ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺭﺠﻭﻉ ﺍﻟﺯﻴـﺕ ﻤـﻥ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ ﺍﻟـﻰ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺎﺕ ﺍﻟﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻻﺼﻁﻴﺎﺩ ﺍﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﺘـﻀﻤﻥ‪ :‬ﺍﻻﻤﺘـﺯﺍﺯ )‪ ،(adsorption‬ﺍﻻﻤﺘـﺯﺍﺯ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴـﺭﻱ )‪ (cryo-sorption‬ﻭﺍﻟﺘﻜﺜـﻑ‬
‫ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻱ )‪.(cryo-condensation‬‬
‫ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ )‪ :(adsorption‬ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻻﺼﻁﻴﺎﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ ﺘﻤﻠﺊ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺒﻤﺎﺩﺓ ﺘﻤﻠﻙ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ‬
‫ﺤﺠﻤﻬﺎ ﻤﺜل ﺍﻻﻟﻴﺎﻑ ﺍﻟﺯﺠﺎﺠﻴﺔ‪ ،‬ﺼﻭﻑ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﻭﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻭﻱ ﻋﻠﻰ ﻓﺠﻭﺍﺕ ﻤﺎﻴﻜﺭﻭﻴﺔ ﻤﺜل ﺍﻟﺯﺍﻴﻭﻻﻴﺕ )‪.(zeolite‬‬
‫ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻱ )‪ :(cryo-sorption‬ﻴﺴﺘﻔﺎﺩ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺤﻘﻴﻘﺔ ﺍﻥ ﺍﺼﻁﺩﺍﻡ ﺍﻻﺒﺨﺭﺓ ﻤﻊ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩﺓ )ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﺘﻲ ﺩﺭﺠﺔ‬
‫ﺤﺭﺍﺭﺘﻬﺎ ﺍﻗل ﻤﻥ ﻨﻘﻁﺔ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل( ﺴﻭﻑ ﺘﺘﻜﺜﻑ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺘﻔﺭﻍ ﺒﻔﻌﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻋﺎﺩﺓ ﻜﻤـﺼﺩﺭ‬
‫ﺘﺒﺭﻴﺩ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ‪ .‬ﺍﻥ ﻨﻘﻁﺔ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻫﻲ ‪ -195oC‬ﻟﺫﻟﻙ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﻟﻬﺎ ﻨﻘﻁﺔ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﻓـﻭﻕ ﺩﺭﺠـﺔ ﺤـﺭﺍﺭﺓ ‪-‬‬
‫‪ 195oC‬ﺴﻭﻑ ﺘﺘﻜﺜﻑ ﻋﻨﺩ ﺍﺼﻁﺩﺍﻤﻬﺎ ﻤﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ‪.‬‬
‫ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺘﻜﺜﻑ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻱ )‪ :(cryo-condensation‬ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻋﻠﻰ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﺴﻁﺢ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻁﺌﺔ ﺠﺩﺍ" ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﺎﺜﻴﺭ‬
‫ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺎﻴﻜﺭﻭﻴﺔ ﻤﺜل ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ‪ .‬ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ ﻫﻲ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﻤﻨﺨل ﺠﺯﻴﺌﻲ ﺘﺤﻭﻱ ﻤﺴﺎﻤﺎﺕ ﺒﻘﻁـﺭ ‪ .7±3Å‬ﺍﻥ ﺤﺠـﻡ‬
‫ﺍﻟﻤﺴﺎﻤﺎﺕ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﺠﺩﺍ" ﻻﻗﺘﻨﺎﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﺨﻼل ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﻗﻭﻯ ﻓﺎﻨﺩﺭﻓﺎﻟﺯ‪.‬‬
‫ﺼﻴﺎﻨﺔ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ )‪:(Maintenance of traps‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﺩﻭﺭﻴﺔ‪ .‬ﻓﺎﺫﺍ ﺘﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻌﻤل ﺒﺸﻜل ﻏﻴﺭ ﺼﺤﻴﺢ ﻓﺎﻥ ﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﻭﺠﻭﺩﻫﺎ ﺴﻴﻜﻭﻥ ﻤﻀﺭ ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻜﺜﺭ ﻤـﻥ ﻓﺎﺌـﺩﺓ‬
‫ﻭﺠﻭﺩﻫﺎ‪ .‬ﻴﻜﻭﻥ ﻀﺭﻭﺭﻴﺎ" ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺸﺤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺒﺴﺒﺏ ﻤﺤﺩﻭﺩﻴﺔ ﺴﻌﺘﻬﺎ ﻭﺘﺸﺒﻌﻬﺎ ﺒﺎﻻﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔﺔ )ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﻭﺍﻟﻤﺎﺀ ﻋﺎﺩﺓ"( ﺒﻌﺩ ﻓﺘﺭﺓ ﺯﻤﻨﻴـﺔ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﻬﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺍﻟﻤﺸﺒﻌﺔ ﻴﺠﺏ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺸﺤﻥ ﺍﻟﻌﻨﺼﺭ ﺍﻟﻔﻌﺎل ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻭ ﺍﺴﺘﺒﺩﺍﻟﻪ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴـﺔ ﺘﻤﻠـﻙ ﺍﺠـﺯﺍﺀ‬
‫ﺘﻭﺼﻴل ﺴﺭﻴﻌﺔ ﺍﻟﺭﺒﻁ ﻤﺼﻤﻤﺔ ﻟﺴﻬﻭﻟﺔ ﺘﺒﺩﻴﻠﻬﺎ‪ .‬ﺍﻟﺒﻌﺽ ﺍﻻﺨﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺼﺎﻤﻴﻡ ﻴﺴﻤﺢ ﺒﺘﺤﻤﻴﺹ )‪ (baking‬ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ )ﻋﻨـﺩ ﺩﺭﺠـﺔ ﺤـﺭﺍﺭﺓ ﻤـﻥ‬
‫‪ 150oC‬ﺍﻟﻰ ‪ (300oC‬ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻻﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔﺔ ﺍﻭ ﺍﺴﺘﺒﺩﺍل ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﻨﺨﻠﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺼﻴﺎﻨﺔ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﻓﺘﺠﺭﻯ ﺒﺎﻟﺘﺴﻠﺴل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻭﺤﺴﺏ ﺍﻟﻨﻭﻉ‪:‬‬
‫ﺘﺘﻡ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺘﻜﺜﻔﻴﺔ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ )ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ( ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺍﻟﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻰ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺜﺎﺒﺕ ﻟﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻓﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ‪ .‬ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺤﻤﻴﺹ ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻴﺠﺏ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﺍﻭﻻ" ﻓﺼﻠﻬﺎ ﻋﻥ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ )ﺍﻏﻠﻕ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ‪.(gate valve :‬‬
‫‪ (٢‬ﺤﺎﻓﻅ ﻋﻠﻰ ﺘﺸﻐﻴل ﻤﻀﺨﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻲ‪ ،‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺩﺍﻋﻤﺔ‪.‬‬
‫‪ (٣‬ﺍﺴﻤﺢ ﻟﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻤﺼﺌﺩﺓ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﺒﺎﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪.‬‬
‫‪ (٤‬ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﺴﺎﺨﻥ ﻤﻥ ﻤﻨﻔﺎﺥ ﻟﻐﺭﺽ ﺭﻓﻊ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ ﻓﻭﻕ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﻟﺘﺴﺭﻴﻊ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴـﺭ ﻭﺘﻔﺭﻴـﻎ ﺍﻟﻐـﺎﺯﺍﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ‪.‬‬
‫‪ (٥‬ﺒﻌﺩ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺤﻤﻴﺹ ﻫﺫﻩ‪ ،‬ﺍﻋﺩ ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﻤﻠﺊ ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ ﺒﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﺍﺴﻤﺢ ﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﻭﻗﺕ ﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﻤﻜﺜﻔـﺎﺕ ﻗﺒـل ﺍﻥ‬
‫ﺘﻔﺘﺢ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ‪.‬‬

‫‪٣٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻤﺎ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻠﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺍﻟﺘﻜﺜﻔﻴﺔ ﻓﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺒﺩﺍﻟﻬﺎ ﺒﺸﻜل ﻜﺎﻤل ﺍﻭ ﻋﺯﻟﻬﺎ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﻬﺔ ﺍﻟﻨﻅﻴﻔﺔ ﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﻴﺘﻡ ﺘﺤﻤﻴـﺼﻬﺎ ﺘﺤـﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‬
‫ﻭﺒﻨﻔﺱ ﺍﻟﺘﺴﻠﺴل ﺍﻟﺫﻱ ﺸﺭﺡ ﻤﻊ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺘﻜﺜﻔﻴﺔ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺭﺒﻁ ﺍﻟﺴﺭﻴﻊ )‪:(Quick connect hardware‬‬
‫ﺘﺠﻬﺯ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﺭﻜﺎﺕ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﺴﺭﻴﻌﺔ ﺍﻟﺭﺒﻁ ﻭﺍﻋﺎﺩﺓ ﺼﻴﺎﻏﺔ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻏﻠﺏ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤـﻭﺍﺩ ﻤﺭﻨـﺔ‬
‫)ﺤﻠﻘﺎﺕ ﺤﺼﺭ‪ (O-rings:‬ﻟﺘﻭﻓﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻜﺎﻻﻨﺎﺒﻴﺏ )‪ ،(tubes‬ﺍﻟﻤﺭﻓـﻕ )‪ ،(elbows‬ﺸـﻜل ﺤـﺭﻑ ‪T‬‬
‫)‪ (tees‬ﻭﺍﻟﺼﻼﻴﺏ )‪ (crosses‬ﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﺍﻤﺎ ﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻙ )‪ ،(polycarbonate‬ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ )‪ ،(aluminum‬ﺍﻟﺒـﺭﺍﺹ )‪ ،(brass‬ﺍﻭ‬
‫ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ )‪ .(st.st.‬ﺍﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﺍﻟﻌﻤﻠﻲ ﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻙ )‪ (polycarbonate‬ﻭﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺤـﻭﺍﻟﻲ ‪ 10-4 Torr‬ﻭ‬
‫‪ 10-6 Torr‬ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻭﺍﻟﻲ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺠﺎ" ﻟﻤﻜﻭﻥ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻭﺼﻴﻠﻪ ﺒﺴﺭﻋﺔ‪:‬‬

‫ﻴﺘﻡ ﻟﺤﺎﻡ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﺍﻟﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﻤﻊ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺒﻘﻁﺭ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﺍﻭ ﻴﺘﻡ ﻟﺤﺎﻤﻪ ﻤﺒﺎﺸﺭﺘﺎ" ﻤـﻊ ﺠـﺩﺍﺭ ﺤﺎﻭﻴـﺔ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻟﻤـﺸﺒﻙ‬
‫)‪ (clamp‬ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻅﺎﻫﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻋﻼﻩ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﺘﺜﺒﻴﺕ ﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﻤﻊ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﻴﻭﻓﺭ ﻗﻭﺓ ﻀﺎﻏﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻴﻜﻴﺔ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟـﻰ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‬
‫ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﺭﺒﻁ ﺍﻟﺴﺭﻴﻌﺔ ﻫﺫﻩ ﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﺒﺎﺤﺠﺎﻡ ﻤﺘﻁﺎﺒﻘﺔ ﻤﻊ ﺍﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﻭﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺒﻘﻁﺭ ﺨﺎﺭﺠﻲ "‪ 1/2‬ﺍﻟﻰ "‪ .2‬ﻴﺘﻡ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟـﻰ ﻨـﻭﻉ‬
‫ﺍﻟﺭﺒﻁ ﺒﻤﺼﻁﻠﺢ )‪ (NW‬ﺍﻭ )‪ (KF‬ﻤـﻊ ﺍﻟﺤﺠـﻡ ﺍﻟﻤﺘـﺭﻱ ﺍﻟﻤـﺭﺘﺒﻁ ﺒـﻪ‪ .‬ﻓﻤـﺜﻼ" ﻻﻨﺒـﻭﺏ ﺘﻭﺼـﻴل ﺒﻘﻁـﺭ "‪ 1.5‬ﻓﻴـﺘﻡ ﺍﻻﺸـﺎﺭﺓ ﺍﻟﻴـﻪ‬
‫)‪.(NW-40 or KF-40‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﻤﻥ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺴﺭﻴﻌﺔ ﺍﻟﺭﺒﻁ‪:‬‬

‫ﻫﻨﺎﻙ ﺍﻨﻭﻉ ﺍﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻼﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﺨﺩﻭﺩ )‪ (groove‬ﺍﻭ ﺤﺸﻭﺓ )‪ (gland‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺸﻐﻠﺔ ﻤﻊ ﻭﺠﻪ ﻭﺍﺤﺩ ﻤـﻥ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠـﺎﺕ‬
‫ﻭﻁﻭﻕ ﻤﺭﻥ )‪ (elastomeric gasket‬ﺍﻭ ﺤﻠﻘﺔ ﺤﺼﺭ )‪ .(O-ring‬ﻴﺘﻡ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻗﻭﺓ ﻀﺎﻏﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﻓﻠﻨﺠﺘـﺎﻥ ﻤـﻊ‬

‫‪٣٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺒﻌﻀﻬﻤﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﻟﺤﺸﺭ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻓﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﺭﻜﺎﺕ ﺘﻭﻓﺭ ﺍﻨﻭﻉ ﺨﺎﺼﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﺤﻭﻡ )‪ (greese‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ‬
‫ﻤﻊ ﺤﻠﻘﺎﺕ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭﻱ ﻭﺨﻭﺍﺹ ﺘﺸﺤﻴﻡ ﻤﺼﻤﻤﺔ ﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻫﻨﺎ ﺘﻘﻭل ﺍﻨﻪ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻻﺘـﺸﻌﺭ‬
‫ﺒﻭﺠﻭﺩ ﺍﻟﺸﺤﻡ ﻋﻠﻰ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ‪ ،‬ﺃﻱ ﺍﻨﻬﺎ ﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﺒﻜﻤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﻥ ﻓﻠﻨﺠﺎﺕ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻼﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺒﻭﺠﻭﺩ ﺍﺨﺩﻭﺩ ﻭﺤﻠﻘﺔ ﺤﺼﺭ‪ .‬ﻻﺤﻅ ﺍﻥ ﺍﺤﺩ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠﺎﺕ ﺘﺤـﻭﻱ ﺍﺨـﺩﻭﺩ ﻤﻨﺤـﺭﻑ‬
‫ﻭﻴﻤﻠﻙ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﺤﺠﻡ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺤﺼﺭ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺴﺤﻭﻗﺔ‪.‬‬

‫ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )‪:(Ultra High Vacuum Hardware‬‬

‫ﺍﻥ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﺼﻤﻤﺔ ﻟﻠﻌﻤل ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﻗل ﻤﻥ ‪ 10-7Torr‬ﺘﺘﻁﻠﺏ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺠﺩﺍ" )‪ ،(UHV hardware‬ﻋﻠـﻰ ﺸـﻜل‬
‫ﻓﻠﻨﺠﺎﺕ )‪ ،(flanges‬ﺨﺭﺍﻁﻴﻡ )‪ ،(hoses‬ﺍﻨﺎﺒﻴﺏ ﻤﺭﻨﺔ )‪ ،(bellows‬ﺍﻨﺎﺒﻴﺏ )‪ ،(tubes‬ﻨﻭﺍﻓﺫ ﻤﺸﺎﻫﺩﺓ )‪ (viewports‬ﻭﺠـﺴﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ ﻨﻔـﺴﻬﺎ‪.‬‬
‫ﻻﻴﻭﺠﺩ ﺴﺒﺏ ﻴﺠﻌﻠﻨﺎ ﺍﻥ ﻨﻀﻊ ﻤﺎﻻ" ﻭﻭﻗﺘﺎ" ﻓﻲ ﺒﻨﺎﺀ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻨﻭﻉ )‪ (UHV‬ﺍﺫﺍ ﻟﻡ ﻴﻭﻓﺭ ﺍﺤﺩ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﺸﺭﻭﻁ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒﺔ ﻟـﻼﺩﺍﺀ‬
‫ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﺩﺍﺀ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﺤﺩﺩﺍ" ﺒﺎﻟﻤﻜﻭﻥ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﻤل ﺍﻗل ﻨﻭﻋﻴﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﻴﻨﻁﺒﻕ ﻓﻘﻁ ﻋﻠﻰ ﺠﺯﺀ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﺨـﺎﺹ‬
‫ﺒﺩﺍﺌﺭﺓ ‪ UHV‬ﻭﻻﻴﺅﺜﺭ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻭﺠﻭﺩﻩ ﻓﻲ ﺠﺯﺀ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺩﺍﻋﻡ )‪.(foreline roughing‬‬
‫ﻓﻠﻨﺠﺎﺕ ﺤﺎﻓﺔ ﺍﻟﺴﻜﻴﻨﺔ )‪ :(Knife edge flanges‬ﺍﻥ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﺸﺩﻴﺩ ﻟﻤﻨﻊ ﺍﻟﻨﻀﻭﺡ ﻓﻲ ﻋﻤﻠﻴـﺎﺕ ﻨﻅـﺎﻡ )‪ (UHV‬ﻴﻭﻟـﺩ ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﺍﻟـﻀﻐﻁ‬
‫)‪ (compressing‬ﻭﺍﻟﺘﺸﻭﻴﻪ )‪ (deforming‬ﻟﻁﻭﻕ ﻤﻌﺩﻨﻲ ﻟﻴﻥ )‪ ،(soft metal gasket‬ﻋﺎﺩﺓ" ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ‪ ،‬ﺒﻴﻥ ﻓﻠﻨﺠﺘﺎﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺘﻤﻠـﻙ‬
‫ﺤﺎﻓﺔ ﺴﻜﻴﻨﺔ ﻤﺠﻭﻓﺔ )‪.(recessed knife edge‬‬
‫ﺍﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﺘﻭﻀﻴﺤﻲ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺒﻴﻥ ﻨﻤﻭﺫﺠﺎ" ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﺒﻬﺫﻩ ﺍﻟﻁﺭﻴﻘﺔ‪:‬‬

‫ﻴﺘﻡ ﻟﺤﺎﻡ ﻓﻠﺠﺔ ﺤﺎﻓﺔ ﺍﻟﺴﻜﻴﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺒﻁﺭﻴﻘﺔ ﺘﺠﻌل ﺍﻟﻠﺤﺎﻡ ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﻟﺘﻘﻠﻴـل ﺍﻟﻨـﻀﻭﺡ ﺍﻻﻓﺘﺭﺍﻀـﻲ )‪ .(virtual leaks‬ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻀﺭﻭﺭﻱ ﻋﻨﺩ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺠﻤﻴﻊ ﻓﻠﻨﺠﺎﺕ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺤﺸﺭ ﻁﻭﻕ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﺒﺸﻜل ﻤﺘﺠﺎﻨﺱ ﻟﻠﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﺅﺜﺭ‪ .‬ﻟﻌﻤل ﺫﻟﻙ‪،‬‬
‫ﻴﺠﺏ ﻭﻀﻊ ﺍﻟﻁﻭﻕ ﺍﻟﻨﺤﺎﺴﻲ ﺒﺤﺫﺭ ﺒﻤﻭﻀﻊ ﺍﻟﺤﻔﺭﺓ ﺍﻟﻤﻘﺎﺒﻠﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺠﻠﺱ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﺤﺎﻓﺔ ﺍﻟﺴﻜﻴﻨﺔ‪ .‬ﺜﻡ ﺘﺠﺭﻯ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺸﺩ ﺍﻟﺒﺭﺍﻏﻲ ﺒﺎﻟﺘﺭﺘﻴـﺏ‪ ،‬ﺍﻭﻻ" ﺸـﺩ‬
‫)‪ (snug‬ﺒﺸﻜل ﺘﻭﺍﻓﻕ ﺍﺤﺘﻀﺎﻨﻲ ﻤﺤﻜﻡ ﻟﺒﺭﻏﻲ ﻭﺍﺤﺩ ﻭﻤﻥ ﺜﻡ ﺍﻟﺒﺭﻏﻲ ﺍﻟﻘﺭﻴﺏ ﺍﻟﻴﻪ ﻭﺍﻻﺴﺘﻤﺭﺍﺭ ﺒﻀﺏ ﺒﺎﻗﻲ ﺍﻟﺒﺭﺍﻏﻲ ﺒﻨﻔﺱ ﺍﻻﺘﺠﺎﻩ ﺤﻭل ﺍﻟﻔﻠﻨﺠـﺔ‪.‬‬
‫ﺘﺠﺭﻯ ﻋﺩﺓ ﻁﻭﻴﺎﺕ )‪ (laps‬ﻟﻠﺒﺭﺍﻏﻲ ﺍﻟﺤﺎﻀﻨﺔ ﻟﻠﻔﻠﻨﺠﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﻀﻐﻁ ﻁﻭﻕ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﺒﺸﻜل ﺼﺤﻴﺢ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻻﻨﺘـﺎﺝ ﺍﻟـﺼﻨﺎﻋﻲ ﻟﻔﻠﻨﺠـﺎﺕ )‪(UHV‬‬
‫ﺠﻌﻠﻬﺎ ﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﻭﺒﻜﻠﻔﺔ ﻤﻌﻘﻭﻟﺔ ﻭﺘﺎﺘﻲ ﻤﺘﻁﺎﺒﻘﺔ ﻤﻊ ﻨﺎﺒﻴﺏ ﺒﺎﺤﺠﺎﻡ ﻗﻴﺎﺴﻴﺔ )"‪.(1 1/2", 2 3/4", 4 1/2", 6", 8‬‬

‫‪٤٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅﺔ ﺍﻥ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ )‪ (UHV‬ﺘﺒﺎﻉ ﺒﺎﺴﻤﺎﺀ ﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﻤﺘﻨﻭﻋﺔ ﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ‪:‬‬
‫)‪ .(Conflat, Del-seal, F-style, CF, FC, Vac-U-Flat, and Aflat‬ﻴﺼﻨﻊ ﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﻁـﻭﻕ )‪ (gaskit‬ﺍﻟﻤـﺴﺘﺨﺩﻡ ﻻﺤﻜـﺎﻡ ﻤﻨﻅﻭﻤـﺎﺕ‬
‫)‪ (UHV‬ﻤﻥ ﻤﻌﺩﻥ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﺍﻟﻨﻘﻲ ﺠﺎﺩﺍ" ﻭﺍﻟﺨﺎﻟﻲ ﻤﻥ ﺍﻻﻭﻜـﺴﺠﻴﻥ ﻭﺍﻟﻤﻌﺎﻤـل ﺤﺭﺍﺭﻴـﺎ" )‪ (annealed‬ﻟﺠﻌﻠـﻪ ﺍﻜﺜـﺭ ﻗﺎﺒﻠﻴـﺔ ﻋﻠـﻰ ﺍﻟﺘـﺸﻭﻩ‬
‫)‪ .(deformable‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ )ﺍﻓﺭﺍﻥ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ(‪ ،‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﻁﻭﻕ ﻨﺤﺎﺱ ﻤﻁﻠﻲ ﺒﺎﻟﻔـﻀﺔ ﻟﺘﻘﻠﻴـل ﺍﻤﻜﺎﻨﻴـﺔ ﺘﺎﻜـﺴﺩ‬
‫ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ‪ .‬ﺍﻟﻬﺩﻑ ﻫﻨﺎ ﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻌﻤل ﻫﻭ ﻤﻨﻊ ﺘﻜﻭﻥ ﻗﺸﻭﺭ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﺩﺍﺨل ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﻁﻭﻕ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﻓﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤﻊ ﺤﺎﻭﻴـﺎﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‬
‫ﺍﻟﻤﺼﻨﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻤﻁﺎﺒﻘﺔ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ‪.‬‬
‫ﺍﻻﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﻤﺭﻨﺔ )‪ :(Bellows‬ﻫﻭ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﺭﻥ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻤﺭﻓﻕ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﻤﻠﺤﻭﻤﺔ ﺍﻭ ﻤﺸﻜﻠﺔ ﺒﻁﺭﻴﻘﺔ ﻫﺎﻴﺩﺭﻭﻟﻴﻜﻴـﺔ ﺘـﺴﻤﺢ‬
‫ﺒﻌﺯﻟﻬﺎ ﻤﻥ ﺍﻻﻫﺘﺯﺍﺯﺍﺕ ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﺴﻤﺎﺤﻴﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﻁﻠﺒﻬﺎ ﺒﻌﺽ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ ،‬ﺘﻘﻠﻴل ﻜﻠﻔﺔ ﺍﻟﺘـﺼﻤﻴﻡ‪ ،‬ﻜﻠﻔـﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﺼﻨﻴﻊ ﻭﻜﻠﻔﺔ ﺍﻟﺘﺠﻤﻴﻊ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻤﻥ ﺠﻬﺘﻴﻪ ﺤﻴﺙ ﻴﺼﺒﺢ ﻤﻀﻐﻭﻁﺎ" ﻋﻨﺩ ﺘﻔﺭﻴﻐﻪ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺴﻤﺎﺡ ﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﻓﺎﺭﻏـﺔ ﻟﻠﺠـﺯﺀ‬
‫ﺍﻟﻭﺴﻁﻲ ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﻴﺴﻤﺢ ﻟﻪ ﺒﺎﻟﺘﺤﺭﻙ ﺍﺜﻨﺎﺀ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻋﺩﻡ ﺍﻻﺘﺼﺎل ﻤﻊ ﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻨﻅﻤﺔ ﻭﺍﺘﻼﻓﻬﺎ‪ .‬ﻻﺘﺤﺎﻭل ﺍﻥ ﺘﻁـﻭﻱ ﺒﻘـﻭﺓ‬
‫ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻋﻨﺩ ﻋﺩﺓ ﻨﻘﺎﻁ ﺍﻭ ﻋﻠﻰ ﺍﻜﺜﺭ ﻤﻥ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﻭﺍﺤﺩ‪ .‬ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻤﺭﻥ ﻤﻥ ﻤﺭﻓﻕ ﻤﻠﺤﻭﻡ ﺍﻟﻰ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﺍﻭ ﻜﻼ ﺍﻟﺠﺎﻨﺒﻴﻥ ﻟﻠﺴﻤﺎﺡ ﻟﻠﺠـﺯﺀ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﻤﻥ ﺍﻥ ﻴﻌﺎﻨﻲ ﻤﻥ ﺍﻻﻨﺤﻨﺎﺀ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ )‪:(Valves‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﺠﺯﻡ ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺠﺭﻯ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺒﻌﺽ ﻁﺭﻕ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻤﺎﺡ ﺒﺩﺨﻭل ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻭ ﺨـﺎﺭﺡ ﻤﻨﻅﻭﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻴﻭﻓﺭ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺼﻤﻡ ﻟﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻁﺭﻴﻘﺔ ﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻌﻤل ﺍﻟﻤﻬﻡ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺜﺎﻟﻲ ﻴﻤﻠﻙ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﻴﺴﻤﺢ ﺒﻘﻴﻤﺔ ﻋﻅﻤﻰ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻔﺘﻭﺤﺎ"‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﻴﻤﻠﻙ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺼﻔﺭ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻐﻠﻘﺎ"‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﻻﻴﺤﺼل ﺃﻱ ﻨﻀﻭﺡ ﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺠﻭ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺴﺒﺏ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻓﻲ ﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﻤﻠﻙ ﻋﻤﺭ ﺩﻭﺭﺓ ﻏﻴﺭ ﻤﺤﺩﻭﺩ ﻭﻻﻴﻨﺘﺞ ﺃﻱ ﺩﻗﺎﺌﻕ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺤﻤﻴﺼﻪ ﻋﻨﺩ ﺃﻱ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ‪.‬‬
‫‪ -٦‬ﺨﻔﻴﻑ ﺍﻟﻭﺯﻥ ‪.‬‬
‫‪ -٧‬ﺭﺨﻴﺹ ﺍﻟﺜﻤﻥ‪ .‬ﻴﻭﺍﺯﻥ ﻤﺼﻤﻡ ﺍﻟﻤﻌﺩﺍﺕ ﻋﺎﺩﺓ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻤﺘﻁﻠﺒﺎﺕ ﺍﻟﺤﻘﻴﻘﻴﺔ ﻭﺍﻟﻜﻠﻔﺔ‪.‬‬
‫‪ -٨‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﺘﺤﻤل ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻓﺭﻕ ﻀﻐﻁ ﻗﻴﻤﺘﻪ )‪ 1 atm (14.7 PSI‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻐﻠﻕ‪.‬‬
‫ﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻨﻭﻉ ﺘﺼﺎﻤﻴﻡ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﺍﻟﻴﻭﻡ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﺼﻤﺎﻡ ﻤﺭﻓﻘﻲ ﺯﺍﻭﻱ )‪.(angle valve‬‬
‫‪ (٢‬ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ )‪.(gate valve‬‬
‫‪ (٣‬ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﺸﺔ ﺍﻭ ﺨﺎﻨﻕ )‪.(butterfly valve‬‬
‫‪ (٤‬ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻨﺩﻭﻟﻲ )‪.(pendulum valve‬‬
‫‪ (٥‬ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻨﻀﻭﺡ )‪.(leak valve‬‬
‫‪ (٦‬ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺘﻨﻔﻴﺱ ﺍﻟﻨﺎﻋﻡ )‪.(soft vent valve‬‬
‫‪ (٧‬ﺼﻤﺎﻡ ﻜﺭﻭﻱ )‪.(ball valve‬‬
‫‪ (٨‬ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ :(pressure control valve‬ﻨﻭﻉ ﺫﻱ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﺩﻴﻨﺎﻤﻴﻜﻴﺔ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪.‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺃﻱ ﺼﻤﺎﻡ ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅﺔ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺼﻨﻊ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺒﺎﻻﻀـﺎﻓﺔ ﺍﻟـﻰ ﺍﻟـﺸﻜل ﺍﻟﻬﻨﺩﺴـﻲ )‪ (geometry‬ﻭﺍﻟﺠﺭﻴـﺎﻥ ﺍﻟﻨﺎﻓـﺫ‬
‫)‪ .(throughput‬ﺘﺒﻨﻰ ﺍﺠﺴﺎﻡ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻤﻥ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺍﻟﺨﺎﻡ )ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺼﺏ ﺍﻭ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻤﻥ ﻗﻁﻌﺔ ﺼﻠﺒﺔ( ﻭﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ‪.‬‬
‫ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ )‪ :(Aluminum‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﺠﺴﺎﻡ ﺼﻤﺎﻡ ﻤﺼﺒﻭﺒﺔ ﻓﻲ ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﻭﻟﻜﻥ ﻋﻥ ﺍﺩﺭﺍﻙ ﻤﻨﻁﻘﺔ )‪ (UHV‬ﻴﺠـﺏ ﺘـﺼﻨﻴﻊ‬
‫ﺍﺠﺴﺎﻡ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻤﻥ ﺘﺸﻐﻴل ﻗﻁﻌﺔ ﺼﻠﺒﺔ ﻟﻼﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺍﻟﺨﺎﻡ ﺒﺎﻟﺘﺸﻐﻴل‪ .‬ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺍﻜﺜﺭ ﺍﻨﺘﺸﺎﺭﺍ" ﻓﻲ ﻤﻌﺩﺍﺕ ﻭﺍﺩﻭﺍﺕ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺸﺒﺎﻩ ﺍﻟﻤﻭﺼـﻼﺕ‬

‫‪٤١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺤﺩﻴﺜﺔ‪ .‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺭﻨﺔ )‪ (elastomer‬ﻤﻊ ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ‪ .‬ﻴﻭﻓﺭ ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺘﻭﺼﻴﻠﻴﺔ ﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‬
‫ﻤﻤﺘﺎﺯﺓ‪ ،‬ﻭﻫﺫﻩ ﻤﻔﻴﺩﺓ ﻋﻨﺩ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺨﻨﺔ ﻓﻲ ﻭﺴﻁ ﻨﻭﺍﺘﺞ ﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﻜﺜﻴﺭﺓ ﺤﻴﺙ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻨﻅﻴﻑ ﺩﻭﺭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺍﻟﻤﺼﻠﺩ ﺒﺎﻻﻨﻭﺩﺓ )‪ :(Hard-anodized aluminum‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺨﻴﺎﺭ ﺸﺎﺌﻊ ﻭﺍﻗﺘﺼﺎﺩﻱ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﻲ ﻻﺘـﺼﺩﺍﺀ‬
‫)ﺫﺍﺕ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﻤﺒﻠﻠﺔ‪ .(wetted surfaces :‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻁﻼﺀ ﻴﻭﻓﺭ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻟﻠﺤﻭﺍﻤﺽ ﻭﺍﻟﻨﻭﺍﺘﺞ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﺍﻟﻤﺅﺫﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺜـل ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺴﻭﻑ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﻨﻀﻭﺡ ﻋﺎﻟﻲ ﺨﻼل ﺴﻁﺢ ﺍﻟﺴﺩﺍﺩ ﺍﻟﻤﺤﻜﻡ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻁﻠﻴﺔ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺴﻭﻑ ﺘﺒﻌـﺙ‬
‫ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻜﺜﺭ‪ ،‬ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﻏﻴﺭ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ )‪.(UHV‬‬
‫ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ )‪ :(Stainless Steel‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﺎ ﻭﻟﻜﻨﻪ ﺍﻻﻜﺜﺭ ﻜﻠﻔﺔ" ﻭﻴﻭﻓﺭ ﻭﺴﻴﻠﺔ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟـﻰ‬
‫)‪ (UHV‬ﻭﻜﺫﻟﻙ ﻴﻘﺎﻭﻡ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺅﻜﺴﺩﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺒﺏ ﺍﻟﺘﺎﻜل‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻴﻭﻓﺭ ﺨﺩﻤﺔ ﺘﺤﺕ ﺩﺭﺠﺎﺕ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻋﺎﻟﻴﺔ )ﻋﺎﺩﺓ" ﻋﻨﺩ ‪ 200oC‬ﻤـﻊ‬
‫ﺴﺩﺍﺩﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻭ ‪ 300oC‬ﻤﻊ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ( ﻭﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺘﺤﻭﻱ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ )‪ (seals‬ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻥ ﻓﻠﻨﺠﺘﻴﻥ ﻻﻏﺭﺍﺽ ﺘﻭﺼﻴﻼﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺴﺩﺍﺩﺓ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﺒﻐﻁﺎﺀ )‪ (bonnet seal‬ﻻﻏﺭﺽ ﺍﻟﺼﻴﺎﻨﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻔﺤﺹ ﻭﺍﻟﺘﺠﻤﻴﻊ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﺴﺩﺍﺩﺓ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻋﻨﺩ ﻤﻴﻜﺎﻨﻜﻴﺔ ﺘﺤﺭﻴﻙ )‪ ،(actuator mechanism‬ﻴﺴﻤﺢ ﺒﺘﻤﺭﻴﺭ ﺤﺭﻜﺔ ﺨﻼﻟﻬﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﺴﺩﺍﺩﺓ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺔ ﺍﻟﺭﺌﻴﺴﻴﺔ )‪.(main gate‬‬ ‫‪-٤‬‬
‫ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ ﻫﺫﻩ ﺘﺤﺘﺎﺝ ﺍﻟﻰ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﺴﺎﻜﻨﺔ )‪ (static service‬ﻤﺎﻋﺩﻯ ﺴﺩﺍﺩﺓ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺔ ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﺘﺎﺝ ﺍﻟﻰ ﺼـﻴﺎﻨﺔ‬
‫ﻤﺘﺤﺭﻜﺔ )‪ .(dynamic service‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺼﻨﻴﻊ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻔﺎﻴﺘﻭﻥ )‪ ،(Viton‬ﺍﻟﻤﻌـﺩﻥ )‪ (metal‬ﺍﻭ ﻤـﻭﺍﺩ ﺨﺎﺼـﺔ‬
‫ﺘﻘﺎﻭﻡ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺎﺕ ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺘﺩﻋﻰ )‪ .(Perfluorelastomers‬ﻋﻤﻭﻤﺎ"‪ ،‬ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺭﻓﻕ ﺍﻟﺯﺍﻭﻱ ﻭﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺤﻔﻅ ﻓـﺭﺍﻍ‬
‫ﺒﺸﻜل ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﻭﺜﻭﻕ ﻤﻨﻪ ﻭﻋﻠﻰ ﺃﻱ ﻤﻥ ﺠﺎﻨﺒﻲ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﺔ )ﻤﻊ ﻀﻐﻁ ﺠﻭﻱ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﻬﺔ ﺍﻟﻤﻌﺎﻜﺴﺔ(‪.‬‬
‫ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﺭﻓﻕ ﺍﻟﺯﺍﻭﻱ )‪:(Angle valves‬‬
‫ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻓﻲ ﺍﻟﻌﺎﺩﺓ ﻤﻊ ﺘﻭﺼﻴﻼﺕ ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻻﺴﻨﺎﺩ ﺍﻭ ﺍﻟﺩﻋﻡ )‪ ،(foreline‬ﻭﻗﺩ ﺘﺤﻭﻯ ﻋﻠﻰ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﺍﻭ ﺤﻠﻘـﺎﺕ ﺤـﺼﺭ‪.‬‬
‫ﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﺯﺍﻭﻴﺔ ﺍﻟﻘﺎﺌﻤﺔ )‪ (Right angle valve‬ﺘﻤﻠﻙ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻭﺍﻁﺌﺔ ﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﺜﻘﺏ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﺩﻭﺭﺓ ‪ .90o‬ﺍﻟﺸﻜل ﺍﺩﻨﺎ ﻴﻭﻀﺢ ﺼﻤﺎﻡ ﻤﻥ ﻨـﻭﻉ‬
‫ﻴﺸﻐل ﻫﻭﺍﺌﻴﺎ" ﻤﻊ ﻋﻭﺩﺓ ﺒﻨﺎﺒﺽ )ﻤﻐﻠﻕ ﻋﺎﺩﺓ(‬
‫ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻴﺔ )‪ :(Gate valves‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﻌﺯل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻭ ﻭﺴﻁ ﻨﺎﻗل )ﻤﺜل ﻨﻘل ﺍﻟﺸﺭﺍﺌﺢ ﺍﻭ ﺍﺸﻜﺎل ﻤﻭﺍﺩ ﺍﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﺨـﺭﻯ(‪.‬‬
‫ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻌﺯل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ ،‬ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻭﻓﺭ ﻤﻭﺍﺼﻠﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﺼﻤﺎﻡ ﺒﻭﺍﺒﻲ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ )‪ (feed-through‬ﺩﻭﺍﺭ ﻭﺒﺜﻼﺙ ﻤﻴﻜﺎﻨﻜﻴﺎﺕ ﺘﺸﻐﻴل‪.‬‬

‫‪٤٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻜﻴﻑ ﺘﻌﻤل ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ‪.‬‬

‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺼﻨﻊ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻴﺔ ﻤﻥ ﺼﺏ ﺍﻭ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻻﻟﻤﻨﻴﻭﻡ ﺍﻭ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ‪ .‬ﻭﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﻌﻬﺎ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﺭﻨﺔ ﻭﺍﻤﺎ ﺍﻟﻨﻭﻉ‬
‫ﺍﻟﻤﺼﻤﻤﺔ ﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ )‪ (UHV‬ﻓﻠﻬﺎ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻴﺔ ﺍﻤﺎ ﻴﺩﻭﻴﺎ"‪ ،‬ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺎ" ﺍﻭ ﻫﻭﺍﺌﻴﺎ"‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﺨـﺫ ﺍﻟﺤـﺫﺭ‬
‫ﺍﻟﺸﺩﻴﺩ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﺘﻌﺎﻤل ﻤﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺨﺎﺼﺔ ﻋﻨﺩ ﺭﺒﻁﻬﺎ ﺒﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺸﻐﻴﻠﻬﺎ‪ .‬ﻟﻘﺩ ﻓﻘﺩ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﺎﺱ ﺍﻴﺩﻴﻬﻡ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻌﻤـل‬
‫ﻋﻠﻰ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻐﻠﻕ ﺒﺸﻜل ﺨﺎﻁﺊ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ ﻭﻴﺩ ﺍﻟﺸﺨﺹ ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ )‪:(Feed-through‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺤﺩﺩ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﻭﺠﻭﺩ ﻭﺴﻴﻠﺔ ﻻﻴﺼﺎل ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ ،‬ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﻭﻤﺎﺀ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺍﻟﻰ ﻤﻨﻅﻭﻤـﺎﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺒﺸﻜل ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻘﺎﺒﻠﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﺘﺤﺭﻴﻙ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﺩﺍﺨل ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺴﻭﻑ ﻴﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﺤﺴﻴﻥ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )ﻤﺜﻼ" ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻏﺸﻴﺔ ﺭﻗﻴﻘﺔ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺴﻁﻭﺡ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﺍﺸﻜﺎل ﻤﻌﻘﺩﺓ(‪ .‬ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻴﻭﻓﺭ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻫﺩﺍﻑ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻥ ﻴﺅﺜﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏﺔ ﺍﻟـﺫﻱ ﻨﻌﻤـل ﺒﺠﻬـﺩ‬
‫ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻴﻬﺎ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻟﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ )‪:(Electrical power feed through‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺍﻤﺭﺍﺭ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺩﺍﺨل ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻤﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﺨﺎﺭﺠﻲ ﻤﻌﻴﻥ ﺒﻭﺴﻴﻠﺔ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﺠﻴﺩ ﻟﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ‪ .‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫـﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬـﺯﺓ ﻋﻨـﺩ‬
‫ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﻤﺜل ﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‪ ،‬ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻭﺍﻟﻠﺤﺎﻡ ﺒﺎﻟﻨﺤﺎﺱ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺫﻟﻙ ﻓﺎﻥ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﻤﻥ ﻀـﻤﻨﻬﺎ‬
‫ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﻟﻠﻜﻬﺭﺒﺎﺀ ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺒﻨﺎﺀ ﻋﻭﺍﺯل ﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ ﺤﻭل ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻟﻤﻨﻊ ﻭﺼﻭل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒـﺎﺀ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺠﺩﺭﺍﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﻟﻠﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻋﻨﺩ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺠﺭﻯ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺒﺎﻤﺎﻥ ﻟﻠﻔﻭﻟﺘﻴـﺔ‬
‫ﻭﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻁﺒﻕ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻟﻠﻤﺎﺌﻊ )‪:(Fluid feed-through‬‬
‫ﻤﻭﺍﺌﻊ ﻤﺜل ﺍﻟﻤﺎﺀ‪ ،‬ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﺍﺩﺨﺎﻟﻬﺎ ﺒﺸﻜل ﺩﻭﺭﻱ ﺍﻟﻰ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺒﺸﻜل ﻤﺴﻴﻁﺭ ﻋﻠﻴﻪ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﻋﻠﻰ ﺒﻴﺌﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﺍﻟﻤﺼﻤﻡ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﻴﺎﺘﻲ ﺒﺎﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ .‬ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻻﻜﺜﺭ ﺸﻴﻭﻋﺎ" ﻴﺘﻀﻤﻥ ﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﻟﻠﻤﺎﺀ ﺜﻨﺎﺌﻲ ﺍﻟﺨﻁ )ﻤﻨﻔـﺫ ﺩﺍﺨـل‬
‫ﻭﺨﺎﺭﺝ ﻟﻠﻤﺎﺀ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﻤﺼﺎﺩﺭ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﻤﺜل ﻤﺴﺩﺴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ )‪ (sputtering guns‬ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ ،‬ﻭﺨـﻁ ﻤﻨﻔـﺭﺩ‬
‫ﻟﺩﺨﻭل ﺍﻟﻐﺎﺯ )ﻻﻤﺭﺍﺭ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ(‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻙ )‪ :(Motion feed-through‬ﻟﻐﺭﺽ ﻓﺘﺢ ﻭﺍﻏﻼﻕ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ‪ ،‬ﺘﺤﺭﻴﻙ ﻗﻭﺍﻋﺩ )‪ (substrates‬ﻭﺘﻭﺼﻴل ﻋﻴﻨﺔ ﺘﺤـﺕ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻨﺤﺘﺎﺝ ﺍﻟﻰ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﻤﻐﺫﻴﺎﺕ ﻨﺎﻓﺫﺓ ﻤﺘﺤﺭﻜﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻐﺫﻴﺎﺕ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫﺓ ﺘﺒﻌﺎ" ﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﻤـﺴﻤﻭﺡ ﺒﻬـﺎ‪.‬‬
‫ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭ )‪ (Rotary feed-through‬ﻓﻲ ﺍﺩﺍﺭﺓ ﺍﻟﻘﻼﺏ ﺍﻻﺭﺠﺎﻋﻲ )‪ (flapper‬ﻓﻲ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺨﺎﻨﻕ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓـﺫ ﺍﻟﺨﻁـﻲ‬
‫)‪ (linear‬ﻴﻭﻓﺭ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒﺔ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺒﻭﺍﺒﻲ ﻭﻋﺼﻰ ﺘﺭﺍﻭﺤﻴﺔ )‪ (Wobble stick‬ﺘﺸﻐل ﺒﺎﻟﻴﺩ ﺘﺴﻤﺢ ﺒﺎﻟﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺯﺍﻭﻴﺔ‪.‬‬

‫‪٤٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺠﺎ" ﻟﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﺩﻭﺍﺭ ﺒﺴﻴﻁ‪:‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻋﻼﻩ ﻴﻭﻀﺢ ﻤﻭﻗﻊ ﻤﻨﻔﺫ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ )‪ (port for differential pumping‬ﺒﻴﻥ ﺴﺩﺍﺩﺘﻲ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﺭﻨﺔ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺘﻘﺭﻴﺒـﻲ‬
‫)‪ (rough‬ﻭﺍﻟﻌﺎﻟﻲ )‪ (high‬ﻭﻟﻜﻥ ﻏﻴﺭ ﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )‪ .(UHV‬ﻋﻨﺩ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭﻙ ﻟﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﺩﻭﺍﺭ ﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﻥ ﺘﺎﺨﺫ ﺒﻨﻅـﺭ ﺍﻻﻋﺘﺒـﺎﺭ‬
‫ﺴﺭﻋﺔ ﺩﻭﺭﺍﻥ ﻋﻤﻭﺩ ﺍﻻﺩﺍﺭﺓ )‪ (shaft‬ﺍﻻﻋﻅﻡ‪ ،‬ﻋﺯﻡ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ )‪ (torque‬ﺍﻻﻋﻅﻡ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺘﻌﺭﺽ ﻟﻪ ﻋﻤﻭﺩ ﺍﻻﺩﺍﺭﺓ‪ ،‬ﺍﻟﺤﻤل ﺍﻟﻜﺎﺒﻭﻟﻲ ‪(cantilever‬‬
‫)‪ load‬ﻭﺍﻱ ﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻤﻼﺌﻤﺔ‪ .‬ﻜﺫﻟﻙ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻨﺘﺫﻜﺭ ﻤﺘﻁﻠﺒﺎﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪ .‬ﻫل ﺴﻴﺘﻌﺭﺽ ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻟﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘـﺭﻭﺠﻴﻥ؟ ﻫـل‬
‫ﺴﻴﻜﻭﻥ ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻤﻌﺭﺽ ﻟﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺤﻤﻴﺹ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭ ﻤﺘﻭﻓﺭ ﺘﺠﺎﺭﻴﺎ" ﻤﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻠﻨﺠﺎﺕ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺘﺼﺎﻤﻴﻡ ﺍﻟﺴﺭﻴﻌﺔ ﺍﻟﺭﺒﻁ ﻭﻤﻊ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﺸـﻲ ﺍﺨـﺭ‬
‫ﻴﺘﻌﻠﻕ ﺒﺎﺨﺘﻴﺎﺭﻙ ﻟﻠﻤﻐﺫﻱ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭ ﻴﺘﻌﻠﻕ ﺒﺎﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻤﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ )‪ ،(rotate‬ﺍﻟﻤـﺩ )‪ (extend‬ﺍﻭ ﺍﻟـﺴﺤﺏ )‪ .(retract‬ﺍﻥ‬
‫ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻟﻤﻭﺩﻴﻼﺕ ﺍﻟﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﻴﻤﻜﻥ ﺸﺭﺍﺌﻬﺎ ﻟﺘﻌﻤل ﻴﺩﻭﻴﺎ" )ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻤﺴﻴﻁﺭ ﻋﻠﻴﻪ ﻴﺩﻴﻭﻴﺎ"( ﺍﻭ ﻤﺠﻬﺯ ﺒﻤﺎﻁﻭﺭ )‪ .(motorized‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤـﺎﻁﻭﺭ‬
‫ﻤﻬﻤﺎ"‪ ،‬ﻭﻴﺠﺭﻱ ﺫﻟﻙ ﻋﻠﻰ ﺍﺴﺎﺱ ﻤﺘﻁﻠﺒﺎﺕ ﺍﻟﻌﻠﻤﻴﺔ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺸﻐل ﺍﻟﻌﺼﻰ ﺍﻟﺘﺭﺍﻭﺤﻴﺔ ﻟﺘﻐﻴﻴﺭ ﻤﻭﻗﻊ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﺘﻡ ﻁﻼﺌﻬﺎ ﺩﺍﺨل ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‪ ،‬ﺘﺜﺒﻴـﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺤﺴﺴﺎﺕ‪ ،‬ﺍﻭ ﺤﺘﻰ ﺘﻭﺠﻴﻪ ﻤﺼﺎﺩﺭ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻭ ﺍﻻﺸﻌﺎﻉ ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﺘـﺼﺎﻤﻴﻡ ﻤﺘﺭﺍﻭﺤـﺎﺕ "ﺍﻟﻜـﺭﺓ ﻭﺍﻟﺘﺠﻭﻴـﻑ" "‪"(Ball and socket‬‬
‫)‪ ،wobblers‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﺩﻨﺎﻩ‪ ،‬ﻤﻠﺤﻭﻤﺔ ﻤﻊ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻤﺭﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍﺀ ﺘﻭﻓﺭ ﺴﺩﺩﺍﺓ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﻭﺒﺸﻜل ﺸﺎﺌﻊ‪ .‬ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﺨﺭﻯ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﺘﺼﺎﻤﻴﻡ ﺘﺸﻤل ﺤﺩﺒﺔ ﺘﺤﻭﻴل ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ )‪ (cam‬ﻭﺍﻻﺴﻔﻴﻥ )‪ (wedge‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻴﻀﺎ" ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻤﺭﻥ ﻤﻠﺤﻭﻡ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫ﻤﻌﺎﻟﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺨﻁﻴﺔ ﺘﺎﺘﻲ ﺒﻌﺩﺓ ﺍﺤﺠﺎﻡ‪ ،‬ﺍﺸﻜﺎل ﻫﻨﺩﺴﻴﺔ‪ ،‬ﻭﻗﺩﺭﺍﺕ ﺤﻤل ﻭﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺩﺍﺭ ﻴﺩﻴﻭﻴﺎ" )ﺍﻟﺩﻓﻊ‪-‬ﺍﻟﺴﺤﺏ‪ ،push-pull :‬ﺍﻟﻤﺴﻨﻥ‪-‬ﺍﻟﺘـﺭﺱ‪:‬‬
‫‪ ،rack-pinion‬ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ‪-‬ﺍﻟﻠﻭﻟﺏ‪ (lead-screw :‬ﺍﻭ ﺘﺩﺍﺭ ﺒﻤﺎﻁﻭﺭ‪ .‬ﻤﻊ ﻜل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻌﺎﻟﺠﺎﺕ ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻋﺩﻡ ﺍﻟﺘﺴﺒﺏ ﺒﺎﻱ ﺘﻠﻑ ﻟﻬﺎ ﺍﻭ‬
‫ﻻﻱ ﻤﻌﺩﺍﺕ ﺍﺨﺭﻯ ﺍﺜﻨﺎﺀ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﺨﻼل ﺴﻁﻭﺡ ﺴﺩﺍﺩﺍﺕ ﺍﻻﺤﻜﺎﻡ ﻟﻠﻤﻌﺎﻟﺞ‪ .‬ﺘﺫﻜﺭ ﺍﻥ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻤﺭﻥ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺤﺼﻭﺭ ﺴﻭﻑ ﻴﺘـﺩﺍﻋﻰ‬
‫ﺨﻼل ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺠﺎ" ﻟﻤﻐﺫﻱ ﻨﺎﻓﺫ ﺒﺤﺭﻜﺔ ﺨﻁﻴﺔ ﻟﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ‪-‬ﺍﻟﻠﻭﻟﺏ ﺍﻟﻴﺩﻴﻭﻴﺔ‪ .‬ﺘﻭﺠﺩ ﻤﺴﻁﺭﺓ ﻤﻌﻠﻤﺔ )‪ (scal ruled‬ﻋﻠﻰ‬
‫ﺍﺴﻁﻭﺍﻨﺔ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ‪-‬ﺍﻟﻠﻭﻟﺏ ﺘﻌﻁﻲ ﺍﺸﺎﺭﺓ ﻻﻤﺘﺩﺍﺩ ﺍﻟﻌﻤﻭﺩ )‪ (shaft‬ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻟﻠﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬

‫‪٤٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٥‬ﺃﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻜﻠﻲ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ )‪(Subatmospheric Total Pressure Gauges‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻲ ﺴﻴﺘﻡ ﺸﺭﺤﻬﺎ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﻤﺭﺍﻗﺒﺔ ﺍﻟﺒﻴﺌﺔ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺫﻟﻙ ﻟﻔﻬﻡ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘـﻲ ﺘﺠـﺭﻯ ﺘﺤـﺕ‬
‫ﻅﺭﻭﻑ ﻀﻐﻁ ﻭﺍﻁﺊ ﻭﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺍﻋﺎﺩﺘﻬﺎ‪ .‬ﻭﺒﺸﻜل ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻻﻱ ﻤﺠﺎل ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻤﻭﻀﻭﻉ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ ﻴـﺼﻨﻑ‬
‫ﺒﻌﺩﺓ ﻁﺭﻕ ﻭﻜﻤﺎ ﻴﻠﻲ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺫﻱ ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻴﻪ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻤﺒﺩﺀ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻱ ﺨﻠﻑ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺤﺠﻡ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻜﻠﻔﺔ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﻌﻘﻴﺩ‪.‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﻫﻨﺎ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻱ ﻟﻠﺘﺸﻐﻴل )‪ .(physical basis of operation‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻰ ﺍﺭﺒﻌﺔ ﺍﻨﻭﺍﻉ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﻘﻴﺱ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻁﺢ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﻘﻴﺱ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﻌﺯﻡ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﻘﻴﺱ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﻘﻴﺱ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺘﺎﻴﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬
‫ﺘﺠﺩ ﺍﺩﻨﺎﻩ ﻤﺜﺎﻻ" ﻋﻠﻰ ﻜل ﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺍﻻﺭﺒﻌﺔ‪:‬‬

‫ﻴﺠﺭﻱ ﻜل ﻴﻭﻡ ﺘﻨﻔﻴﺫ ﺘﺠﺎﺭﺏ ﻭﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﺘﻤﻠﻙ ﻀﻐﻭﻁ ﻜﻠﻴﺔ ﺒﻤﻌﺩل ‪ 760 Torr‬ﺍﻟﻰ ‪ .10-13Torr‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﻌﺩل ﻤﻥ ﺍﻟـﻀﻐﻁ‬
‫ﻴﻤﺘﺩ ﻟﺤﻭﺍﻟﻰ ‪ ١٦‬ﻓﺎﺭﺯﺓ ﻋﺸﺭﻴﺔ! ﻻﻴﺘﻭﻓﺭ ﺠﻬﺎﺯ ﻀﻐﻁ ﻭﺍﺤﺩ ﻴﺴﺘﻁﻴﻊ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺒﺩﻗﺔ ﻋﻠﻰ ﻁﻭل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﺨﻡ‪ .‬ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﻫـﻲ‬
‫ﺤﺴﺎﺴﺔ ﻜﻔﺎﻴﺔ ﻟﺘﻜﻭﻥ ﺩﻗﻴﻘﺔ ﻋﻨﺩ ﻜﺜﺎﻓﺎﺕ ﻏﺎﺯ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﺠﺩﺍ" ﺴﻭﻑ ﺘﻌﺎﻨﻲ ﻤﺸﺎﻜل ﺍﻭ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺘﻠﻑ ﺍﺫﺍ ﺸﻐﻠﺕ ﻋﻥ ﻀﻐﻭﻁ ﻓﻭﻕ ‪ .10-3Torr‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻜـل‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﻗﻴﺎﺱ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﻐﻁﻰ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل‪ ،‬ﺴﻭﻑ ﻨﻌﻤل ﺠﺎﻫﺩﻴﻥ ﻓﻲ ﺸﺭﺡ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ﻟﻠﺠﻬﺎﺯ ﻭﺴﻭﻑ ﻨﻌﻁﻲ ﻤﻼﺤﻅﺎﺕ ﻤﻔﻴﺩﺓ ﺤﻭل ﻤﻁﺎﺒﻘـﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ‪ ،‬ﺍﻟﺘﺤﻤل ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ ﻭﻗﺎﺒﻠﻴﺔ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻟﻠﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﺨﺎﺭﺠﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.1‬ﻴﻭﻀﺢ ﻤﻌﺩﻻﺕ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻓﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.1‬‬
‫‪٤٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﻴﺱ ﺍﻟﻘﻭﺓ )‪:(Force Measurement Pressure Gauges‬‬
‫ﺍﻟﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﺯﺌﺒﻘﻲ )‪:(U-tube Manometer‬‬
‫ﺘﺎﺭﻴﺨﻴﺎ"‪ ،‬ﻴﻌﺘﺒﺭ ﺠﻬﺎﺯ ﻗﻴﺎﺱ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﺴﺎﺌل ﺍﻭل ﻤﺎﺴﺘﺨﺩﻡ ﻜﻭﺴﻴﻠﺔ ﻟﻤﺭﺍﻗﺒﺔ ﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺒﺩﺍﻴﺘﺎ"‪ ،‬ﻭﻟﻜﻥ ﺒﺴﺒﺏ ﻜﺜﺎﻓﺘﻪ ﺍﻟﻘﻠﻴﻠﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻁﻭل ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 30 feet‬ﻟﻴﺘﻤﻜﻥ ﻤﻥ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ‪ ،‬ﺘﻡ ﺍﺴﺘﺒﺩﺍل ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺒﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﻜﺜﺎﻓﺘـﻪ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴـﺔ‬
‫)‪ 13.6‬ﻤﺭﺓ ﺍﻜﺒﺭ ﻜﺜﺎﻓﺔ" ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺀ( ﺘﺴﻤﺢ ﺒﺘﺼﻨﻴﻊ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﺼﻐﺭ ﺒﻜﺜﻴﺭ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺒﺎﺩﺉ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻟﺘﺸﻐﻴل ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﺴﺎﺌل ﺍﻟﺒﺴﻴﻁﺔ‬
‫ﻫﻲ ﻜﻤﺎ ﻴﻠﻲ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﻴﺘﻡ ﺘﺤﻀﻴﺭ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺯﺠﺎﺠﻲ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺤﺭﻑ ‪ U‬ﻁﻭﻟﻪ ﻤﺘﺭ ﻭﻤﻭﻀﻭﻉ ﺒﺸﻜل ﻋﻤﻭﺩﻱ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﻴﻤﻠﺊ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻰ ﻤﻨﺘﺼﻔﻪ ﺒﺴﺎﺌل ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺼﻤﺎﻤﺎﻥ ﻓﻲ ﻨﻬﺎﻴﺘﻲ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ )ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ )‪ (Reference‬ﻭﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺩﺨﻭل )‪.((Inlet‬‬
‫‪ -٤‬ﻴﻔﺘﺢ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻰ ﻤﻀﺨﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻲ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻓﻭﻕ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﻴﻨﺨﻔﺽ ﺍﻟﻰ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 10-5Torr‬ﺍﻭ ﺍﻗل ﻭﻤﻥ ﺜﻡ ﻴﻐﻠﻕ ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ‪.‬‬
‫‪ -٦‬ﻋﻨﺩ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻨﻘﻁﺔ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺭﺒﻁ ﺠﻬﺔ ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺩﺨﻭل ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﺒﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫‪ -٧‬ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺒﺩﺍﻴﺘﺎ" ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻓﺭﻕ ﺍﺭﺘﻔﺎﻉ ﺍﻟﻌﻤﻭﺩ ﻟﻠﺯﺌﺒﻕ )‪ ،(H‬ﺒﻴﻥ ﺫﺭﺍﻋﻲ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﻭﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﻟﻼﻨﺒـﻭﺏ ﺴـﻴﻜﻭﻥ ﺤـﻭﺍﻟﻰ‬
‫‪.760 mm‬‬
‫‪ -٨‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻭﺼﻭل ﺒﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺩﺨﻭل ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻔﺭﻕ ﻓﻲ ﺍﻻﺭﺘﻔﺎﻉ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﻋﻴﻥ ﻟﻼﻨﺒﻭﺏ ﺴﻴﻨﺨﻔﺽ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.2‬ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﺯﺌﺒﻘﻲ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.2‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﻤﺎﻜﻠﻭﻴﺩ )‪ :(McLeod Gauge‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻭﺴﻴﻊ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﺭﺍﺀ ﺒﻬﺎ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﺴﺎﺌل ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﻋﺯل ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﻥ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﺍﺩ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻁﻪ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﻜﺒﺴﻪ ﺒﻁﺭﻴﻘﺔ ﻤﺴﻴﻁﺭ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﻟﺘﻀﺨﻴﻡ ﺍﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺠﻌـل ﻋﻤﻠﻴـﺔ‬
‫ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺴﻬﻠﺔ ﻭﺩﻗﻴﻘﺔ‪ .‬ﺘﺘﻡ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﺒﺠﻬﺎﺯ ﻤﺎﻜﻠﻭﻴﺩ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺨﺯﺍﻥ ﺯﺌﺒﻕ ﻤﺘﺤﺭﻙ )‪ ، ،(mercury reservoir‬ﻓﻘﺎﻋﺔ ﻤﻌﺭﻭﻓﺔ ﺍﻟﺤﺠـﻡ‬
‫)‪ ،(bulb‬ﻭﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﺸﻌﺭﻴﺔ )‪ (capillary tubes‬ﻭﺍﻨﺒﻭﺏ ﻴﺴﻤﺢ ﺒﺎﻟﺘﻭﺼﻴل ﻤﻊ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪.5.3‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.3‬ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﺘﺨﻁﻴﻁ ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻤﺎﻜﻠﻭﻴﺩ‪.‬‬

‫‪٤٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻥ ﺍﻨﺯﺍل ﺨﺯﺍﻥ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﺴﻭﻑ ﻴﺴﻤﺢ ﻟﻠﻐﺯ ﺒﺤﺭﻜﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻟﺘﻤﻠﺊ ﺍﻟﻔﻘﺎﻋﺔ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻑ ﺍﻟﻤﻭﻀﻭﻋﺔ ﺒﺸﻜل ﻤﺒﺎﺸـﺭ ﺘﺤـﺕ‬
‫ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﺸﻌﺭﻱ ﺍﻟﻤﻐﻠﻕ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺒﻌﺩﻫﺎ ﻋﺯل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻋﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺭﻓﻊ ﺨﺯﺍﻥ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻋﻥ ﺍﻟﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﻤﻘﻁﻭﻉ‪ .‬ﻓﻲ ﻨﻔﺱ‬
‫ﺍﻟﻭﻗﺕ‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﻜﺒﺱ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺤﺠﻭﺯ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﺸﻌﺭﻴﺔ ﺍﻟﻤﺨﺘﻭﻤﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻨﺒﻴﻥ ﺍﻨﻪ ﻟﺜﺎﺒﺕ ﻤﻌﺎﻴﺭﺓ )‪ (calibration constant: k‬ﻨﺠﺩ‪:‬‬

‫ﻟﻘﺩ ﻜﺎﻥ ﺍﻨﺠﺎﺯ ﺠﻬﺎﺯ ﻤﺎﻜﻠﻭﻴﺩ ﻓﻲ ﻭﻗﺘﻬﺎ ﺘﻁﻭﺭ ﺘﻘﻨﻲ ﻜﺒﻴﺭ ﺤﻴﺙ ﻴﻐﻁﻲ ‪ 4‬ﻓﻭﺍﺭﺯ ﻋﺸﺭﻴﺔ ﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻤﻊ ﺩﻗﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺠﺩﺍ"‪.‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺒﻭﺭﺩﻭﻥ )‪ :(Bourdon tube gauge‬ﻴﺘﻜﻭﻥ ﺠﻬﺎﺯ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺒﻭﺭﺩﻭﻥ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻔﺭﻏﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﻤﻊ ﺼﻔﻴﺤﺔ‬
‫ﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﺍﻤﺎﻤﻴﺔ ﺘﺴﻤﺢ ﺒﺭﺅﻴﺔ ﺍﻟﻤﻭﺸﺭ ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻙ )‪ (indicator dial‬ﻭﻗﺭﺍﺀﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ .(pressure scale‬ﺍﻥ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻲ ﺍﻟﻤﻨﺤﻨﻲ ﻴﻜـﻭﻥ‬
‫ﺒﺘﺸﻭﺓ ﻤﺭﻥ ﻭﺍﻥ ﺍﻟﺘﻭﺍﺀ ﻨﻬﺎﻴﺘﻪ ﻴﺘﻨﺎﺴﺏ ﻤﻊ ﻓﺭﻕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺨﻼل ﺠﺩﺭﺍﻨﻪ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻻﻟﺘﻭﺍﺀ ﻴﻨﺘﻘل ﺒﺸﻜل ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ ﺍﻟﻰ ﺩﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟﻤﺅﺸﺭ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‬
‫)‪ .(rack and pinion‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.4‬ﺍﺩﻨﺎﻩ‪.‬‬ ‫ﻤﺴﻨﻨﺎﺕ ﻭﺘﺭﻭﺱ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.4‬‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﺨﺘﻼﻓﺎﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﺘﺼﺎﻤﻴﻡ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ‪ ،‬ﻓﺎﻟﺒﻌﺽ ﻴﻤﻠﻙ ﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻤﻔﺭﻏﺔ ﻭﺍﻨﺎﺒﻴﺏ ﻤﺼﺩﺭ )‪ (reference tubes‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻤـﻲ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴـﺔ‬
‫ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻤﻥ ﺒﻴﺌﺔ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻻﺠﻬﺯﻩ ﺍﻟﺼﻐﻴﺭﺓ‪ ،‬ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻜﻠﻔﺔ )ﻗﻁﺭ ﺍﻟﻭﺠﻪ "‪ (2‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻘﺭﺍﺀ ﺒﺸﻜل ﺩﻗﻴﻕ ﻤﻌﺩل ﻀﻐﻁ ﻤﻥ ‪ 1atm‬ﺍﻟـﻰ‬
‫‪ .100Torr‬ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﺒﻴﺭﺓ‪ ،‬ﺍﻻﻜﺜﺭ ﺤﺴﺎﺴﻴﺔ )ﻗﻁﺭ ﻭﺠﻪ "‪ (8-9‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻘﺭﺍﺀ ﻀﻐﻁ ﻨﺯﻭﻻ" ﺍﻟﻰ ﺤﺩﻭﺩ ‪ .10Torr‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤـﻥ ﺍﻻﺠﻬـﺯﺓ‬
‫ﺒﺴﻴﻁ‪ ،‬ﻏﻴﺭ ﻤﻜﻠﻑ‪ ،‬ﻭﻴﺘﺤﻤل ﺍﻟﺼﺩﻤﺎﺕ )‪ (rugged‬ﻨﺴﺒﻴﺎ"‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻴﺠﺎﺩ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ )‪ (High‬ﻜﻭﺴـﻴﻠﺔ‬
‫ﻟﺘﺤﺩﻴﺩ ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﺟﻤﺎﻟﻲ )‪ (gross pressure‬ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ )‪ :(Mechanical diaphragm gauge‬ﻴﺴﺘﻔﻴﺩ ﺠﻬﺎﺯ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﺩﺍﺭ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺎ" ﻤﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻏـﺸﺎﺀ‬
‫ﻤﻌﺩﻨﻲ ﺭﻗﻴﻕ‪ ،‬ﻴﻨﺤﺭﻑ ﻨﺴﺒﺘﺎ" ﺍﻟﻰ ﻭﺠﻭﺩ ﻓﺭﻕ ﻀﻐﻁ ﺨﻼﻟﻪ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘـﻀﺨﻴﻡ ﻫـﺫﺍ ﺍﻻﻨﺤـﺭﺍﻑ ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﻤﺠﻤﻭﻋـﺔ ﻤـﻥ ﺍﻟﻌـﺘﻼﺕ ﻭﺍﻟﺒﻜـﺭﺍﺕ‬
‫)‪ (levers and pulleys‬ﻭﻴﺤﻭل ﺍﻟﻰ ﺤﺭﻜﺔ ﺩﻭﺭﺍﻨﻴﺔ ﻟﻠﻤﺅﺸﺭ ﺍﻤﺎﻡ ﻭﺠﻪ ﺘﺎﺸﻴﺭ ﻤﻌﻴﺭ‪ .‬ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻟﻠﻐﺸﺎﺀ ﻤﻌﺭﺽ ﺍﻟـﻰ ﺒﻴﺌـﺔ ﻤﻨﻅﻭﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ ،‬ﻓﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻟﻠﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺘﻌﺭﺽ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻟﻠﺯﻴﻭﺕ‪ ،‬ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺍﻭ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻔﻌﺎﻟﺔ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.5‬ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺠﺎ" ﺘﺨﻁﻴﻁﻴﺎ" ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ‬
‫ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪.‬‬

‫‪٤٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.5‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﻏﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ )‪:(Capacitance diaphragm gauges‬‬
‫ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺴﻤﻰ ﺍﺤﻴﺎﻨﺎ" ﺒﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﻫﻭ ﻨﻭﻉ ﺍﺨﺭ ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺎﻀﻠﻲ ﻋﻠﻰ ﻁـﻭل ﺍﻟﻐـﺸﺎﺀ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻜﻭﺴﻴﻠﺔ ﻟﻘﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﺍﻟﻌﻨﺼﺭ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﻫﻭ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﺭﻥ ﻓﻲ ﻤﺠﻬﺎﺩ ﺫﻱ ﺜﻼﺙ ﺍﻁـﺭﺍﻑ ﺘﻭﺼـﻴل‪ .‬ﺒﺎﻟﻨـﺴﺒﺔ‬
‫ﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺩﺍﺨﻠﺔ‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﺘﻐﻴﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻻﻨﺤﺭﺍﻑ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﻭﺘﺘﺭﺠﻡ ﺍﻟﻰ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﻀﻐﻁ‪ .‬ﻤﻊ ﻏﻴﺎﺏ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺎﺕ ﺘـﺎﺜﻴﺭ ﻤﻌـﺎﻜﺱ ﻭﻗـﻭﻯ‬
‫ﻤﻀﺎﺩﺓ ﻴﻌﻨﻲ ﺩﻗﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻻﻋﺘﻤﺎﺩ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ‪.‬‬
‫ﺘﺘﻭﻓﺭ ﺍﻨﻭﻉ ﻋﺩﻴﺩﺓ ﻤﻥ ﺭﺅﺅﺱ )‪ (heads‬ﻤﺎﻨﻭﻤﺘﻴﺭ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﻭﺒﺴﻠﺴﻠﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺴﺎﺴﻴﺎﺕ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪ (5.6‬ﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﻤﻭﺩﻴل ﺍﻻﻗل ﺤﺴﺎﺴﻴﺔ ﻭﺍﻟﺫﻱ ﻴﻜﻭﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺘﺤﻤﻼ" ﻟﻠﺼﺩﻤﺎﺕ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺒﻌﺽ ﺍﻜﺜﺭ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺤﺴﺎﺴﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺘﻁﻴﻊ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﻗل ﻤﻥ ‪.10-5Torr‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.6‬ﻤﻌﺩﻻﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﺭﺅﺅﺱ ﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ‪.‬‬

‫ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺘﻘﻴﺱ ﻀﻐﻁ ﺒﻤﺒﺩﺍﺀ ﺍﻅﻬﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭﻜﺔ ﺍﻟﺘﺭﺍﻜﻤﻴﺔ ﻟﻠﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﻬﻲ ﻟﺴﺕ ﺤﺴﺎﺴﺔ ﻟﻨـﻭﻉ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‪ .‬ﺍﻟـﺸﻜل ‪ 5.7‬ﻴﻭﻀـﺢ ﺍﻟﺭﺴـﻡ‬
‫ﺍﻟﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.7‬‬
‫ﻴﺴﺘﻁﻴﻊ ﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﺍﻥ ﻴﻘﻴﺱ ﻀﻐﻁ ﺒﺸﻜل ﺩﻗﻴﻕ ﻀﻤﻥ ﻤﻌﺩل ﻀﻐﻁ ﺤﺴﺏ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﻤﺘﺤﺴﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻭ ﺍﻟﺭﺍﺱ‪ .‬ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺼﻐﻴﺭ‬
‫ﺠﺩﺍ" ﻓﻲ ﺭﺅﺅﺱ ﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺍﻟﻤﺘﺴﻌﺔ ﺍﻟﺤﺴﺎﺱ‪ ،‬ﻓﻴﻤﻜﻥ ﻟﻘﺭﺍﺀﺓ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻥ ﺘﺘﺎﺜﺭ ﺒﺘﻐﻴﺭ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻓﻲ ﺍﻟﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻤﺤﻴﻁﺔ ﺒﺭﺍﺱ ﺍﻟﺠﻬـﺎﺯ‪ .‬ﻟﻐـﺭﺽ‬
‫ﺘﻔﺎﺩﻱ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺸﻜﻠﺔ ﻴﺠﺏ ﻋﺩﻡ ﻭﻀﻊ ﺭﺍﺱ ﺍﻟﻤﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﺒﺎﻟﻘﺭﺏ ﻤﻥ ﺠﻬﺎﺯ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻁ ﺍﻴﻭﻨﻲ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺤﺎﺭ ﺍﻭ ﻤـﺼﺌﺩﺓ ﺒـﺎﺭﺩﺓ ﻟـﺴﺎﺌل‬

‫‪٤٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ .‬ﻭﻟﺘﻘﻠﻴل ﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﺩﺭﺠﺎﺕ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻋﻠﻰ ﻗﺭﺍﺀﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ ،‬ﻗﺎﻤﺕ ﺒﻌﺽ ﺸﺭﻜﺎﺕ ﺍﻟﺘﺼﻨﻴﻊ ﺒﺘﻭﻓﻴﺭ ﻤﺼﺎﺩﺭ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﻲ‬
‫ﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﻔﺎﻅ ﻋﻠﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺸﻐﻴل ﺜﺎﺒﺘﻪ‪.‬‬
‫ﺃﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ )‪:(Thermal conductivity gauges‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻤﺯﺩﻭﺝ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ )‪:(Thermocouple gauge‬‬
‫ﻴﻌﺘﺒﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﺤﺩ ﺍﻜﺜﺭ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻘﻴﺎﺱ ﺍﻟﺘﻐﻴﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﻟﻼﺴﺘﺩﻻﺀ ﻋﻠﻰ ﺍﻟـﻀﻐﻁ‪ .‬ﻴـﺘﻡ‬
‫ﺘﺠﻬﻴﺯ ﺘﻴﺎﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺜﺎﺒﺕ ﺍﻟﻰ ﺸﻌﻴﺭﺓ )‪ (filament‬ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺤﻴﺙ ﻫﻨﺎﻙ ﻤﺯﺩﻭﺝ ﺤﺭﺍﺭﻱ ﻤﻠﺤﻭﻡ ﺒﻠﺤﺎﻡ ﺍﻟﻨﻘﻁﺔ‪ .‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﻴـﺘﻡ ﺘﻘﻠﻴـل ﺍﻟـﻀﻐﻁ‬
‫ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻘﻠﻴل ﻤﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺴﻭﻑ ﺘﺭﺘﻁﻡ ﻤﻊ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻤﺴﺨﻨﺔ ﻟﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺯﻤﻥ‪ ،‬ﻭﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺴﺘﻌﻤل ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠـﺎﺕ ﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﻋﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻤﻌﺎﻴﻨﺔ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤﺯﺩﻭﺝ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ‪ ،‬ﻭﺘﺤﻭل ﺍﻟﻰ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﻗﺎﺭﺉ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ .‬ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺒﻌـﺽ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌـﺎﺕ‬
‫ﺍﻓﻀل ﺒﻤﺴﺎﻟﺔ ﺍﻟﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﺍﻻﺨﺭ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺘﻜﻭﻥ ﺤﺴﺎﺴﺔ ﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‪ .‬ﺍﻟـﺸﻜل ‪ 5.8‬ﻴﻭﻀـﺢ‬
‫ﻤﻘﻁﻊ ﻋﺭﻀﻲ ﻟﻠﺠﻬﺎﺯ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.8‬‬
‫ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺯﺩﻭﺝ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﺒﺸﻜل ﻭﺍﺴﻊ ﻓﻲ ﺼﻨﺎﻋﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺫﻟﻙ ﺒﺴﺒﺏ ﻜﻠﻔﺘﻬﺎ ﺍﻟﻭﺍﻁﺌﺔ‪ ،‬ﺴﻬﻭﻟﺔ ﻨـﺼﺒﻬﺎ‪ ،‬ﺴـﻬﻭﻟﺔ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻤﻬﺎ‪ ،‬ﺘﺤﻤﻠﻬـﺎ‬
‫ﻟﻠﺼﺩﻤﺎﺕ ﻭﺤﺠﻤﻬﺎ ﺍﻟﺼﻐﻴﺭ‪ .‬ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻓﺔ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺘﺘﻀﻤﻥ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻁ ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻟﺩﻋﻡ )‪ (foreline‬ﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‬
‫ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﺍﻫﻡ ﺍﻟﻤﺴﺎﻭﺉ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﻫﻲ ﺍﻻﺴﺘﺠﺎﺒﺔ ﺍﻟﺒﻁﻴﺌﺔ ﺍﻟﻤﻼﺯﻤﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﻐﻴﺭ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻲ ﻻﻏﻠﺏ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻤﺯﺩﻭﺝ ﺍﻟﺤـﺭﺍﺭﻱ‬
‫ﻴﻘﻊ ﺒﻴﻥ ‪ 1atm‬ﻭ ‪ .10-3Torr‬ﺘﺘﻤﻴﺯ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺒﺘﺤﻤﻠﻬﺎ ﻟﻠﺼﺩﻤﺎﺕ ﻭﻜﻭﻨﻬﺎ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻻﻋﺘﻤﺎﺩ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﻭﻟﻜﻥ ﻨﻭﻋﻴﺔ ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺘﺘﺎﺜﺭ ﺒﺸﺩﺓ )ﺘﻨﺤﻁ(‬
‫ﺍﺫﺍ ﺘﻭﺍﺠﺩ ﺃﻱ ﺴﺎﺌل ﻏﺭﻴﺏ‪ ،‬ﻤﺜل ﺯﻴﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻓﻲ ﺩﺍﺨل ﺠﺴﻡ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺤﻴﺙ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺤﺼل ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻜـﺴﻴﺭ )‪ (pyrolyzed‬ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﺤﺎﺭﺓ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺒﺸﻜل ﻋﻤﻭﺩﻱ ﻤﻊ ﻤﺩﺨل ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻭﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺴﺒﺏ ﻓﻬﻲ ﻤﻭﺠﻪ ﻨﺤﻭ ﺍﻻﺴﻔل‪.‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺒﻴﺭﺍﻨﻲ )‪:(Pirani Gauge‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﺤﺘﻭﺍﺀ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ )‪ (compensator‬ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﻤﻔﺭﻏﺔ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﺍﻗل ﻤﻥ ‪ .1Torr‬ﻭﻴﺘﻡ ﻓـﻲ ﺤﺎﻭﻴـﺔ‬
‫ﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﻤﺸﺎﺒﻬﺔ ﻤﻔﺘﻭﺤﺔ ﻋﻨﺩ ﻨﻬﺎﻴﺔ ﺍﻟﺩﺨﻭل ﻟﻠﺠﻬﺎﺯ ﺍﺤﺘﻭﺍﺀ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ )‪ .(gauge filament‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﺘﺘﻌﺭﺽ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻰ ﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﺸـﻌﻴﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ ،‬ﺘﺘﻌﺭﺽ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻤﺴﺨﻨﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺘﻴﺎﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺜﺎﺒﺕ‪ ،‬ﺍﻟﻰ ﺘﻐﻴﺭ ﻓﻲ ﻤﻘﺎﻤﻭﻤﺘﻬﺎ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻭﺘﻘﺎﺱ ﺘﻠﻙ ﺒﺎﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ ﺩﺍﺌـﺭﺓ‬
‫ﻗﻨﻁﺭﺓ ﻭﺍﻁﺴﻭﻥ ﻭﻴﺘﻡ ﻋﺭﺽ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻋﻠﻰ ﻗﺎﺭﺉ ﺨﺎﺭﺠﻲ‪ .‬ﻭﻜﻤﺎ ﻤﻊ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻘﻴﺎﺱ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﻴﺱ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻟﻠﻐـﺎﺯﺍﺕ‪،‬‬
‫ﻓﺎﻥ ﺠﻬﺎﺯ ﺒﻴﺭﺍﻨﻲ ﻻﻴﻘﺭﺍﺀ ﺍﻟﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺒﺸﻜل ﺘﻠﻘﺎﺌﻲ‪ .‬ﺍﺫ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻭﻗﺕ ﻟﻠﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺨﻨﺔ ﻟﺘﺴﺘﺠﻴﺏ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻓﻲ ﻤﺤﻴﻁﻬـﺎ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.9‬ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺒﻴﺭﺍﻨﻲ )ﺍﻻﻋﻠﻰ( ﻭﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ )ﺍﻻﺴﻔل(‪.‬‬

‫‪٤٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.9‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺤﻤل )‪:(Convetron gauge‬‬
‫ﺘﺤﻭﻴﺭ ﻤﻔﻴﺩ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﻴﺴﻤﺢ ﺒﻘﻴﺎﺱ ﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﻤل ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻭﻁ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪ ،‬ﻭﺯﻴﺎﺩﺓ ﻤﻌﺩل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠـﻭﻱ‪ .‬ﻴﺤﺘـﻭﻱ‬
‫ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺒﺸﻜل ﻨﻤﻭﺫﺠﻲ ﻋﻠﻰ ﻭﺍﻴﺭ ﻤﺘﺤﺴﺱ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻨﻜﺴﺘﻥ ﻤﻁﻠﻲ ﺒﺎﻟﺫﻫﺏ ﻤﺤﺎﻁ ﺒﺎﺴﻁﻭﺍﻨﺔ ﻤﻐﻁﺎﺓ ﺒﻁﺒﻘﺔ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﻠﺤـﺭﺍﺭﺓ )‪ .(kovar wire‬ﺍﻥ‬
‫ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺴﻁﻭﺍﻨﺔ ﺍﻟﺤﺎﻓﻅﺔ ﻟﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺴﺎﻋﺩ ﻓﻲ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭﺓ ﻓﻲ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﺤﻴﻁﺔ ﻋﻠﻰ ﻗﺭﺍﺀﺍﺕ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺤﺠﻡ ﺍﻟﻜﺒﻴـﺭ‬
‫ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺤﺎﻓﻅﺔ ﺘﻭﻓﺭ ﻓﺭﺍﻍ ﻟﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﻤل ﻟﺘﺘﻁﻭﺭ ﻋﻨﺩ ﻜﺜﺎﻓﺎﺕ ﻏﺎﺯ ﻋﺎﻟﻴﺔ )‪ 1Torr‬ﺍﻟﻰ ‪ ،(1atm‬ﻭﺘﺤﺴﻥ ﻜﻔﺎﺀﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻋﻨﺩ ﻨﻬﺎﻴﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻌـﺎﻟﻲ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻲ‪ .‬ﺒﺴﺒﺏ ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﻤل ﻟﻼﺴﺘﺩﻻﺀ ﺒﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ ،‬ﻟﺫﻟﻙ ﻓﺎﻥ ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﺘﻬﻴﺌـﺔ )‪ (Orientation‬ﺍﻟﺠﻬـﺎﺯ‬
‫ﻤﻬﻤﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﺠﺴﻡ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺤﻤل ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﺒﺸﻜل ﺍﻓﻘﻲ ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﺒﻴﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪.5.10‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.10‬‬
‫‪٥٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪:(Gas ionization gauges‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﻨﺘﺎﺝ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻤﻥ ﻗﺩﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻤﺘﺴﺒﺏ ﻤﻥ ﺘﺼﺎﺩﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻤﻊ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ .‬ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﺘﻲ‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﻤﻨﺎﻗﺸﻨﻬﺎ ﻫﻨﺎ ﻤﺼﻤﻤﺔ ﻟﻼﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻓﻲ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﺘﻭﺴﻁ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )‪.(10-3 to 10-10Torr‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺤﺎﺭ )‪:(Hot cathode ionization gauge‬‬
‫ﻭﻴﺩﻋﻰ ﺒﺠﻬﺎﺯ ﺒﺎﻴﺭﺩ‪-‬ﺍﻟﺒﺭﺕ )‪ ،(Bayard-Alpert‬ﻭﻴﺘﻤﻴﺯ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺒﺒﺴﺎﻁﺘﻪ ﻭﻴﻤﻜﻥ ﺍﻻﻋﺘﻤﺎﺩ ﻋﻠﻴﻪ ﻭﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺒﺸﻜل ﻭﺍﺴﻊ ﻓﻲ ﺼﻨﺎﻋﺎﺕ ﻋﻤﻠﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻼﺜﻲ )ﺒﺜﻼﺙ ﺍﻗﻁﺎﺏ( ﺴﻬل ﺍﻟﻔﻬﻡ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻓﺤﺼﻨﺎ ﻜل ﻤﻜﻭﻥ ﺒﺸﻜل ﻤﻨﻔﺼل‪ ،‬ﻭﻤﻁﻠﻌﻴﻥ ﻋﻠﻰ ﻋﻤل ﻤﻜﻭﻨﺎﺘﻪ ﻭﻤـﻥ ﺜـﻡ‬
‫ﻨﺭﻯ ﻜﻴﻑ ﺘﻌﻤل ﻤﻊ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ‪ .‬ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﻫﻨﺎ ﻫﻲ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﺸﺭﻴﻁ ﺭﻗﻴﻕ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻨﻜﺴﺘﻥ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻤﻠﻑ ﺍﻭ ﻤﻘﻠﻭﺏ ﺤﺭﻑ )‪ .(V‬ﻴﻤﺭﺭ ﺘﻴـﺎﺭ‬
‫ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺫﻱ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻭﺍﻁﺌﺔ ﻤﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﻗﺩﺭﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺨﻼل ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺤﻴﺙ ﺘﺴﺨﻥ ﺒﻨﻔﺱ ﻁﺭﻴﻘﺔ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﻓﻲ ﻤـﺼﺒﺎﺡ ﺍﻟـﻀﻭﺀ ﺍﻟﻤﺘـﻭﻫﺞ‬
‫)ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻫﻲ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ .(1800oC‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟﻀﻭﺀ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟـﺸﻌﻴﺭﺓ ﺘﺒﻌـﺙ ﻜﻤﻴـﺎﺕ ﻜﺒﻴـﺭﺓ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺘﻁﻴﻊ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ ﻤﻊ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ ﻴﻨﺒﻌﺙ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻤﻥ ﺫﺭﺓ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻟﺘﺠﻌﻠﻪ ﺍﻴﻭﻨﺎ"‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.11‬ﻴﻭﻀـﺢ ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.11‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺍﺠﺘﺫﺍﺏ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺸﺒﻜﺔ ﺤﻠﺯﻭﻨﻴﺔ )"‪ (helical "grid‬ﺍﻭ ﺠﺎﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ )‪ (electron collector‬ﺍﻟﺫﻱ ﻴـﺘﻡ ﺍﺒﻘﺎﺌـﻪ‬
‫ﺘﺤﺕ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻤﻭﺠﺒﺔ ﻋﻨﺩ ﺤﻭﺍﻟﻰ ‪ 150V‬ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ‪ .‬ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻻﻀﺎﻓﻴﺔ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺠﺎﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻫـﻭ‬
‫ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺎﻴﻥ ﻜﻔﻭﺀﺓ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ .‬ﺍﺨﻴﺭﺍ"‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﺘﺠﻤﻴﻊ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺘﻭﻟﺩﺓ ﻋﻨﺩ ﺠﺎﻤﻊ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﻤﺸﻐل ﻋﻨﺩ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻗﻴﻤﺘﻬـﺎ ﺼـﻔﺭ‬
‫ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺠﺎﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.12‬ﻴﻭﻀﺢ ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻠﺠﻬﺎﺯ ﻭﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.12‬‬

‫‪٥١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻲ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺤﺎﺭ ﻴﻘﻊ ﻀﻤﻥ )‪ .(10-3-10-9Torr‬ﺘﺘﻤﻴﺯ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺒﺼﻐﺭ ﺤﺠﻤﻬﺎ‪ ،‬ﺴﻬﻠﺔ ﻨﺴﺒﻴﺎ" ﻓﻲ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻭﺩﻗﻴﻘـﺔ‬
‫ﺍﻟﻰ ‪ ±10%‬ﻟﻠﻘﺭﺍﺀﺓ ﻋﻨﺩ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻤﺼﻤﻡ ﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻬﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﻭﺠﻭﺩ ﻤﻠﻭﺜﺎﺕ )ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﻴﺔ‪ ،‬ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪... ،‬ﺍﻟﺦ( ﺭﺒﻤﺎ ﻴﻭﺩﻱ ﺍﻟﻰ‬
‫ﻋﺭﻗﻠﺔ ﻋﻤل ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺒﺸﻜل ﺼﺤﻴﺢ‪ .‬ﺍﺫﺍ ﺤﺼل ﻫﺫﺍ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻰ ﺴـﺎﺒﻕ ﻋﻬـﺩﻩ ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﺍﺠـﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﻁـﺭﺩ ﻟﻠﻐـﺎﺯﺍﺕ‬
‫)‪ (degassing‬ﺤﻴﺙ ﻴﺠﻬﺯ ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﺩﺍﺕ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻟﻠﺘﺨﻠﺹ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻠﻭﺜﺎﺕ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺭﻏﻭﺒﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻓﻲ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﺘﻭﻓﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﻤﻨﻊ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺘﻠﻑ ﺍﻟﺠﻬـﺎﺯ‪.‬‬
‫ﺯﻤﻥ ﺍﻻﺴﺘﺠﺎﺒﺔ ﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺴﺭﻴﻌﺔ‪ ،‬ﻭﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺨﺎﺼﻴﺔ ﻟﻠﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻭﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.13‬ﻴﺒﻴﻥ ﻨﻭﻋﺎﻥ ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺤﺎﺭ ﻭﻫﻤﺎ ﺍﻟﻤﻐﻠﻑ )‪ (gas envelope‬ﻭﺍﻟﻤﻜﺸﻭﻑ )‪.(nude‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 5.13‬ﻴﺒﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻜﺸﻭﻑ )ﺍﻻﻴﻤﻥ( ﻭﺍﻟﻤﻐﻠﻑ )ﺍﻻﻴﺴﺭ( ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﺎﻴﻥ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻤﻜﺸﻭﻑ ﻴﻜﻭﻥ ﺍﻗل ﺍﺴﺘﻌﻤﺎﻻ"‪ ،‬ﺍﺫ ﻴﻜﻭﻥ ﺒﺎﺭﺯﺍ" ﺍﻟﻰ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺭﺒﻤﺎ ﻴﺘﺩﺍﺨل ﻤﻊ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺠﺭﺍﺓ ﺩﺍﺨﻠﻪ‪.‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ )‪:(Cold cathode ionization gauge‬‬
‫ﻴﻌﻤل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﻀﻤﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻭﺴﻁ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ )‪ .(10 to 10-8Torr‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﺍﻗﻁﺎﺏ ﻋﻨﺩ ﺠﻬﻭﺩ‬
‫‪-3‬‬

‫ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 10 kV‬ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺎﻴﻴﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﺠﺴﻡ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺭﻏﺎﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﻁﻠﻘﺔ ﻟﻠﺩﻭﺭﺍﻥ ﻀﻤﻥ ﻤﺴﻠﻙ ﺤﻠﺯﻭﻨﻲ ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﻤﺠـﺎل‬
‫ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻗﻭﻱ ﻤﺠﻬﺯ ﻤﻥ ﻗﺒل ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺩﺍﺌﻡ ﺨﺎﺭﺠﻲ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺴﻭﻑ ﻴﺯﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ ﺘﺼﺎﺩﻡ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺒﺎﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺩﺍﺭ ﻭﺘـﺼﺒﺢ ﻤﺘﺎﻴﻨـﺔ‬
‫ﻭﻴﻤﻜﻥ ﻻﺤﻘﺎ" ﻋﺩﻫﺎ )‪ .(counted‬ﺍﻥ ﺩﻗﺔ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺘﺎﺜﺭ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﺒﻭﺠﻭﺩ ﺒﻴﺌﺔ ﻏﻴﺭ ﻨﻅﻴﻔﺔ‪ ،‬ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﻋﺩﺩ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨـﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻅﺭﻭﻑ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻔﻜﻴﻙ ﺒﻌﺽ ﻤﻭﺩﻴﻼﺕ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ ﻭﺘﻨﻅﻴﻔﻬﺎ‪ ،‬ﻭﻟﻜﻥ ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﺨﻼل‬
‫ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺠﻤﻴﻊ‪ ،‬ﺍﺫ ﺍﻥ ﺃﻱ ﺨﻠل ﻓﻲ ﺍﻟﺘﺭﺼﻴﻑ ﻟﻼﻗﻁﺎﺏ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺍﻋﻁﺎﺀ ﻗﺭﺍﺀﺍﺕ ﻀﻐﻁ ﺨﺎﻁﺌﺔ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ‪ 5.14‬ﻴﻭﻀﺢ‬
‫ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.14‬‬

‫‪٥٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﻌﺯﻡ )‪:(Momentum transfer pressure gauge‬‬
‫ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟﻤﻐﺯﻟﻲ )‪:(Spinning rotor gauge‬‬
‫ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﺒﺩﺃ ﺍﻟﺴﺤﺏ )‪ (drag‬ﺍﻟﻤﺘﺴﺒﺏ ﻤﻥ ﻀﺭﺏ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻟﺴﻁﺢ ﻜﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺘﺩﻭﺭ ﻭﺘﺴﺒﺢ ﺒﺘﺎﺜﻴﺭ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻟﻼﺴﺘﺩﻻﺀ‬
‫ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ .‬ﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻟﺠﻬﺎﺯ ‪ SRG‬ﺘﺠﻠﺏ ﺍﻟﻜﺭﺓ ﺍﻟﺴﺎﺒﺤﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺍﻟﻰ ﺴﺭﻋﺔ ﺩﻭﺭﺍﻥ ﺤﻭﺍﻟﻰ ‪ 400RPM‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤـﻥ‬
‫ﻤﻠﻔﺎﺕ ﻜﻬﺭﻭﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻴﺔ‪ .‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﺘﺼل ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﺜﺎﺒﺘﻪ )ﻤﻘﺎﺴﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﻤﻠﻔﺎﺕ ﺍﻟﻔﺤﺹ(‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﺍﻁﻔﺎﺀ ﻤﻠﻔﺎﺕ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴـل‪،‬‬
‫ﻭﻴﺴﻤﺢ ﻟﻠﻜﺭﺓ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫﻴﺔ ﺒﺎﻻﻨﺴﻴﺎﺏ )‪ .(coast‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻨﺨﻔﺎﺽ ﺩﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟﻜﺭﺓ ﻫﻭ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺘﺭﻜﻴﺒﻬﺎ )‪ .(composition‬ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘـﺎﻟﻲ‬
‫)‪ (5.15‬ﻴﻭﻀﺢ ﻤﻘﻁﻊ ﻋﺭﻀﻲ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪5.15‬‬
‫ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﺍﻟﻤﻐﺯﻟﻲ ﻴﻘﻊ ﺒﻴﻥ )‪ .(10-2 to 10-7 Torr‬ﻴﺘﻤﻴﺯ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺒﺴﻬﻭﻟﺔ ﻜـﺴﺭﻩ )‪ ،(delicate‬ﻤﻜﻠـﻑ‪ ،‬ﻭﻴﺘﻁﻠـﺏ‬
‫ﺍﻻﻨﺘﻅﺎﺭ ﺒﻀﻊ ﺩﻗﺎﺌﻕ ﻟﻜل ﻗﺭﺍﺀﺓ ﻀﻐﻁ‪ .‬ﻟﺫﻟﻙ ﻓﺎﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﺎﺘﻪ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﻤﻌﺎﻴﺭﺓ ﺒﺎﻗﻲ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪ ،‬ﻭﻓﻲ ﻗﻴﺎﺴﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪.‬‬

‫‪٥٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٦‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ )‪(Mechanical Vacuum Pumps‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺍﺴﺘﻌﺭﺍﺽ ﺍﻟﻤﺒﺎﺩﺉ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻟﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺸﺎﺌﻌﺔ ﺍﻻﺴﺘﻌﻤﺎل‪ ،‬ﻭﺘﻭﻓﻴﺭ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﻋﻥ ﺍﺩﺍﺌﻬﺎ‬
‫ﻭﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺘﻬﺎ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺔ‪ ،‬ﻭﺸﺭﺡ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﺼﻴﺎﻨﺔ ﺍﻟﻭﻗﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﻬﺎ‪ .‬ﻟﻘﺩ ﺘـﻡ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺇﺯﺍﺤـﺔ ﺍﻟﻐـﺎﺯ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒـﺔ ‪(Positive gas‬‬
‫)‪ displacement pumps‬ﻟﻨﻭﻉ ﻭﺍﺤﺩ ﺍﻭ ﺍﻜﺜﺭ ﻤﻨﺫ ﻋﺎﻡ ‪ .!١٦٤٠‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺘﻘﺭﻴﺒﺎ" ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻘﺩﻴﻤﺔ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻤﻊ ﺍﻨﺎﺒﻴـﺏ‬
‫ﺯﺠﺎﺠﻴﺔ ﻭﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻟﺘﻭﻟﻴﺩ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺤﺩﻴﺜﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻭﺼﻑ ﺒﺎﻟﻘﻭﺓ ﺍﻟﻌﺎﻤﻠﺔ ﻟﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ؛ ﻭﺘﺘﻤﻴـﺯ ﺒﻜﻭﻨﻬـﺎ ﺒـﺴﻴﻁﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ‪ ،‬ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ‪ ،‬ﻏﻴﺭ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﻨﺴﺒﻴﺎ" ﻭﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻌﻤل ﻟﻔﺘﺭﺍﺕ ﻁﻭﻴﻠﺔ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻥ ﺘﻌﻁل‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺘﻲ ﻤﺭﺕ ﻋﻠﻴﻨﺎ‬
‫ﺘﺸﺘﻐل ﺒﺸﻜل ﻤﺴﺘﻤﺭ ﻟﺨﻤﺴﺔ ﻋﺸﺭ ﺴﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﺤﺘﻤﺎل ﺘﺒﺩﻴل ﺍﻟﺯﻴﺕ ﻟﻤﺭﺍﺕ ﻤﺤﺩﻭﺩﺓ!‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺴﺭﻉ ﺍﻟﺘﻔﺭﻍ ﻟﻠﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﺍﻟﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﺘﻌﻤل ﻤﻥ‬
‫ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 0.5liter/sec‬ﺍﻟﻰ ﺍﻜﺜﺭ ﻤﻥ ‪.300liter/sec‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﻨﻭﻋﻴﻥ ﺍﺴﺎﺴﻴﻴﻥ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺩﺩﻴﺔ )‪.(reciprocating pumps‬‬
‫‪ (٢‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪.(rotary pumps‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻴﻀﺎ" ﺘﺼﻨﻴﻑ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺤﺴﺏ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﻋﺩﺩ ﺍﻟﻤﺭﺍﺤل )ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺔ(‪.‬‬
‫‪ (٢‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻟﺘﺭﺩﺩﻴﺔ‪.‬‬
‫‪ (٣‬ﺍﻟﻭﺴﻴﻠﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﻓﻴﻬﺎ ﺍﺩﺍﺭﺓ ﻤﺎﻜﻨﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ )ﺍﺩﺍﺭﺓ ﻤﺒﺎﺸﺭﺓ ﺍﻭ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺤﺯﺍﻡ ﻨﺎﻗل(‪.‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﺍﺩﻨﺎﻩ ﻓﺘﺠﺩ ﻨﺒﺫﺓ ﻋﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺤﺩﻴﺜﺔ ﻭﺍﻫﻤﻬﺎ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‪ .‬ﻭﺘﻘﺴﻡ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻟﺘﺭﺩﺩﻴﺔ‪:‬‬
‫ﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ )‪(diaphragm‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ )‪.(piston‬‬
‫‪ (٢‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ‪.‬‬
‫ﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺤﻠﻘﻴﺔ ﺍﻟﺴﺎﺌﻠﺔ )‪.(liquid ring‬‬
‫‪ -٢‬ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﻤﻨﺯﻟﻘﺔ )‪.(sliding vane‬‬
‫‪ -٣‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﺘﻌﺩﺩﺓ ﺍﻟﺭﻴﺵ )‪(multi vane‬‬
‫‪ -٤‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪(rotary piston‬‬
‫‪ -٥‬ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻐﻁﺱ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪.(rotary plunger‬‬
‫‪ -٦‬ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺘﺩﻭﻴﺭ ﺍﻭ ﺭﻭﻭﺘﺱ )‪.(root‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻜﺘﺎﺏ ﻓﺴﻭﻑ ﻨﻬﺘﻡ ﺒﻨﻭﻋﻴﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺯﻴﺘﻴﺔ ﺍﻟﻤﺨﺘﻭﻤﺔ )‪:(oil sealed‬‬
‫‪ -١‬ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﻤﻨﺯﻟﻘﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪.(sliding vane rotary pump‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪.(rotary piston pump‬‬
‫ﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(theory of operation‬‬
‫ﺘﻌﻤل ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺒﻤﺒﺩﺍﺀ ﺍﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ‪ ،‬ﺃﻱ ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺒﺸﻜل ﺩﻭﺭﻱ ﺘﺨﻠﻕ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﻭﻨﻘﺼﺎﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﺠـﻭﻡ‬
‫ﻻﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪ ،‬ﻭﻁﺭﺤﻬﻡ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﻭ‪ .‬ﻓﻲ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻟﺘﺼﺎﻤﻴﻡ‪ ،‬ﻴﺘﺤﺭﻙ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭ )‪ (rator‬ﺍﻟﻤﺩﺍﺭ ﺒﺎﻟﻤـﺎﻁﻭﺭ ﺩﺍﺨـل ﺍﻟﺠـﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒـﺕ‬
‫)‪ (stator‬ﺍﻻﺴﻁﻭﺍﻨﻲ ﺫﻱ ﺍﻟﻘﻁﺭ ﺍﻟﻜﺒﻴﺭ‪.‬‬

‫‪٥٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ )‪ :(Compression Raio‬ﻨﺴﺒﺔ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻁﺭﻭﺡ )‪) (exhaust pressure‬ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ(‪ ،‬ﺍﻟﻰ ﻀـﻐﻁ ﺍﻻﺴـﺎﺱ‬
‫)‪) (base pressure‬ﺍﻗل ﻀﻐﻁ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﺤﺼﻭل ﻋﻠﻴﻪ ﻤﻥ ﻤﺩﺨل ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ(‪.‬‬
‫ﻤﺜﺎل‪:‬‬
‫ﺍﺫﺍ ﺍﺴﺘﺨﺩﻤﺕ ﻤﻀﺨﺔ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻭﺍﻋﻁﺕ ﻀﻐﻁ ﺍﺴﺎﺱ ﻗﻴﻤﺘﻪ ‪ ،15mTorr‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﻟﻬﺎ‪:‬‬

‫ﻫﻨﺎﻙ ﻁﺭﻴﻘﺔ ﺸﺎﺌﻌﺔ ﻟﺘﻘﺩﻴﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺔ ﻫﻭ ﺍﻟﻘﻭل ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﺍﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﻤﻘﺩﺍﺭﻫﺎ ‪.51,000:1‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ‪ ،1Torr‬ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﺴﺭﻋﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺜﺎﺒﺘﻪ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﺍﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺘﻨﺨﻔﺽ ﺒﺸﻜل ﺴﺭﻴﻊ ﺘﺤﺕ ﻫـﺫﺍ‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻭﺘﺼل ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﺼﻔﺭ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻴﺯﻭﺩ ﺍﻏﻠﺏ ﻤﺼﻨﻌﻲ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻤﻊ ﻜﺘﻠﻭﻜﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺘﺞ ﺍﻟﺨﺎﺼﺔ ﺒﻬﻡ‬
‫ﻤﻨﺤﻴﺎﺕ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ )‪ (pump speed curve‬ﻭﺍﻟﺨﺎﺼﺔ ﺒﺎﺩﺍﺀ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﺩﻨﺎﻩ‪.‬‬

‫ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺫﻱ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪:(rotary Van Mechanical VP‬‬

‫ﺘﺤﺘﻭﻱ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ‪ ،‬ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ"‪ ،‬ﻋﻠﻰ ﺠﺯﺀ ﺩﻭﺍﺭ ﻤﺩﺍﺭ ﺒﻤﺎﻁﻭﺭ )ﺍﻤﺎ ﺒﺤﺯﺍﻡ ﻨﺎﻗل )‪ (belt‬ﺍﻭ ﻤﺩﺍﺭﺓ ﺒﺸﻜل ﻤﺒﺎﺸﺭ )‪ ،((direct‬ﻭﺘﻤﻠـﻙ‬
‫ﻭﺍﺤﺩﺓ ﺍﻟﻰ ﺜﻼﺙ ﺭﻴﺵ ﻤﻨﺯﻟﻘﺔ )‪ (sliding vanes‬ﺘﺤﺎﻓﻅ ﻋﻠﻰ ﺘﻤﺎﺱ ﻤﺒﺎﺸﺭ ﻤﻊ ﺍﻟﺠﺩﺍﺭ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﻟﻠﺠﺯﺀ ﺍﻻﺴﻁﻭﺍﻨﻲ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ‪ .‬ﺘﺼﻨﻊ ﺍﻟـﺭﻴﺵ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺩﻥ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺯﻴﺕ ﺍﻟﻤﺨﺘﻭﻤﺔ ﻭﻤﻥ ﺍﻟﻜﺎﺭﺒﻭﻥ ﻟﻠﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﻗﻭﺓ ﺩﻓﻊ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﻤﺭﻜﺯ ﺘﺅﺜﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﻓﻲ ﺍﻟﺠـﺯﺀ ﺍﻟـﺩﻭﺍﺭ‬
‫ﻟﻐﺭﺽ ﺩﻓﻌﻬﺎ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﺍﻟﻤﺤﻜﻡ ﻟﻠﺠﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﺠﻬﻴﺯ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺒﻨﻭﺍﺒﺽ ﻟﺘﻌﺯﻴﺯ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﻌل‪.‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻘﺴﻴﻡ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ )‪ (single stage‬ﺍﻭ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺘﻴﻥ )‪ .(double stage‬ﺘﺘﻤﻴﺯ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ‬
‫ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ ﺒﺒﺴﺎﻁﺘﻬﺎ‪ ،‬ﻭﺘﻤﻠﻙ ﺠﺯﺀ ﺩﻭﺍﺭ ﻭﺠﺯﺀ ﺜﺎﺒﺕ ﻭﺍﺤﺩ ﻭﻜﻤﺎ ﺍﻨﻬﺎ ﺍﻗل ﻜﻠﻔﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻊ ﻤﻥ ﻤـﻀﺨﺔ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴـﺔ ﺫﻱ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠـﺔ‬
‫ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ ﺠﻴﺩﺓ ﻫﻭ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ .20mTorr‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺘﻴﻥ‪ ،‬ﻤﻴﻨﺎﺀ ﺍﻟﻌﺎﺩﻡ ﻟﻠﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻻﻭﻟﻰ ﻴﺘﺼل ﻤﻊ ﻤﻴﻨﺎﺀ ﺍﻟـﺩﺨﻭل ﻟﻠﻤﺭﺤﻠـﺔ ﺍﻟﺜﺎﻨﻴـﺔ‬
‫ﻭﺍﻟﺫﻱ ﻴﻁﺭﺤﻪ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﻭﻱ‪ .‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺘﻴﻥ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺼل ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﺍﺴﺎﺱ ﺍﻟﻰ ‪ 1-2mTorr‬ﻭﻟﻜﻨﻬﺎ ﺍﻜﺜﺭ ﻜﻠﻔـﺔ ﻤـﻥ ﻤـﻀﺨﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 6.1‬ﻴﻭﻀﺢ ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻤﺒﺴﻁ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺭﻴﺵ ﺩﻭﺍﺭﺓ ﺯﻴﺘﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﺫﻱ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ )ﺍﻻﻴـﺴﺭ( ﻭﺫﻱ ﺍﻟﻤـﺭﺤﻠﺘﻴﻥ‬
‫)ﺍﻻﻴﻤﻥ(‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪6.1‬‬

‫‪٥٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻠﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﻤﺭﻜﺏ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ )ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﻤﻌﻠﻤﺔ ‪ (١‬ﺘﻌﻤل ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﺍﻗل ﺒﺴﺒﺏ ﻋﺩﻡ ﺍﻟﺘﻌﺭﺽ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﺠﺯﺌﻴـﺔ‬
‫ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅﺔ ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺠﻬﻴﺯ ﺍﻟﻘﻠﻴل ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻴﺕ ﺍﻭ ﻋﺩﻡ ﻭﺠﻭﺩﻩ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻻﻭﻟـﻰ ﻓـﻲ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﻗل ﻴﻤﻜﻥ‪ ،‬ﻋﻤﻠﻴﺎ"‪ ،‬ﺍﻥ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺼﻌﻭﺒﺎﺕ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻓﻲ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﺼﺤﻴﺢ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺭﻜﺒـﺔ‪ .‬ﻴﺨـﺩﻡ ﻭﺠـﻭﺩ‬
‫ﺍﻟﺯﻴﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺯﻴﺘﻴﺔ ﺍﻟﻤﺤﻜﻤﺔ ﻓﻲ ﺜﻼﺙ ﻨﺘﺎﺌﺞ ﻤﻬﻤﺔ‪:‬‬

‫‪ (١‬ﻴﻭﻓﺭ ﺍﺤﻜﺎﻡ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﻋﻨﺩ ﻋﺎﺩﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪.‬‬

‫‪ (٢‬ﻴﻌﻤل ﻜﺯﻴﺕ ﺘﺸﺤﻴﻡ‪.‬‬
‫‪ (٣‬ﻴﻭﻓﺭ ﻤﺼﺩﺭ ﺘﺒﺭﻴﺩ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 6.2‬ﻴﺒﻴﻥ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺨﻁﻁﺎﺕ ﺘﻭﻀﺢ ﺍﻟﺘﺴﻠﺴل ﻓﻲ ﺩﻭﺭﺓ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻨﻔﺭﺩﺓ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ‪ .‬ﻻﺤﻅ ﻜﻴﻑ ﺘﻌﻤل ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ‬
‫ﻤﻊ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ ﻟﺨﻠﻕ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﻭﻨﻘﺼﺎﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﺠﻭﻡ ﻓﻲ ﻜل ﺩﻓﻌﺔ )‪ .(stroke‬ﻻﺤﻅ ﺍﻴﻀﺎ" ﻜﻴﻑ ﻴﺘﻡ ﻓﺘﺢ ﻭﻏﻠـﻕ ﺼـﻤﺎﻡ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴـﻎ ‪(discharge‬‬
‫)‪ vlave‬ﻓﻲ ﻜل ﺩﻭﺭﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪6.2‬‬
‫ﺘﺸﻐل ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﺩﺍﺭﺓ ﺒﺤﺯﺍﻡ ﻨﺎﻗل ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﻋﻨﺩ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ ،400-600RPM‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﺍﻟﻤﻭﺩﻴﻼﺕ ﺍﻟﻤﺩﺍﺭﺓ ﻤﺒﺎﺸﺭﺘﺎ" ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﺩﻭﺭ ﺒﺴﺭﻋﺔ‬
‫‪ .1500-1725 RPM‬ﺍﻥ ﺍﻏﻠﺏ ﻤﺸﺎﻜل ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻌﻭﺩ ﺍﻟﻰ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﺍﻟﺯﻴﺕ ﺍﻟﻔﻘﻴﺭﺓ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﻘﻭل ﺍﻥ ﺤـﻭﺍﻟﻲ ‪ 95%‬ﻤـﻥ‬
‫ﺠﻤﻴﻊ ﻤﺸﺎﻜل ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺤل ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺘﻨﻔﻴﺱ )‪ (flushing‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺘﺒﺩﻴل ﺍﻟﺯﻴﺕ‪ .‬ﺒﺴﺒﺏ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻟﺴﻤﺎﺤﻴﺔ ﺍﻟﻘﺭﻴﺒﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺭﻴﺵ‬
‫ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺩﻗﺎﺌﻕ ﺍﻟﺼﻠﺒﺔ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺴﺒﺏ ﺘﺨﺩﻴﺵ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﻤﺤﻜﻤﺔ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﻤﺴﺒﺒﺘﺎ" ﻫﺒﻭﻁﺎ" ﻓﻲ ﺍﺩﺍﺀ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺴﺒﺏ‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻟﺘﻘﻠﻴل ﺩﺨﻭل ﻤﺜل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺩﻗﺎﺌﻕ‪ .‬ﺘﻘﻭﻡ ﺍﻟﻌﺩﺒﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﺭﻜﺎﺕ ﺒﺎﻨﺘﺎﺝ ﻤﻨﺎﺨل ﺼﻐﻴﺭﺓ ﻭﻤﺭﺸﺤﺎﺕ ﺘﻭﻀﻊ ﻋﻠﻰ‬
‫ﻤﺩﺨل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻟﺘﺤﻘﻴﻕ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻬﺩﻑ‪.‬‬

‫‪٥٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ )‪:(Rotary piston mech. vacuum pumps‬‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ )ﺍﻭ ﺍﻟﻐﺎﻁﺴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ( ﺍﻟﻤﺒﻴﻨﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 6.3‬ﺘﻌﻤل ﺒﻤﺒﺩﺍﺀ ﺍﻻﺯﺍﺤﺔ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ‪ .‬ﻋﻨـﺩ ﻜـل ﺩﻭﺭﺓ‪ ،‬ﻴﻌﻤـل‬
‫ﺍﻟﻤﻜﺒﺱ ﺒﺤﺭﻜﺔ ﻻﺘﻤﺭﻜﺯﻴﺔ )‪ (eccentric‬ﺩﻭﺍﺭﺓ ﻤﻊ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻻﻨﺯﻻﻗﻲ )‪ (sliding valve‬ﺒﺴﺤﺏ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ‪ ،‬ﻀﻐﻁﻪ ﻭﻁﺭﺩ ﺍﻟﻐﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﻭ‪ .‬ﻭﻜﻤﺎ ﻓﻲ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺭﻴﺵ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻭﺠﺩ ﺒﻤﺭﺤﻠﺔ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﺍﻭ ﻤﺭﻜﺒﺔ‪ .‬ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﻟﻬﺫﺍ‬
‫ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻴﻜﻭﻥ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺒﺤﺩﻭﺩ ‪ .600-800 RPM‬ﺴﻤﺎﺤﻴﺔ ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ ﺒﻴﻡ ﺍﻟﺠﺯﺀ ﺍﻟﺜﺎﺒﺕ ﻭﺍﻟﻤﻜﺒﺱ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ ﻴﻜﻭﻥ ﺒﺤﺩﻭﺩ ‪0.003-‬‬
‫"‪ .0.004‬ﺒﺴﺒﺏ ﻫﺫﺍ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺘﺤﻤﻼ" ﻟﻭﺠﻭﺩ ﺩﻗﺎﺌﻕ ﻤﻠﻭﺜﺔ ﻓﻴﻬﺎ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﺯﻴﺕ ﺫﻱ ﻟﺯﻭﺠﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺒﺴﺒﺏ ﺍﻟﺴﻤﺎﺤﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﻓﻲ ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ‪ .‬ﻭﻋﺎﺩﺓ" ﻤﺎﻴﺘﻡ ﺘﺒﺭﻴﺩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻟﺩﻭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻀﺨﻤﺔ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻟﺯﻴﺎﺩﺓ ﻋﻤﺭﻫﺎ ﻭﺘﺤﺴﻴﻥ ﺍﺩﺍﺌﻬﺎ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪6.3‬‬
‫ﻤﻭﺍﺌﻊ ﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ )‪:(Mechanical vacuum pump fluids‬‬
‫ﺍﻥ ﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ﻴﻜﻭﻥ ﺒﺎﻫﻤﻴﺔ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ‪ .‬ﻓﻲ ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻴﻭﻡ‪ ،‬ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﻏﻴﺭ ﻤﺘﻁﺎﺒﻘـﺔ ﻤـﻊ ﺯﻴـﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻬﺎﻴﺩﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﻲ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻲ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ"؟ ﺍﺫﺍ ﻜﻨﺕ ﺘﺠﺭﻱ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻴﻬﺎ ﻜﻤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻓﺎﻥ ﺯﻴﺕ ﻤﻀﺨﺔ ﺼـﻨﺎﻋﻲ ﻗﻠﻴـل‬
‫ﺍﻟﻔﻌﺎﻟﻴﺔ ﻤﻊ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻫﻭ ﺍﻻﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ ‪ .‬ﺍﺫﺍ ﺍﺨﺘﺭﺕ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﺜﺎل ﺯﻴﺕ ﻫﺎﻴﺩﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﻲ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﻤـﺯﻴﺞ ﻤﺘﻔﺠـﺭ ﻤـﻊ‬
‫ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻭﺒﺨﺎﺭ ﺯﻴﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺤﺎﺭ ﻭﺍﺭﺩ ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﺒﺸﻜل ﻤﺸﺎﺒﻪ‪ ،‬ﺍﺫﺍ ﺘﻀﻤﻨﺕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺠﺭﺍﺕ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻏﺎﺯﺍﺕ ﻓﻌﺎﻟﺔ ﻴﺠﺏ ﻫﻨﺎ ﺍﻟﺘﻔﻜﻴﺭ ﺒﺠﺩﻴـﺔ‬
‫ﺤﻭل ﺍﻟﻔﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺴﻭﻑ ﺘﺘﻌﺭﺽ ﺍﻟﻰ ﺒﺨﺎﺭ ﺯﻴﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﺨﺘﻴـﺎﺭ ﻤﻭﺍﺌـﻊ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﻠﻭﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﻴﺔ ﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﻭﺫﻟﻙ ﺒﺴﺒﺏ ﻓﻌﻠﻴﺘﻬﺎ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻘﻠﻴﻠﺔ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﻤﺤﺩﺩﺓ‪ ،‬ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺭﻏﺏ ﺒﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ‬
‫ﻤﻊ ﻤﺎﺌﻊ ﺒﻠﺯﻭﺠﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻐﺭﺽ‪ ،‬ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﺍﻟﺴﻤﺎﺤﻴﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻻﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﻤﺘﺤﺭﻜﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﻭﻀﻊ ﻋﻼﻤﺎﺕ ﻋﻠـﻰ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺤـﻭﺭﺓ‬
‫ﻟﺨﺩﻤﺔ ﺨﺎﺼﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻋﻼﻡ ﺍﻻﺸﺨﺎﺹ ﺍﻟﺫﻴﻥ ﺴﻴﻌﻤﻠﻭﻥ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﻤﺴﺘﻘﺒﻼ" ﺤﻭل ﺍﻟﺘﺤﻭﻴﺭ ﻭﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﺠﺩﻴﺩ ﻟﻬﺎ‪ .‬ﻜﻠﻤﺔ ﺍﺨﻴﺭﺓ ﺤﻭل ﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻭﻫﻭ ﻴﺠﺏ ﺒﺤﺙ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﺘﺸﺨﻴﺼﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺀ ﺒﺸﻜل ﺩﻗﻴﻕ ﻗﺒل ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﻪ‪ .‬ﺍﻟﻥ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﺍﻟﻤﺘﻭﻓﺭﺓ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻻﺘﻌﻤل‬
‫ﺒﺸﻜل ﺠﻴﺩ ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﻤﺯﺠﻬﺎ ﻤﻊ ﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ‪.‬‬
‫ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ )‪:(Dry Mechanical Vacuum Pumps‬‬
‫ﺘﻡ ﻓﻲ ﺍﻟﺴﻨﻭﺍﺕ ﺍﻻﺨﻴﺭﺓ ﺍﻻﻫﺘﻤﺎﻡ ﺒﺩﺭﺍﺴﺔ ﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ )ﻤﻥ ﻭﺠﻬﺔ ﻨﻅﺭ ﺍﻻﻤﺎﻥ ﻭﺘﻠﻭﺙ ﺍﻨـﻀﻤﺔ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ(‪ .‬ﺍﺴـﺘﺠﺎﺏ ﻤـﺼﻨﻌﻲ‬
‫ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺘﻁﻭﻴﺭ ﻭﺘﺴﻭﻴﻕ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺩﻋﻡ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺨﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ‪ .‬ﺘﻤﻠﻙ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺨﺼﺎﺌﺹ ﻤﺭﻏﻭﺒﺔ ﻭﻟﻜـﻥ‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻌﻭﺍﺭﺽ ﻴﺠﺏ ﺍﻻﻨﺘﺒﺎﻩ ﺍﻟﻴﻬﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻤﻴﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ )ﻋﺎﺩﺓ ﻟﺘـﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟـﺭﻴﺵ ﻟـﺩﻭﺍﺭﺓ( ﺍﻨﻬـﺎ ﺘﻤﻨـﻊ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴـﺔ ﺍﺴـﺘﺭﺠﺎﻉ‬
‫)‪ (backstreaming‬ﺯﻴﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺫﻟﻙ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ ﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻭﺒﺎﻤﺎﻥ ﻜﻤﻴﺎﺕ ﻜﺒﻴـﺭﺓ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻟﺨﻭﻑ ﻤﻥ ﺍﻻﻨﻔﺠﺎﺭ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﺒﺨﺭﺓ ﻓﻌﺎﻟﺔ ﻤﻌﻴﻨﺔ ﻏﺎﺯﺍﺕ‪ .‬ﺍﻤـﺎ ﻤـﺴﺎﻭﺉ ﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‬
‫ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺠﺎﻓﺔ ﻓﺘﺘﻀﻤﻥ ﻜﻠﻔﺘﻬﺎ ﺍﻻﻭﻟﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ )ﺘﺒﻠﻎ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ ٥‬ﻤﺭﺍﺕ ﺍﻜﺜﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺯﻴﺘﻴﺔ ﺍﻟﻤﺨﺘﻭﻤـﺔ ﻭﻟـﻨﻔﺱ ﺍﻟـﺴﻌﺔ(‪ ،‬ﺍﻟـﻀﻭﻀﺎﺌﻴﺔ‬
‫ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ‪ ،‬ﻭﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﺍﻋﻠﻰ )‪.(ultimate pressure‬‬

‫‪٥٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٧‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺯﻴﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ )‪(Oil vapor diffusion pumps‬‬
‫ﺍﻜﺘﺸﻑ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺤﻭﻟﻲ ﻋﺎﻡ ‪ 1915-1916‬ﻭﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺤﻴﻨﻬﺎ ﻤﻌﺩﻥ ﺍﻟﺯﺌﺒﻕ ﻜﻤﺎﺌﻊ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻟﻘﺩ ﺍﻜﺘﺸﻑ ﻓﻲ ﺍﻟﺴﻨﻭﺍﺕ ﺍﻟﻌـﺸﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪ ،‬ﺇﻥ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﻘﺎﻁ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻭﻀﻐﻭﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﻬﻲ ﻤﻭﺍﺌﻊ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺠﻴﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﻤﻔﻴﺩﺓ ﻜﻭﻨﻬﺎ ﺘﺒﻘﻰ ﻓﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻟﻔﺘﺭﺓ ﻁﻭﻴﻠﺔ ﻭﺘﺴﻤﺢ ﺒﺎﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﺩﻭﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺼﺎﺌﺩﺓ ﺒﺎﺭﺩﺓ‪ .‬ﻤﺭﺕ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘـﺸﺎﺭﻴﺔ ﺒﺘﻐﻴـﺭﺍﺕ ﻜﺒﻴـﺭﺓ ﻓـﻲ‬
‫ﺘﺼﻤﻴﻤﺎﺘﻬﺎ ﺨﻼل ﺍﻟﺤﺭﺏ ﺍﻟﻌﺎﻟﻤﻴﺔ ﺍﻟﺜﺎﻨﻴﺔ ﻭﺨﻼل ﺍﻟﺴﺘﻴﻨﺎﺕ )ﻻﻏﺭﺍﺽ ﺒﺭﻨﺎﻤﺞ ﺍﻟﻔﻀﺎﺀ( ﻟﺯﻴﺎﺩﺓ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻭﺯﻴﺎﺩﺓ ﻤﻘﺩﺭﺘﻬﺎ ﻻﻨﺘﺎﺝ ﻀﻐﻭﻁ ﻗﻠﻴﻠـﺔ‬
‫ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﻗﺩ ﺃﻋﻁﺕ ﺍﻟﻁﺭﻴﻕ ﻻﻨﺘﺎﺝ ﻤﻭﺍﺌﻊ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺠﺩﻴﺩﺓ‪ .‬ﺘﺘﻤﻴﺯ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺒﺒﺴﺎﻁﺘﻬﺎ ﻭﺍﺩﺍﺌﻬﺎ ﺍﻟﻌـﺎﻟﻲ ﻭﻜﻠﻔﺘﻬـﺎ ﺍﻻﺒﺘﺩﺍﺌﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﻭﺍﻁﺌﺔ ﻤﻤﺎ ﺠﻌﻠﻬﺎ ﺘﺒﻘﻰ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﺴﺎﺴﻲ ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺍﻟﺼﻨﺎﻋﻲ‪ .‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻓﻲ ﻤﺨﺘﺒﺭﺍﺕ ﺍﻟﺒﺤﺙ ﻭﺍﻟﺘﻁﻭﻴﺭ‪ ،‬ﻤـﺴﺘﻠﺯﻤﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻁﻼﺀ‪ ،‬ﺍﻟﺘﺼﻨﻴﻊ ﻭﻤﺤﺎﻜﺎﺕ ﺍﻟﻔﻀﺎﺀ‪ .‬ﻓﺎﺫﺍ ﺍﺴﺘﺨﺩﻤﺕ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﺼﺤﻴﺤﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﻭﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻓﺎﻨﻬﺎ ﻗـﺎﺩﺭﺓ‬
‫ﻋﻠﻰ ﺍﻨﺘﺎﺝ ﻓﺭﺍﻍ ﺒﺤﺩﻭﺩ ‪.2×10-10Torr‬‬
‫ﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(Theory of operation‬‬
‫ﺘﻌﺘﺒﺭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺘﺩﻓﻕ ﺍﻭ ﻨﻔﺙ ﺒﺨﺎﺭﻴﺔ )‪ ،(vapor jet‬ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺍﺴﺎﺱ ﻤﺒﺩﺍ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﻟﻌﺯﻡ‪ .‬ﻴﺤﺼل ﻫـﺫﺍ ﻋﻨـﺩﻤﺎ ﺘـﺼﻁﺩﻡ‬
‫ﺠﺯﻴﺌﺔ ﺒﺨﺎﺭ ﺜﻘﻴﻠﺔ ﺒﺴﺭﻋﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻤﻊ ﺠﺯﻴﺌﺔ ﻏﺎﺯ ﻭﺘﺤﺭﻜﻬﺎ ﺒﺎﻻﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻤﺭﻏﻭﺏ ﺨﻼل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﺘﺤﻭﻱ ﻗﺎﻋﺩﺓ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ ﻋﻠـﻰ ﻤـﺴﺨﻥ ﻜﻬﺭﺒـﺎﺌﻲ‬
‫ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﻏﻠﻴﺎﻨﻪ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻨﺘﺞ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﻤﻨﺨﻔﺽ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻴﻌﻨﻲ ﺍﻨﻪ ﻗﺒل ﺘـﺸﻐﻴل‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺘﻔﺭﻴﻐﻬﺎ ﻤﺒﺩﺌﻴﺎ" )‪ (rough pumped‬ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﻤﻘﺒﻭل‪ ،‬ﺃﻱ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ .100mTorr‬ﺍﺫﺍ ﻟﻡ ﻨﺤﻘﻕ ﻫـﺫﺍ ﺍﻟـﺸﺭﻁ ﻓـﺎﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺴﻭﻑ ﻻﺘﺅﺩﻱ ﻋﻤﻠﻬﺎ ﺍﻭ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﺘﻠﻔﺎ" ﻟﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﺘﺼل ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﻨﻘﻁﺔ ﻏﻠﻴﺎﻥ ﺍﻟﻤﺎﺌﻊ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﺴـﻭﻑ ﻴﻨـﺩﻓﻊ‬
‫ﻨﺤﻭ ﺍﻋﻠﻰ ﺍﻻﻋﻤﺩﺓ ﺍﻟﻤﺭﻜﺯﻴﺔ ﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻟﻨﻔﺙ )‪ .(jet assembly‬ﺜﻡ ﻴﺨﺭﺝ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﻋﻨﺩ ﻜل ﺍﺘﺠﺎﻩ ﻨﻔﺙ ﻨﺤﻭ ﺍﻻﺴﻔل ﻋﻠﻰ ﺸـﻜل ﺴـﺘﺎﺌﺭ ﺠﺯﻴﺌﻴـﺔ‬
‫)‪ (molecular curtain‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺼﻁﺩﻡ ﺒﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻴﻜﻭﻥ ﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻤﺒﺭﺩ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺴﻭﻑ ﻴﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﻜﺜﻴﻑ ﺍﻟﻤـﺎﺌﻊ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺴﻁﻭﺤﻪ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﻭﻴﺭﺠﻊ ﺍﻟﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻭﺭﺍﺀ ﻨﺤﻭ ﺍﻻﺴﻔل ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻤﺭﺠل )ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ(‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﺒﺭﻴﺩ ﺍﺠﺴﺎﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤـﺎﺀ‬
‫ﻭﻟﻜﻥ ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﺤﻴﺎﻥ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻻﻏﺭﺍﺽ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ‪ .‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﺘﺩﺨل ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﺒﺸﻜل ﻋﺸﻭﺍﺌﻲ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ )ﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ‬
‫ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ( ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻭﺍﺠﻪ ﺍﻟﻨﻔﺙ ﺍﻟﻘﺎﺩﻡ ﻤﻥ ﺍﻻﻋﻠﻰ‪ .‬ﺒﻌﺽ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﺼﻁﺩﻡ ﻭﺘﺭﺴل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻨﻔﺙ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪ .‬ﻭﺒﺎﻟﺘﺩﺭﻴﺞ ﺴﻭﻑ ﺘﺼل ﺍﻟﻰ ﻤﻨﻁﻘـﺔ‬
‫ﺍﻟﺩﻋﻡ )‪ (foreline‬ﺤﻴﺙ ﻴﺘﻡ ﻁﺭﺤﻬﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﻭ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺴﺎﻨﺩﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ )‪:(Compression Ratio‬‬
‫ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺨﺼﺎﺌﺹ ﺘﺸﺎﺒﻪ ﺍﻟﺨﺼﺎﺌﺹ ﻟﻠﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻜﺒﺴﻴﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻓـﻲ ﺍﻨﻬـﺎ ﺘﻌﻤـل ﻋﻠـﻰ ﺍﻋﻁـﺎﺀ ﻀـﻐﻁ ﻋـﺎﺩﻡ ﻋـﺎﻟﻲ‬
‫)‪ (exhaust pressure‬ﻨﺴﺒﻴﺎ" ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﺍﺨل )‪ .(Inlet pressure‬ﻓﻤﺜﻼ"‪ ،‬ﻟﻀﻐﻁ ﺩﺍﺨل ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 2×10-7Torr‬ﻭﻀـﻐﻁ ﺩﺍﻋـﻡ‬
‫ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ ،2×10-1Torr‬ﻨﺠﺩ ﺍﻥ ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺤﺩﻭﺩ ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻠﻴﻭﻥ‪ .‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺤﺎﻟﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁ ﻓﻲ ﻤﺯﻴﺞ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻜل ﻤﺭﻜـﺏ‬
‫ﺭﺒﻤﺎ ﻴﻔﺭﻍ ﻤﻊ ﺘﺎﺜﻴﺭﺍﺕ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ .‬ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺠﺩ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﺴﺏ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﺍﻟﻌﻅﻤﻰ ﻭﻤﻌﺩﻻﺕ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻭﺯﺍﻥ‬
‫ﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ .‬ﻓﻤﺜﻼ"‪ .‬ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﻟﻠﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ ﺘﺨﺘﻠﻑ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭﻋﻥ ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﻟﻼﺭﻜﻭﻥ ﻭﺫﻟﻙ ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﺒـﺴﺒﺏ ﺍﻥ ﺍﻭﺯﺍﻨﻬـﺎ‬
‫ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺫﻟﻙ‪ ،‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻤﻠﻙ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻔﺭﻍ ﻭﺯﻨﺎ" ﺠﺯﻴﺌﻴﺎ" ﻴﺨﺘﻠﻑ ﻋﻥ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻻﻨﻀﻐﺎﻁﻴﺔ ﺍﻟﻌﻅﻤﻰ ﺴﻭﻑ ﺘﻨﺤﺭﻑ‬
‫ﻭﻟﻜﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﻋﻡ )‪) (foreline‬ﺍﻭ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ‪ (critical discharge pressure :‬ﺴﺘﺒﻘﻰ ﻜﻤﺎ ﻫﻲ‪.‬‬
‫ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ )‪:(Critical discharge pressure‬‬
‫ﻴﻌﺭﻑ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺒﺎﻨﻪ ﺍﻋﻅﻡ ﻀﻐﻁ ﻤﺴﻤﻭﺡ ﺒﻪ ﻋﻨﺩ ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﺩﻋﻡ ﺨﻼل ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻋﺘﻴﺎﺩﻱ‪ .‬ﻴﺘﻭﻗﻑ ﻋﻤل‬
‫ﺍﻟﺘﻔﺭﻍ ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻊ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻌﺩﻯ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ‪ .‬ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﺼل ﻫﻨﺎ ﻫﻭ ﺍﻥ ﺒﺨﺎﺭ ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﻻﻴﻤﻠـﻙ ﻁﺎﻗـﺔ‬
‫ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻭﻜﺜﺎﻓﺔ ﻟﺘﻭﻓﻴﺭ ﻋﺎﺌﻕ ﻟﻠﻬﻭﺍﺀ ﻓﻲ ﻤﻨﻁﻘﺔ ﺍﻟﺩﻋﻡ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺴﻭﻑ ﻴﺴﺭﻱ ﺨﻼل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺒﺎﻻﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﺨﺎﻁﺊ ﺤﺎﻤﻼ" ﻤﻌﻪ ﺒﺨﺎﺭ ﻤﺎﺌﻊ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻻﻏﻠﺏ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺍﻟﺤﺩﻴﺜﺔ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﻋﻡ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﺍﻟﻤﺴﻤﻭﺡ ﺒﻪ ﻴﻜﻭﻥ ﺒﺤـﺩﻭﺩ ‪ .0.5Torr‬ﻻﺘﻌﻤـل ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ‬
‫ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺒﺸﻜل ﺠﻴﺩ ﻤﺎﻟﻡ ﻴﻜﻭﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺩﻋﻡ ﻤﺤﺼﻭﺭ ﺘﺤﺕ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺩﻭﺩ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺩﺍﻋﻤﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺍﻻﺴﺎﺴﻴﺔ ﻓﻲ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪ :‬ﻫﻲ ﺍﻥ ﻻﺘﺯﻴﺩ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻋﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ!‪.‬‬

‫‪٥٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ )‪:(Backstreaming‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻌﺭﻴﻑ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺨﻼل ﻤﻴﻨﺎﺀ ﺩﺨﻭل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﻤﻌﺎﻜﺱ ﺍﻟﻰ ﺍﺘﺠﺎﻩ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ‪.‬‬
‫ﻟﻜﻥ ﻴﺠﺏ ﻋﺩﻡ ﺘﺤﺩﻴﺩ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻓﻘﻁ ﻭﺍﻨﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ‪ ،‬ﺍﻟﻤـﺼﺩﺓ ﻭﺍﻨﺎﺒﻴـﺏ ﺍﻟﺘـﺼﺭﻴﻑ )‪(plumbing‬‬
‫ﺍﻴﻀﺎ"‪ ،‬ﺒﺴﺒﺏ ﺍﻨﻬﺎ ﺠﻤﻴﻌﺎ" ﺘﺅﺜﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﺘﻘﺎل ﺍﺒﺨﺭﺓ ﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻤﻥ ﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﻋﺩﺩ ﻜﺒﻴﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻅﺭﻭﻑ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ‬
‫ﺘﺴﺒﺏ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ‪ .‬ﺍﻟﻅﺭﻭﻑ ﺍﻻﻜﺜﺭ ﺸﻴﻭﻋﺎ" ﻫﻲ‪ ،‬ﺯﻴﺎﺩﺓ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺭﺝ ﻓﻲ ﻤﻨﻁﻘـﺔ ﺍﻟـﺩﻋﻡ‪ ،‬ﺯﻴـﺎﺩﺓ ﺴـﻌﺔ ﺍﻟﺠﺭﻴـﺎﻥ ﺍﻟﻨﺎﻓـﺫ‬
‫)‪ (throughput‬ﺍﻻﻋﻅﻡ ﻟﻔﺘﺭﺓ ﺯﻤﻨﻴﺔ ﻁﻭﻴﻠﺔ‪ ،‬ﻭﺍﻟﺘﺴﻠﺴل ﺍﻟﻐﻴﺭ ﺼﺤﻴﺢ ﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺒﺩﺍﺀ ﺍﻭ ﺍﻨﻬﺎﺀ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪ .‬ﺘﻌﺘﺒﺭ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﺍﻻﺴـﺘﺭﺠﺎﻉ ﺍﻟﻌﻜـﺴﻲ‬
‫ﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻌﻤل ﺨﻠل ﻜﺒﻴﺭﺍ" )‪ .(catastrophic‬ﺍﻟﻨﺼﻴﺤﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻌﻁﻰ ﻟﻠﻌﺎﻤﻠﻴﻥ ﻤﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﻫـﻲ ﺍﻥ‬
‫ﻴﻌﺭﻓﻭﺍ ﻤﻌﺩﺍﺘﻬﻡ ﺒﺸﻜل ﺠﻴﺩ ﻭﺍﻥ ﻴﺘﺩﺭﺒﻭﺍ ﻋﻠﻰ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺘﺸﻐﻴل ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ‪ .‬ﺤﻭﺍﻟﻰ ‪ 99%‬ﻤﻥ ﻤﺸﺎﻜل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ ﺍﻟﻤﻜﻠﻑ ﻴﻌﻭﺩ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺨﻁﺎ ﻓﻲ‬
‫ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل‪ .‬ﺍﺨﻴﺭﺍ"‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺘﺠﻬﻴﺯ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺘﻌﺸﻴﻕ )‪ (interlock‬ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﻤﻨﻊ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺒﺎﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﻓﻭﻕ ﻀﻐﻁ ﻤﺤـﺩﺩ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺴﻭﻑ ﻴﺴﺎﻋﺩ ﻋﻠﻰ ﺤﻤﺎﻴﺔ ﻨﻅﺎﻤﻙ ﻜﻠﻤﺎ ﺘﺭﻙ )ﻏﻴﺭ ﻤﻤﻜﻥ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻴﻪ(‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﻭﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ )‪:(Baffles and Traps‬‬
‫ﺍﻥ ﻟﻠﻤﺼﺩﺍﺕ ﻏﺭﺽ ﻭﺍﺤﺩ ﻤﺤﺩﺩ ﻫﻭ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻉ ﺍﻟﻌﻜﺴﻲ ﻟﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻜﺜﺭ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﺘﺩﻋﻰ ﺒﺎﻟﻤﻌﺘﻤﺔ ﺒـﺼﺭﻴﺎ"‬
‫)‪ (optically opaque‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻨﻲ ﺍﻥ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﻬﻨﺩﺴﻲ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻲ ﻻﻴﺴﻤﺢ ﻟﻠﻀﻭﺀ ﺒﺎﻟﻤﺭﻭﺭ ﺨﻼﻟﻬﺎ ﺒﺸﻜل ﻤﺒﺎﺸﺭ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﻴﻀﻤﻥ ﺍﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺔ ﺘﺼﻁﺩﻡ‬
‫ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻗل ﻤﺭﺓ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻊ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺒﻐﺽ ﺍﻟﻨﻅﺭ ﻋﻥ ﺍﻻﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻘﺎﺩﻤﺔ ﻤﻨﻪ‪ .‬ﺘﻌﻤل ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﻋﻠﻰ ﻋﺭﻗﻠﺔ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏـﺔ‪ ،‬ﻭﻟﻜـﻥ ﺠﻤﻴـﻊ‬
‫ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻤﺼﻤﻤﺔ ﺒﺸﻜل ﺠﻴﺩ ﺘﺤﺘﺠﺯ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 60%‬ﻤﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﻤﺒﺎﺸﺭﺓ ﻓﻭﻕ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﺒﺎﻟﺘﻭﺍﻓﻕ‬
‫ﻤﻊ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩﺓ‪ .‬ﺍﻟﻤﺼﺩﺍﺕ ﺍﻟﻤﺒﺭﺩﺓ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻘﻠل ﻤﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﻟﻠﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻑ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺘﻘﻠﻴل ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﺒﺨـﺎﺭ ﻓـﻲ ﺍﻟﻔـﻀﺎﺀ ﺒـﻴﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺩﺓ ﻭﺍﻟﻤﺼﺌﺩﺓ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 7.1‬ﻴﻭﻀﺢ ﺸﻜل ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻠﻤﺼﺩﺍﺕ ﻭﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻤﻊ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪7.1‬‬
‫ﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﺜﻠﺠﻴﺔ )‪ (refrigerated‬ﻭﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ )‪ (cryogenic‬ﻫﺩﻓﻴﻥ ﺍﺴﺎﺴﻴﻥ‪ :‬ﺍﻨﻬﺎ ﺘﺴﻠﻙ ﻜﺤﻭﺍﺠﺯ ﻀﺩ ﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺒﺨـﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔـﺔ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﺨﺩﻡ ﻜﻤﻀﺨﺎﺕ ﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ )‪ (cryopumps‬ﻟﻼﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔﺔ )ﺒﺸﻜل ﺍﺴﺎﺴﻲ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ( ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜـﺔ ﻤـﻥ ﺍﻟﻨﻅـﺎﻡ‪.‬‬
‫ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻠﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﺤﻤﺼﺔ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺔ‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺸﻜل ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 90%‬ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺘﺒﻘﻲ ﺒﻌـﺩ ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴـﻎ ﺍﻻﻭﻟﻴـﺔ‪ .‬ﺍﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﺍﻟﻤﺒﺭﺩﺓ ﺘﺯﻴﺩ ﻤﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻻﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺎﻻﺕ ﺍﻥ ﺘﺨﻔﺽ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ‪ .‬ﻫﻨـﺎﻙ ﻨـﻭﻋﻴﻥ‬
‫ﺸﺎﺌﻌﻴﻥ ﻤﻥ ﻤﺼﺎﺌﺩ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ ،‬ﺍﻻﻭل ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﻀﻊ ﻓﻲ ﺃﻱ ﻤﻜﺎﻥ ﻀﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻋﻠـﻰ ﺸـﻜل ﻟـﻭﺡ‬
‫ﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻱ )‪ ،(cryopanel‬ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﻜﺭﻭﻴﺔ )‪ (sphere‬ﺍﻭ ﺍﺴﻁﻭﺍﻨﻴﺔ )‪ ،(cylindrical‬ﺍﻭ ﻤﺭﺘﺒﺔ ﺒﺸﻜل ﺍﻨﺒﻭﺒﻲ )‪ (tubular‬ﺘﻌﻤل ﻋﻤـل‬
‫ﺍﺼﺒﻊ ﺒﺎﺭﺩ )‪ (cold-finger‬ﺤﻴﺙ ﺘﻘﻨﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻔﺔ‪ .‬ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻻﺨﺭ ﻫﻭ ﺍﻟﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﻤﻌﺘﻡ ﺍﻟﺒﺼﺭﻱ ﻭﻴﻭﻀﻊ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﻤﺩﺨل ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ‪.‬‬
‫ﺘﻀﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺼﺎﺌﺩ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺼﺎﺩﻡ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﻊ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ ﻤﺭﺓ ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻗل‪.‬‬

‫‪٥٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ )‪:(Fluids‬‬
‫ﺘﻡ ﺍﻟﻴﻭﻡ ﺘﻁﻭﻴﺭ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻀﻤﻥ ﺍﻟﺜﻼﺜﻴﻥ ﺴﻨﺔ ﺍﻟﻤﺎﻀﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﻰ ﺤﺩ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ ،1960‬ﻜﺎﻨﺕ ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺘﻤﻠﻙ ﻀـﻐﻁ‬
‫ﺒﺨﺎﺭ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 10-7Torr‬ﺍﻭ ‪ 10-8Torr‬ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ ﻜﺎﻥ ﺒﺤﺩﻭﺩ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﻌﺩل‪ .‬ﻟﻘﺩ ﺍﺼﺒﺤﺕ ﺨﻴﺎﺭﺍﺕ ﻤﻭﺍﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻜﺒﺭ‬
‫ﺒﻌﺩ ﺍﻥ ﻨﺸﺭ ﻫﻴﻜﻤﺎﻥ )‪ (Hickman‬ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻴﺜﺭﺍﺕ ﺍﻟﺒﻭﻟﻲ ﻓﻴﻨﺎﻴل )‪ (Polyphenyl ethers‬ﺍﻟﺘﻲ ﻭﻓﺭﺕ ﺍﺴﺘﻘﺭﺍﺭﻴﺔ ﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻭﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻏﻴـﺭ‬
‫ﺍﻋﺘﻴﺎﺩﻴﺔ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻭﺠﺩﺕ ﺍﻴﻀﺎ" ﺨﻭﺍﺹ ﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻤﻤﺘﺎﺯﺓ ﻟﻤﺎﺌﻊ ﺍﺨﺭ ﻫﻭ ﺍﻟﺴﻴﻠﻴﻜﻭﻥ ﻨﻭﻉ )‪ (DC705‬ﺫﻱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ ﺍﻟﻭﺍﻁﺊ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ ﺃﻱ‬
‫ﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺴﻭﻑ ﻴﻭﻓﺭ ﻀﻐﻭﻁ ﺍﺴﺎﺱ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺼل ﺍﻟﻰ ‪ 10-9Torr‬ﺍﻭ ‪ .10-10Torr‬ﺍﻟﻰ ﻭﻗﺕ ﻗﺭﻴﺏ‪ ،‬ﺘﻡ ﺘﻁﻭﻴﺭ ﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺌﻊ ﺘﺴﻤﻰ‬
‫ﺒﺎﻟﺯﻴﻭﺕ ﺍﻟﻤﻔﻠﻭﺭﺓ )‪ (fluorinated oils‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺯﻴﻭﺕ ﺘﻀﻴﻑ ﺨﺎﺼﻴﺔ ﻤﻔﻴﺩﺓ ﺍﺨـﺭﻯ ﻓـﻲ ﺍﻟﺘﻁـﺎﺒﻕ ﻤـﻊ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺘﺎﻜﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ )‪:(Ultimate pressure‬‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﻤﻼﺤﻅﺘﻴﻥ ﺍﺴﺎﺴﻴﺘﻴﻥ ﺘﺨﺹ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻭﻀﻴﺢ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﻋﻠﻰ ﺍﻨﻪ ﺤﻤـل ﺍﻟﻐـﺎﺯ )‪ (gas load‬ﺍﻭ‬
‫ﺤﺩﻭﺩ ﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ )‪ .(pressure ratio limit‬ﺍﻥ ﺤﺩﻭﺩ ﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺘﻜﻭﻥ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﺭﺘﺒﻁﺔ ﻤـﻊ ﺍﻟﻐـﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺨﻔﻴﻔـﺔ )ﺍﻟﻬﻴـﺩﺭﻭﺠﻴﻥ‪ ،‬ﺍﻟﻬﻠﻴـﻭﻡ‬
‫ﻭﺍﻟﺯﻨﻭﻥ(‪ .‬ﻻﻴﺘﻭﻗﻑ ﺍﻟﻔﻌل ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻐﻲ ﻟﻨﻔﺜﺎﺕ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﻋﻨﺩ ﺃﻱ ﻀﻐﻁ‪ ،‬ﻤﻬﻤﺎ ﻜﺎﻥ ﻗﻠﻴﻼ"‪ .‬ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻨـﺴﺒﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴـﻎ ﻀـﺩ‬
‫ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺘﺸﺭﺓ ﻟﻠﺨﻠﻑ‪ ،‬ﺯﺍﺌﺩﺍ" ﻨﺴﺒﺔ ﺤﻤل ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻰ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻨﻔﺴﻬﺎ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺸﺎﺭﻙ ﻓﻲ ﺤﻤل ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻤﺎ ﻤﻥ‬
‫ﺨﻼل ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻻﺴﺘﺭﺠﺎﻋﻲ ﻟﺒﺨﺎﺭ ﻤﺎﺌﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺍﺠﺯﺍﺀ ﺍﻟﺘﻜﺴﻴﺭ )‪ (cracked fractions‬ﺍﻭ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪ (outgassing‬ﻤﻥ ﺍﺠﺯﺍﺌﻬﺎ‪ .‬ﻋﻤﻠﻴﺎ"‪،‬‬
‫ﺍﺫﻥ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﻫﻭ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﺭﻜﺒﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻌﻨﺎﺼﺭ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺤﺩﺩ ﺍﻻﻭل ﻟﻠﻀﻐﻁ ﺍﻻﻗﺼﻰ ﻫﻭ ﻋﺎﺩﺓ" ﻴﻌﻭﺩ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﻤـﺎﺌﻊ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺩﻭﺩ ﺭﺒﻤﺎ ﻻﻴﻤﻜﻥ ﻤﺸﺎﻫﺩﺘﻬﺎ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﺍﻗل ﻤﻥ ‪.10-9Torr‬‬
‫ﻁﺭﻴﻘﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(Operation procedure‬‬
‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺸﻐﻴل ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺘﺘﻁﻠﺏ ﺍﻨﺘﺒﺎﻩ ﺨﺎﺹ ﻟﻠﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻘﺎﻁ‪ ،‬ﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﻨﻅﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﺎﻤﺔ )‪ :(General Cleanliness‬ﻭﻫﻲ ﻤﻬﻤﺔ ﺠﺩﺍ" ﻭﺨﺎﺼﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﺼﻐﻴﺭﺓ‪ .‬ﺘﺫﻜﺭ ﺍﺫﺍ ﺍﻨﺤﺼﺭﺕ ﻗﻁﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻴﺕ ﻓﻲ‬
‫ﺃﻱ ﻤﻜﺎﻥ ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻓﺭﺒﻤﺎ ﻴﺘﻁﻠﺏ ﺍﻴﺎﻤﺎ" ﺍﻭ ﺍﺴﺎﺒﻴﻌﺎ" ﻟﺘﺒﺨﻴﺭﻫﺎ ﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﺭﻁﻭﺒﺔ ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ )‪ :(Humidity and Temperature‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﻬﻤﺔ ﻤﻥ ﻭﺠﻬﺔ ﻨﻅﺭ ﻭﺠﻭﺩ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ ﻓـﻲ‬
‫ﺍﻟﺠﻭ‪ .‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﻓﺘﺢ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﻭ ﻓﺎﻥ ﺯﻤﻥ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺴﻴﻜﻭﻥ ﺍﻁﻭل ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻥ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﺭﻁﺒﺎ"‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺯﻤﻥ ﺍﻟﺘﻌﺭﺽ )‪ :(Time exposure‬ﻭﻫﻭ ﺍﻴﻀﺎ" ﻤﺅﺜﺭﺍ"؟ ﻓﺎﺫﺍ ﺍﻤﻜﻥ‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻤﻠﺊ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ )‪ (backfilling‬ﻤﻊ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‬
‫ﺍﻭ ﺍﻻﺭﻜﻭﻥ‪ .‬ﻟﺯﻤﻥ ﺘﻌﺭﺽ ﻗﺼﻴﺭ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻫﺫﺍ ﻴﺴﺎﻋﺩ ﻓﻲ ﺘﻘﻠﻴل ﻜﻤﻴﺔ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺍﻟﻤﻤﺘﺯ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫‪ -٤‬ﺘﺸﻐﻴل ﻤﺭﺘﺏ ﻟﻠﺼﻤﺎﻤﺎﺕ )‪ :(Valve sequencing operations‬ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻬﻡ ﺠﺩﺍ" ﺘﻁﻭﻴﺭ ﺘﻘﻨﻴﺔ ﺠﻴﺩﺓ ﻓﻲ ﺘﺸﻐﻴل ﻤﺭﺘﺏ ﻟﻠﺼﻤﺎﻤﺎﺕ‪ ،‬ﺨﺎﺼﺔ"‬
‫ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻤل ﺒﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﻴﺩﻴﻭﻴﺔ‪ .‬ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻔﻴﺩ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﺨﺭﻴﻁﺔ ﺍﻭ ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻠﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﻋﻠﻰ ﻟﻭﺤﺔ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﺘﺒـﻴﻥ ﻤﻭﺍﻗـﻊ‬
‫ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﻭﻋﻤل ﻜل ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻨﻬﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﺨﻁﺎ ﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺎ" ﻭﺍﺤﺩﺍ" ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺼﻴﺎﻨﺔ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﻟﻠﻨﻅﺎﻡ‪ .‬ﻟﻘﺩ ﺍﺴﺘﺨﺩﻡ ﺒﺸﻜل ﻭﺍﺴﻊ ﺼـﻤﺎﻤﺎﺕ‬
‫ﺍﻭﺘﻤﺎﺘﻴﻜﻴﺔ ﻟﻠﺴﻴﻁﺭﺓ ﺍﻟﻤﺘﺴﻠﺴﻠﺔ ﻭﻟﻌﺩﺓ ﺴﻨﻭﺍﺕ ﻭﻗﺩ ﺒﻨﻴﺕ ﻤﻊ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺘﻌﺸﻴﻕ ﺩﺍﺨﻠﻴﺔ )‪ (interlocked‬ﻟﻤﻨﻊ ﺤﻭﺍﺩﺙ ﻓﺘﺢ ﺍﻟﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﻋﻥ ﻁﺭﻴـﻕ‬
‫ﺍﻟﺨﻁﺎﺀ‪.‬‬
‫‪ -٥‬ﺯﻤﻥ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺩﺍﻋﻡ )‪ :(Roughing pumping time‬ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻴﺘﻡ ﻁﺭﺡ ﺍﻟﺴﺅﺍل ﺤﻭل ﺍﻟـﺯﻤﻥ ﺍﻟـﺼﺤﻴﺢ ﻟﻐـﺭﺽ‬
‫ﺍﻟﺘﺤﻭﻴل ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺩﺍﻋﻤﺔ )‪ (rough pump‬ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ‪ .‬ﺒﻜﻠﻤﺎﺕ ﺍﺨﺭﻯ‪ ،‬ﻤﺘﻰ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻔﺘﺢ ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ؟ ﻟﻴﺱ ﻫﻨـﺎﻙ‬
‫ﺠﻭﺍﺒﺎ" ﻋﺎﻤﺎ" ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺴﺅﺍل ﻻﻨﻪ ﻜل ﻨﻅﺎﻡ ﻴﺨﺘﻠﻑ ﻤﻊ ﺍﺨﺘﻼﻑ ﺍﺤﻤﺎل ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺍﺨﺘﻼﻑ ﺍﻟﺤﺠﻭﻡ‪ .‬ﻋﻤﻠﻴﺎ" ﺍﻥ ﺍﻻﻨﺘﻘﺎل ﻤـﻥ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ ﺍﻟﺩﺍﻋﻤـﺔ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﻴﺘﻡ ﻋﻨﺩ ﻀﻐﻁ ﺒﻴﻥ ‪ .50-150mTorr‬ﺘﺤﺕ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻨﻁﻘﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴـﺔ ﺘﻔﻘـﺩ ﺒـﺴﺭﻋﺔ ﺘﺎﺜﻴﺭﻫـﺎ‬
‫ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻐﻲ ﻭﺍﻥ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺤﺼﻭل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺴﺘﺭﺠﺎﻉ ﻋﻜﺴﻴﺔ ﺘﺯﺩﺍﺩ‪ .‬ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺜﺒﻭﺕ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻨﺎﻓﺫ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺘﻘﺭﻴﺒـﺎ" ﻋﻨـﺩﻤﺎ ﻴﻜـﻭﻥ‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻭﻁ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﺔ ﻋﻨﺩ ﻤﻌﺩل )‪ ،(1-100mTorr‬ﻭﻟﻜﻥ ﺍﻟﺩﻓﻌﺔ ﺍﻻﻭﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻬﻭﺍﺀ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻋﻨﺩ ﻓﺘﺢ ﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺴﻭﻑ ﻴﺘﻐﻠﺏ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺤﻤل ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺒﺸﻜل ﻤﺅﻗﺕ‪.‬‬

‫‪٦٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٨‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ )‪(Cryo-sorption pumps‬‬
‫ﻴﻭﻓﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻁﺭﻴﻘﺔ ﻨﻅﻴﻔﺔ‪ ،‬ﻫﺎﺩﺌﺔ‪ ،‬ﺍﻤﻴﻨﺔ‪ ،‬ﺨﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻫﺘﺯﺍﺯﺍﺕ ﻭﻏﻴﺭ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﺩﺍﻋﻡ )‪ (rough pump‬ﻟﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻋﺎﺩﺓ" ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺤﺴﺎﺴﺔ ﻟﻠﺘﻠﻭﺙ ﺒﺎﻟﺯﻴﺕ ﻤﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺩﻋﻡ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ )ﻤﺜﺎل ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻋﻠﻡ ﺍﻟـﺴﻁﺢ(‪ .‬ﺘﻌﺘﺒـﺭ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻫﻲ ﺠﺯﺀ ﻤﻥ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺘﻌﻤل ﺒﻤﺒـﺩﺃ ﺍﻗﺘﻨـﺎﺹ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‬
‫)‪ .(gas capture‬ﻴﺘﻡ ﺭﺒﻁ ﺍﻭ ﺘﻘﻴﻴﺩ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻭﺍﻻﺒﺨﺭﺓ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏﺔ ﻋﻠﻰ ﺴﻁﻭﺡ ﻓﻌﺎﻟﺔ ﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﺘﻠـﻙ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺒﻭﺴـﺎﺌل ﻓﻴﺯﻴﺎﻭﻴـﺔ )ﻗـﻭﻯ‬
‫ﻓﺎﻨﺩﺭﻓﺎﻟﺯ(‪ ،‬ﻭﺒﻭﺴﺎﺌل ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ )ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ( ﺍﻭ ﺘﻐﺭﺯ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺎ" ﺒﺘﺭﺴﻴﺏ ﻤﺴﺘﻤﺭ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ ﻭﻜﻤﺎ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴـﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻫـﺫﺍ‬
‫ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻗﻨﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺘﺸﺘﺭﻙ ﺒﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ‪ .‬ﺒﺎﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻡ‪ ،‬ﺘﺼﺒﺢ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ "ﻤﺸﺒﻌﺔ" )‪ (saturated‬ﻭﺘﻌﻤـل‬
‫ﻋﻠﻰ ﺘﻭﻗﻑ ﺍﻭ ﺘﻘﻠﻴل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺒﺸﻜل ﻓﻌﺎل‪ .‬ﻭﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﻫﺫﺍ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺍﻤﺎ ﻴﻌﺎﺩ ﺸﺤﻨﻬﺎ ﺍﻭ ﺘﺴﺘﺒﺩل‪.‬‬
‫ﻨﻅﺭﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(Theory of operation‬‬
‫ﺘﻌﻤل ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻟﻤﺎﺩﺓ ﻤﺒﺭﺩﺓ ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺤـﺕ ﻨﻘﻁـﺔ ﻏﻠﻴـﺎﻥ ﺍﻏﻠـﺏ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ‪ .‬ﺍﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺼﻁﺩﻡ ﺒﺎﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﻤﺴﺎﻤﻲ ﺍﻟﻤﺎﻴﻜﺭﻭﻱ )‪ (micro-porous‬ﺍﻟﻤﺒﺭﺩ ﺘﺼﺒﺢ ﻤﺭﺘﺒﻁﺔ ﺒﻪ‪ ،‬ﻭﺘﺯﺍل ﻤﻥ ﺍﻟﻁﻭﺭ ﺍﻟﻐﺎﺯﻱ‬
‫ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻔﺭﻍ ﺒﺸﻜل ﻓﻌﺎل ﻤﻥ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺘﺼﻨﻊ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺍﻟﻤﻨﺸﻁ ﻟﻠﻤـﻀﺨﺔ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴـﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴـﺔ ﻤـﻥ ﻤـﺎﺩﺓ‬
‫ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ )‪ .(zeolite 13X‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ‪ ،‬ﺴﻴﻠﻴﻜﺎﺕ‪-‬ﺍﻻﻟﻭﻤﻴﻨﺎ ﺍﻻﻟﻜﻴﻠﻴﺔ‪ ،‬ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺴﻁﺤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" ﺍﻟﻰ ﻜﺘﻠﺘﻬﺎ )ﺃﻱ ﺤﻭﺍﻟﻲ ﻤﺎﻗﻴﻤﺘـﻪ‬
‫‪ .(103 m2/gm‬ﺍﻥ ﻗﻁﺭ ﻤﺴﺎﻤﺎﺕ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻫﻲ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ (1.3×10-9m) 13Å‬ﺍﻟﺘﻲ ﻫﻲ ﺤﻭﺍﻟﻲ ﺒﺤﺠﻡ ﺠﺯﻴﺌﺔ ﺍﻟﻤﺎﺀ‪ ،‬ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺯﻴـﺕ‪ ،‬ﻭﺠﺯﻴﺌـﺎﺕ‬
‫ﻏﺎﺯ ﺍﻜﺒﺭ )ﻤﺜﺎل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻭﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ(‪ .‬ﺍﻥ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﻤﺴﺎﻤﺎﺕ ﻫﺫﻩ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﻘﻨﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﺍﻟﺠﻭ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻏﻠﺏ‪ .‬ﺍﻤـﺎ ﺍﻟﻐـﺎﺯﺍﺕ ﺫﺍﺕ‬
‫ﺍﻻﻭﺯﺍﻥ ﺍﻟﺫﺭﻴﺔ ﺍﻟﻘﻠﻴﻠﺔ ﻤﺜل ﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ‪ ،‬ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ ﻭﺍﻟﻨﻴﻭﻥ ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻗﻁﺎﺭ ﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ﺍﺼﻐﺭ ﻤﻥ ‪ 13 Å‬ﻟﺤﺠﻡ ﻤﺴﺎﻤﺔ ﻟﻠﺯﻴﻭﻻﻴﺕ‪ ،‬ﻭﻴﺘﻡ ﻗﻨﺼﻬﺎ ﺒﺸﻜل‬
‫ﺍﻗل ﻓﻌﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﻗﺒل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻤﺘﺼﺎﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ ﺘﻜﻭﻥ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ ،‬ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ ﻭﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‪.‬‬
‫ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺘﺒﺭﻴﺩ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻓﺎﻥ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻤﺘﺯ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ ﻟﻜل ﻏﺭﺍﻡ ﺘﺯﺩﺍﺩ ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ .8.1‬ﻻﺤﻅ ﺃﻴﻀﺎ" ﻤـﻥ‬
‫ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻥ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ ﺤﺘﻰ ﻋﻨﺩ ﺘﺒﺭﻴﺩﻩ ﺍﻟﻰ ‪ -195 °C‬ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻔﺭﻍ ﺒﻜﻔﺎﺀﺓ ﺍﻗل ﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﻨﻘﻁﺔ ﺍﺨﺭﻯ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﻨﺘﺎﺠﻬﺎ ﻤﻥ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﻀﺤﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 8.1‬ﻫﻲ ﺍﻥ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﻜﻠﻤﺎ ﻗل ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﺎﻥ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻤﺘﺯ ﻟﻜل ﻏﺭﺍﻡ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ ﺘﻘل‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 8.1‬ﺴﻠﻭﻙ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻟﻠﺯﻴﻭﻻﻴﺕ ‪ 13X‬ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻠﻀﻐﻁ‬

‫‪٦١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(Range of operation‬‬
‫ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺴﺎﺤﺔ ﺍﻟﺴﻁﺤﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ ﺘﻜﻭﻥ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ"‪ ،‬ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻟﻘﻨﺹ ﺍﻟﻐـﺎﺯﺍﺕ ﻋﻨـﺩ ﺍﻟـﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠـﻭﻱ )ﺃﻱ‬
‫ﻻﻴﺘﻁﻠﺏ ﻤﻀﺨﺔ ﺩﺍﻋﻤﺔ(‪ ،‬ﻭﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 20 µ‬ﺍﻭ ﺍﻗل ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻔﺭﻍ ﻭﻨـﺴﺒﺔ ﺤﺠـﻡ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴـﺔ ﺍﻟـﻰ ﺴـﻌﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻔﺤﺹ ﻭﺍﻻﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻻﻭل )‪:(Inspection and first use‬‬
‫ﻴﻔﻀل ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﺤﻴﺎﻥ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻓﺤﺹ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻼﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻗﺒل ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﺍﻻﻭﻟﻴﺔ ﻟﻬﺎ ﻭﺨﺎﺼـﺔ ﻓـﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺤﺭﺠﺔ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺘﺤﻭﻱ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻭﺍﻨﻬﺎ ﻤﻤﻠﻭﺀﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺏ‪ .‬ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ )ﻤﺜل‬
‫ﺍﻟﺸﺎﺸﺎﺕ‪ ،screens :‬ﻭﺍﻟﺸﺒﻜﺎﺕ‪ ... grids :‬ﺍﻟﺦ(‪ ،‬ﻫل ﺘﻡ ﺘﺭﻜﻴﺒﻬﺎ ﻭﻫﻲ ﺒﺤﺎﻟﺔ ﺠﻴﺩﺓ؟ ﻫل ﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻴﺤﺩﺙ ﺼﻭﺘﺎ"؟ ﻭﻤﺎ ﻫﻲ ﺤﺎﻟـﺔ ﻓﻠﻨﺠـﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﺍﻟﺘﻭﺼﻴﻼﺕ؟ ﻫل ﺘﺘﻁﺎﺒﻕ ﻤﻊ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ؟ ﻫل ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺒﺤﺎﻟﺔ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺠﻴﺩﺓ )ﻻﺘﻭﺠﺩ ﺨﺩﻭﺵ ﻋﻠﻰ ﺴﻁﻭﺡ ﺍﻻﺤﻜـﺎﻡ‬
‫ﺍﻭ ﺍﻟﺨﺘﻡ )‪((sealing surfaces‬؟ ﻴﺠﺏ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺤﻤﻴﺹ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻗﺒل ﺍﻭل ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻟﻬﺎ ﻭﺘﺠﺭﻯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻋﻨﺩ‬
‫ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ 250 oC‬ﻭﻟﻤﺩﺓ ‪ 24‬ﺴﺎﻋﺔ ﻟﻠﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﺯﺍﻟﺔ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺍﻟﻤﻤﺘﺯ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺯﻭﻴﻭﻻﻴﺕ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 8.2‬ﺭﺴﻡ ﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻤﺘﺯﺍﻴﺔ‪-‬ﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ‬

‫‪٦٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺘﺭﺘﻴﺏ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻲ )‪:(Typical configuration‬‬

‫ﻴﺘﻡ ﺭﺒﻁ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﻋﺎﺩﺓ" ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﺼﻤﺎﻤﺎﺕ ﺭﺌﻴﺴﻴﺔ ﺒﺎﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﺍﻟﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪.8.3‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 8.3‬ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﺍﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﺒﺤﺎﻭﻴﺔ ﻓﺭﺍﻍ‬

‫ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(operation‬‬
‫ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﻏﻠﻕ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻤﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﺭﺒﻁ ﺤﺎﻭﻴﺔ )‪ (dewar‬ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﺍﻟﻰ ﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻭﺘﻤﻠـﺊ ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﻭﺍﻟﻲ "‪ 1/2‬ﻤﻥ ﺍﻋﻼﻫﺎ ﺒﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ .‬ﻴﺴﻤﺢ ﺒﻭﻗﺕ ﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ‪ 30‬ﺩﻗﻴﻘﺔ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻟﻠﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ‪.‬‬
‫ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻟﺘﻔﺎﺩﻱ ﺍﻨﺴﻜﺎﺏ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺒﺸﺭﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺸﺤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ‪(Regeneration of cryo-sorption pumps) :‬‬
‫ﺒﻌﺩ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﻟﻤﺭﺍﺕ ﻤﺘﻌﺩﺩﺓ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺎﺯﺓ ﺴﺘﺼﺒﺢ ﻤﺸﺒﻌﺔ ﺒﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻥ ﻗﺎﺒﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﺯﺍﻟـﺔ ﺍﻟﻐـﺎﺯ ﻤـﻥ‬
‫ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺴﻭﻑ ﺘﺘﺩﻫﻭﺭ ﺒﺴﺭﻋﺔ‪ .‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﻫﺫﺍ‪ ،‬ﻴﺠﺏ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺸﺤﻥ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﻏﻠﻕ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻤـﻥ ﺍﻟﻨﻅـﺎﻡ‬
‫ﻭﻴﺴﻤﺢ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺒﺎﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻁﺭﺩ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ ﻭﺴﻭﻑ ﺘﻁﻠﻕ ﻤﻥ ﺠﺴﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﻤﻥ ﺨﻼل ﺼﻤﺎﻡ ﺘﻨﻔﻴﺱ‬
‫ﺍﻟﻀﻐﻁ‪ .‬ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺘﺎﻜﺩ ﻤﻥ ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺒﺤﺎﻟﺔ ﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﺠﻴﺩﺓ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﺍﻟﺘﺨﻠﺹ ﻤﻥ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺴﺎﻤﺔ ﺍﻭ ﺍﻟﻤﺘﻔﺠـﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﻤﻨﻁﻠﻘﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺠﻭ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻭﺠﻭﺩ ﻜﻤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻓﺎﻨﻪ ﻤـﻥ ﺍﻟﻅـﺭﻭﺭﻱ ﺍﺠـﺭﺍﺀ‬
‫ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ‪ 250 oC‬ﻟﻌﺩﺓ ﺴﺎﻋﺎﺕ ﻓﻲ ﻤﺭﺍﺤل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻋﺎﺩﺓ ﺍﻟﺸﺤﻥ‪.‬‬
‫ﺘﺸﺨﻴﺹ ﺍﻻﺩﺍﺀ )‪:(Performance characteristics‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻫﻡ ﻗﻴﻤﺔ ﻟﻠﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ‪-‬ﺍﻟﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﻫﻲ ﺴﻌﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ )ﺍﻟﻤﻌﺭﻓﺔ ﻫﻨﺎ ﺒﻭﺤﺩﺍﺕ ‪ ،(Torr-liter‬ﻭﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ )ﺍﻟﺘـﻲ‬
‫ﺘﺤﺩﺩ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯﻴﺔ ﺍﻟﻤﻔﺭﻏﺔ ﻭﺒﺎﻱ ﻜﻔﺎﺀﺓ(‪.‬‬
‫ﺴﻌﺔ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ )‪:(Pump capacity‬‬
‫ﻜل ﻏﺭﺍﻡ ﻤﻥ ﺍﻟﺯﻴﻭﻻﻴﺕ ﺍﻟﻤﺒﺭﺩ ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ )‪ (-195 C‬ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﻤﺎﻤﻘﺩﺍﺭﻩ ﺤﻭﺍﻟﻲ ‪ 30 Torr-liters‬ﻤـﻥ ﻏـﺎﺯ‬
‫‪o‬‬

‫ﺍﻟﺠﻭ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺘﺫﻜﺭ ﺍﻨﻪ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ ﻓﺎﻥ ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ‪ ،‬ﺍﻟﻨﻴﻭﻥ ﻭﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ ﻻﻴﻤﻜﻥ ﺘﻔﺭﻴﻐﻬﺎ ﻻﻨﻬﺎ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﻘﺎﻁ ﻏﻠﻴـﺎﻥ‬
‫ﺘﺤﺕ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺴﺎﺌل ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪.‬‬

‫‪٦٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :٩‬ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ )‪(Sputter Ion Pumps‬‬
‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺨﺘﺭﺍﻉ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﻟﻡ ﻴﺤﺼل ﺤﺘﻰ ﻋﺎﻡ ‪ 1950‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻗﺎﻤﺕ ﺸﺭﻜﺔ ﻓﺎﺭﻴﻥ )‪ (Varian‬ﺒﺎﺴﺘﺜﻤﺭﺕ ﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ ﻟﺠﻬـﺎﺯ‬
‫ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺒﺎﺭﺩ )ﺒﻨﻨﻙ(‪ .‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﻜﺎﻥ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎ" ﺍﻥ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤﺘﺴﺒﺏ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﻓﻲ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺒﻨﻨﻙ ﻨﺎﺘﺞ ﻤﻥ ﺩﻓﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺅﻴﻥ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﻗﻨﺹ )‪ (getter‬ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﺜل ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﻌﺩﻥ ﻓﻌﺎل ﻤﺜل ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ‪ ،‬ﻓﻘﺩ ﺘﻡ ﺍﻫﻤﺎل ﻤﻔﻬـﻭﻡ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺎﺕ ﻻﺯﺍﻟﺔ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻅﺎﻡ‪ .‬ﺒﻌﺩ ﺍﻥ ﺘﻡ ﺘﻭﻓﻴﺭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﺘﻡ ﺘﻁﺒﻴﻘﻬﺎ ﻓﻲ ﻤﺠـﺎل ﻤﺤﺎﻜـﺎﺕ ﻁﺒﻴﻌـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺤﺩﻴﺜﺔ‪ .‬ﺘﻡ ﺘﺜﺒﻴﺕ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﻀﺨﻤﺔ ﻤﺼﻨﻌﺔ ﺒﺤﺫﺭ ﻭﺘﻡ ﺍﻟﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻭﻁ ﺘﺼل ﺍﻟـﻰ ‪ .10-11Torr‬ﻟﻘـﺩ‬
‫ﻋﻤل ﻫﺫﺍ ﻋﻠﻰ ﺩﺭﺍﺴﺔ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﻗﻤﺎﺭ ﺍﻟﺼﻨﺎﻋﻴﺔ‪ ،‬ﻤﻼﺒﺱ ﺍﻟﻔﻀﺎﺀ ﻭﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺼﻭﺍﺭﻴﺦ‪ .‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻓﻲ ﺍﻨـﻭﺍﻉ‬
‫ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )‪ (UHV‬ﻭﺘﺘﻀﻤﻥ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﻋﻠﻡ ﺍﻟﺴﻁﺢ )‪ ،(Surface science technique‬ﺃﻱ ﺩﺭﺍﺴﺔ ﺍﻟﻁﺒﻘﺎﺕ ﺍﻻﻭﻟـﻰ‬
‫ﺍﻟﻘﻠﻴﻠﺔ ﻟﻠﺴﻁﺢ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ ﺫﻱ ﺍﻟﻨﻘﺎﻭﺓ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺘﺤﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )ﻤﺜـﺎل ﺫﻟـﻙ ﺍﻟﺘﺭﺴـﻴﺏ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤـﺔ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴـﺔ‪:‬‬
‫‪ .(molecular beam epitaxy‬ﺘﻌﺘﺒﺭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﻤﺜﺎﻻ" ﻟﻠﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻘﺎﻨﺼﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻤل ﺒﺩﻭﻥ ﺍﻟﺤﺎﺠﺔ ﺍﻟﻰ ﻤﻭﺍﺌﻊ‬
‫ﺍﻭ ﺃﻱ ﺍﺠﺯﺍﺀ ﻤﺘﺤﺭﻜﺔ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻴﻭﻓﺭ ﻤﺼﺩﺭﺍ" ﻨﻅﻴﻔﺎ"‪ ،‬ﻫﺎﺩﺉ ﻭﺍﻤﻴﻥ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻲ ﺠﺩﺍ" )‪ .(10-11torr‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ ﻋـﺎﺩﺓ"‬
‫ﻋﻠﻰ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺤﺴﺎﺴﺔ ﻻﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺤﺼﻭل ﺘﻠﻭﺙ ﺒﺎﻟﺯﻴﻭﺕ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺘﺸﺎﺭﻴﺔ ﺍﻟﺯﻴﺘﻴـﺔ ﻭﺍﻟﻤـﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻭﺭﺒﻭﻴـﺔ‪ .‬ﺘـﺴﺘﺨﺩﻡ ﻫـﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻜﻭﻥ ﻓﻴﻬﺎ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﻏﻴﺭ ﻤﻬﻡ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﻨﻅﺎﻓﺔ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒﺔ ﻭﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻀـﻐﻁ ﺍﺴـﺎﺱ‬
‫ﻗﻠﻴل ﺠﺩﺍ"‪.‬‬
‫ﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻴﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ )‪:(Sputter ion pump characteristics‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﻭﺼﻑ ﺍﻟﺨﺼﺎﺌﺹ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻟﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﺍﻟﺜﻼﺜﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ )‪:(Pumping speed‬‬
‫ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﺍﻟﺤﺎل ﻤﻊ ﺃﻱ ﻤﻀﺨﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻓﺎﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺴﺘﺤﺩﺩ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴـﺎﺱ ﺍﻟﻤﺜـﺎﻟﻲ )‪ (ultimate base pressure‬ﻟﺤﻤـل ﺍﻟﻐـﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﻁﻰ‪ .‬ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺍﺨﺭﻯ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ‪ ،‬ﺘﻤﻠﻙ ﺴﺭﻋﺔ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻔﺭﻍ )ﺍﻨﻅـﺭ ﺍﻟﺠـﺩﻭل ‪ .(9.1‬ﻓﻤـﺜﻼ" ﻴﻔـﺭﻍ ﻏـﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ ﺒﻤﻌﺩل ﺍﺴﺭﻉ ﻨﺴﺒﻴﺎ" ﻤﻥ ﻏﺎﺯ ﺍﻻﺭﻜﻭﻥ‪ .‬ﻟﺫﻟﻙ ﻓﺎﻨﻪ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻬﻡ ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﻟﻠﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﻤﻨﺎﺴﺏ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 9.1‬ﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻟﺴﺭﻉ ﺍﻟﺘﻔﺭﻍ ﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪.‬‬

‫‪ -٢‬ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺩﺍﻴﺔ )‪:(Starting pressure‬‬
‫ﻴﺠﺏ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻭﻟﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﻀﻐﻁ ﻤﻘﺒﻭل )‪ 2 × 10 Torr‬ﺍﻭ ﺍﻗل( ﻗﺒل ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺘﺸﻐﻴﻠﻬﺎ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‬
‫‪-2‬‬

‫ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻀﺨﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺍﻤﺘﺯﺍﺯﻴﺔ ﺯﻤﻬﺭﻴﺭﻴﺔ ﺍﻭ ﻤﻀﺨﺔ ﺠﺎﻓﺔ ﻟﻤﻨﻊ ﺃﻱ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﺴﺘﺭﺠﺎﻉ ﻋﻜﺴﻴﺔ ﻟﻠﺯﻴﺕ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ ﺍﻭ ﺍﻟـﻰ ﺠـﺴﻡ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻴﻀﺎ" ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻓﺭﺍﻍ ﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﻤﺤﻜﻤﺔ ﺯﻴﺘﻴﺔ ﻤﻊ ﻤﺼﺎﺌﺩ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﻠﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻻﻭﻟﻲ ﻟﻠﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﻭﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﻤﺒﺩﺃ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل )‪:(Operating principle‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻭﺠﺩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﺓ ﺒﺎﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﺨﻠﻴﺔ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ ﺍﻭ ﻤﺘﻌﺩﺩﺓ ﺍﻟﺨﻼﻴـﺎ ﻭﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ ﺘﻭﺠـﺩ ﺒﺘـﺼﻤﻴﻡ ﺼـﻤﺎﻡ ﺜﻨـﺎﺌﻲ ﺍﻭ ﺜﻼﺜـﻲ‬
‫)‪ .(diode or triode‬ﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﺍﻟﺤﺎل ﻤﻊ ﺠﻤﻴﻊ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﻗﻨﺹ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﻻﺘﺘﻁﻠﺏ ﻤﻀﺨﺎﺕ ﺩﻋـﻡ ﻭﺍﻥ ﻟﻬـﺎ ﻋﻤـﺭ‬
‫ﺘﺸﻐﻴل ﻤﺤﺩﺩ ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﺴﻌﺘﻬﺎ‪.‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻥ ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺜﻼﺙ ﻤﻴﻜﺎﻨﻜﻴﺎﺕ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻻﻤﺘﺯﺍﺯ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ )‪.(Chemisorption‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﺩﻓﻥ ﺍﻻﻴﻭﻨﻲ )‪.(Ion burial‬‬

‫‪٦٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫‪ -٣‬ﺍﻟﺩﻓﻥ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻱ )‪.(Physicsl burial‬‬
‫ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻴﺘﻡ ﺘﺭﺫﻴﺫ ﻤﻌﺩﻥ ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ )ﺘﺤﺭﻴﺭ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻘﺼﻑ ﺍﻻﻴﻭﻨﻲ( ﻤﻥ ﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ ﻫﻭ ﻤﻌـﺩﻥ ﻓﻌـﺎل‬
‫ﺠﺩﺍ" ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺴﻭﻑ ﻴﺘﻔﺎﻋل ﻜﻴﻤﻴﺎﺌﻴﺎ" ﻤﻊ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻔﻌﺎل ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩ )ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻭﺍﻟﻬﻴﺩﺭﻭﺠﻴﻥ( ﻟﺘﻜﻭﻴﻥ ﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﻤـﺴﺘﻘﺭﺓ‪ ،‬ﻭﺒﺎﻟﺘـﺎﻟﻲ ﺍﺯﺍﻟـﺔ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺫﻟﻙ ﻓﺎﻨﻪ ﻴﺘﻡ ﺘﺎﻴﻴﻥ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﺒﺎﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻘﻴﺩﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻭﺭﺒﺘﺎﻻﺕ ﻓـﻲ ﺍﻨﺒـﻭﺏ ﺍﻻﻨـﻭﺩ‬
‫ﺒﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺨﺎﺭﺠﻲ ﻗﻭﻱ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﻌﺠﻴل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺅﻴﻨﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪ .‬ﻋﻨـﺩ ﺍﻟﺘـﺼﺎﺩﻡ ﺘـﺼﺒﺢ‬
‫ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﺩﻓﻭﻨﺔ ﻓﻲ ﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ‪ ،‬ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﺭﺫﺫ )‪ (Sputter‬ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﻤل ﻜﻘﺎﻨﺹ ﻭﻜﻤﺎ ﺘﻡ ﺸﺭﺤﻪ ﺴﺎﺒﻘﺎ"‪.‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﺒﺩﺃ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﺘﻜﻭﻥ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﺤﺎﺼﻠﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ"‪ ،‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﻤﺭﻭﺭ ﺘﻴﺎﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻋﺎﻟﻲ ﻓﻲ ﺍﻟﻤـﻀﺨﺔ‪ .‬ﺴـﺘﺭﺘﻔﻊ ﺩﺭﺠـﺔ ﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﻴﺔ ﺍﻭ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺨﻥ ﺨﻼل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺭﺤﻠﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل‪ .‬ﻭﺒﻌﺩ ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺘﻘﻠﻴل ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺴﺘﻌﻤل ﻋﻠـﻰ ﺴـﺤﺏ‬
‫ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻗل ﺒﻜﺜﻴﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻤﻥ ﻤﺠﻬﺯ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ‪ ،‬ﻭﺴﺘﺯﺩﺍﺩ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل‪ .‬ﺍﻥ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺴﺤﺒﻬﺎ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺨـﻼل ﺍﻟﺘـﺸﻐﻴل‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤﻊ ﺭﺴﻭﻡ ﺘﺤﻭﻴل ﻤﺠﻬﺯﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﻨﻊ ﻟﺘﺤﺩﻴﺩ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 9.1‬ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﻓﺭﺍﻍ ﺍﻴﻭﻴﻨﺔ ﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺒﺨﻠﻴﺔ ﻭﺍﺤﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻤﻁﺒﻘﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻻﻨﻭﺩ ﻭﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ‬
‫ﺍﻭﻟﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﻘﻴﺩﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻭﺭﺒﺘﺎﻻﺕ ﺘﺩﻭﺭ ﻀﻤﻥ ﺍﻻﻨﻭﺩ‪ .‬ﺍﻥ ﺘﺼﺎﺩﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﻭﻟﻴﺔ ﻤﻊ ﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺘﻌﺎﺩل ﻴﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺘﺎﻴﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ‪.‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺘﻌﺠﻴل ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩﺍﺕ ﻭﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺩﻓﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻭ‪ /‬ﺍﻭ ﺘﺭﺫﻴﺫ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ )ﺍﻟﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ(‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 9.1‬ﻤﻘﻁﻊ ﻋﺭﻀﻲ ﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻴﻭﻨﻴﺔ ﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ )‪ (9.2‬ﻴﻭﻀﺢ ﺘﻔﺎﺼﻴل ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﺼل ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ‪ .‬ﻓﻌﻨﺩ ﺍﻟﻤﻭﻗﻊ ‪ C‬ﺘﺤﺼل ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﺘـﺎﻴﻥ ﻟـﺫﺭﺓ ﺍﻟﻐـﺎﺯ‬
‫ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻻﻭﻟﻲ‪ ،‬ﺍﻤﺎ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻤﻭﻗﻊ ‪ B‬ﻓﻴﺤﺼل ﺘﺼﺎﺩﻡ ﻟﻼﻴﻭﻥ ﻤﻊ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺘﺤﺭﻴﺭ ﺫﺭﺓ ﺘﻴﺘﺎﻨﻴﻭﻡ‪ ،‬ﺍﻤﺎ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻤﻭﻗﻊ ‪ A‬ﻓﺎﻨـﻪ‬
‫ﺘﺤﺼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺩﻓﻥ ﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻲ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪9.2‬‬

‫‪٦٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :١٠‬ﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ )‪(Partial pressure analysis‬‬

‫ﻟﻘﺩ ﺘﻡ ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺼﻭل ﺍﻟﺴﺎﺒﻘﺔ ﻭﺼﻑ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻗﻴﺎﺱ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺘﺸﺘﺭﻙ ﺒﺨﺎﺼﺔ ﻭﺍﺤﺩﺓ‪ :‬ﺍﻨﻬﺎ ﺘﻌﻁـﻲ‬
‫ﻗﻴﻤﺔ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻜﻠﻲ‪ .‬ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﺜﺎﻨﻴﺔ ﻓﺎﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﺘﻭﻓﺭ ﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺍﻜﺜﺭ ﺤﻭل ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﺘﻲ‬
‫ﺘﺘﺒﻊ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﻔﺭﻴﻎ )ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻴﺩﻋﻰ ﺒﺎﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺘﺒﻘﻴﺔ‪ .(Residual gases :‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﻤﻌﻁﺎﺕ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟـﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌـﻲ‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻨﻭﻋﻴﺔ )ﺘﺤﺩﻴﺩ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ(‪ ،‬ﺍﻭ ﻜﻤﻴﺔ )ﺘﻌﻁﻲ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻟﻜل ﻏﺎﺯ(‪ .‬ﻭﺤﻴﺜﻤﺎ ﻴﺘﻭﻗﻊ ﺍﺤﺩﻨﺎ ﻓﺎﻥ ﻫـﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﺩﺩ ﻭﺘﻘﻴﺱ ﺍﻟﻀﻐﻭﻁ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻴﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﻨﻔﺭﺩﺓ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻌﺎﻤﻠﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺘﻌﻘﻴﺩﺍ" ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤـﻊ ﺍﺠﻬـﺯﺓ‬
‫ﻗﻴﺎﺱ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺴﻴﻁﺔ‪ .‬ﺘﻌﻤل ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﺍﻭ ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺘﺒﻘﻲ ﻜﻤﺎ ﻴﺸﺎﺭ ﺍﻟﻴﻬﺎ ﻋﺎﺩﺓ )‪(Residual gas analyzers: RGA's‬‬
‫ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺘﺄﻴﻥ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻤﻥ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻭﻓﺼل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻰ ﻤﺠﺎﻤﻴﻊ ﻤﺤﺩﺩﺓ ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﻜﺘﻠﻬﺎ ﻭﻤﻥ ﺜﻡ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﻋـﺩﺓ ﻟﻜﻤﻴـﺔ‬
‫ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﻓﻲ ﻜل ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﻔﺎﺼﻴل ﻟﻜل ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺨﻁﻭﺍﺕ ﺴﻴﺘﻡ ﺸﺭﺤﻬﺎ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل‪ .‬ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺍﻥ ﻤﺒﺎﺩﺉ ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ )ﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺄﻴﻨﺔ ﻋﻠﻰ ﻤﺒﺩﺉ ﺍﺨﺘﻼﻑ ﺍﻟﻜﺘل( ﻜﺎﻥ ﻤﻌﺭﻭﻓﺎ" ﻤﻨﺫ ﻋﺎﻡ ‪ 1918‬ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﻌﻤﻠﻲ ﻓﻲ ﻤﺠﺎل ﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻟﻡ ﻴﺘﻡ ﺍﻻﺴﺘﻔﺎﺩﺓ ﻤﻨﻪ ﺤﺘﻰ ﻋـﺎﻡ‬
‫‪ .١٩٦٠‬ﻟﻘﺩ ﻗﺎﻡ ﻜﺎﺴﻭﻴل )‪ (Caswell‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﻓﻲ ﺍﻟﺒﺭﻫﻨﺔ ﻋﻠﻰ ﻤﻴﺯﺓ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻔﺎﻴﺘﻭﻥ ﻜﻁـﻭﻕ ﺍﺤﻜـﺎﻡ )‪(viton gasket‬‬
‫ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﻁﺎﻁﻴﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ )‪ (elastomer seals‬ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻤﻠﻔﺎﺕ ﻤﺯﻨﺭ )‪ (Meissner coils‬ﻭﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻟﻘﺎﻨﺼﺔ )‪.(getter pumps‬‬
‫ﻨﺴﺘﻁﻴﻊ ﺍﻟﻴﻭﻡ ﺍﻻﺨﺘﻴﺎﺭ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﺒﺸﻜل ﻤﻼﺌﻡ ﺍﻟﻰ ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ ﺍﻟﻘﻴﺎﺴـﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺘﺘﻀﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﺼﻐﻴﺭﺓ‪ ،‬ﺒﺴﻴﻁﺔ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻭﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﻨﺴﺒﻴﺎ" ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻤﺭﺍﻗﺒﺔ ﻏﺎﺯﺍﺕ ﻤﺤﺩﺩﺓ ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴـﺔ ﻋﻤﻠﻴـﺔ‬
‫ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ ،‬ﺍﻟﻰ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻜﺒﻴﺭﺓ‪ ،‬ﺍﻟﺤﺴﺎﺴﺔ ﺠﺩﺍ" ﻭﺍﻟﻤﻜﻠﻔﺔ ﺠﺩﺍ" ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻔﺤﺹ ﺩﻗﺎﺌﻕ ﺼﻐﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ" ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ‪ .‬ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤﻥ ﺘﻭﻓﺭ ﺒﻀﻊ ﺍﻨﻭﻉ ﻤﻥ‬
‫ﺍﻟﻁﺭﻕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻔﺼل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﻓﺎﻨﻨﺎ ﺴﻨﺼﻑ ﻫﻨﺎ ﻁﺭﻴﻘﺘﺎﻥ ﻤﻬﻤﺘﺎﻥ ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﺒﺸﻜل ﺘﺠﺎﺭﻱ ﻟﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌـﻲ‪ :‬ﺍﻟﻔـﺼل ﺒﺎﻟﻤﺠـﺎل‬
‫ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ )‪ (magnetic field separation‬ﻭﺍﻟﻔﺼل ﺒﺎﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ )‪ .(electric field separation‬ﺍﻟﺸﻜل ﺍﻟﺘـﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀـﺢ ﺍﻻﻨـﻭﺍﻉ‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺭﻭﻓﺔ ﻻﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻔﺼل ﺍﻟﻤﻜﺎﻨﻴﺔ )‪ (Spatial separation‬ﻭﺍﻟﺯﻤﺎﻨﻴﺔ )‪.(Temporal separation‬‬

‫ﺴﻨﻘﻭﻡ ﻭﺒﺸﻜل ﻤﺤﺩﺩ ﺒﻤﻨﺎﻗﺸﺔ ﻤﺒﺎﺩﺉ ﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﻨﻭﻉ ﺭﺒﺎﻋﻲ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ )‪ (quadrupole sector‬ﻭﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴـﺴﻲ‬
‫)‪ .(magnetic sector‬ﺍﻥ ﻜﻼ ﻫﺎﺫﻴﻥ ﺍﻟﻨﻭﻋﻴﻥ ﻴﻘﻊ ﺘﺤﺕ ﺘﺼﻨﻴﻑ ﺍﻟﻔﻭﺍﺼل ﺍﻟﻤﻜﺎﻨﻴﺔ‪ ،‬ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻔﺼل ﻓﻴﺯﻴﺎﺌﻴﺎ" ﺍﻟﺤﺯﻡ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﻋﻠﻰ ﻤﺒﺩﺃ ﻨـﺴﺒﺔ‬
‫ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ )‪.(mass-to-charge ratio‬‬
‫ﻤﻥ ﺠﻬﺔ ﻤﻐﺎﻴﺭﺓ ﻓﺎﻥ ﻤﻁﺎﻴﻴﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﻨﻭﻉ ﺯﻤﻥ ﺍﻟﻁﻴﺭﺍﻥ )‪ (time of flight‬ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻔﺭﻕ ﻓﻲ ﺴﺭﻉ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻜﺘل ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻜﻭﺴـﻴﻠﺔ‬
‫ﻟﻠﻔﺼل‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﻓﻬﻡ ﻋﻤل ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﻓﻭﺍﺼل ﺍﻟﻜﺘل ﻤﻥ ﻋﻤل ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻟﻨﻀﻭﺡ‪ .‬ﺍﻥ ﻜﻭﺍﺸﻑ ﺍﻟﻨﻀﻭﺡ ﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ ﻫـﻲ ﻓـﻲ ﺍﻟﺤﻘﻴﻘـﺔ‬
‫ﻤﺤﻠﻼﺕ ﻀﻐﻁ ﺠﺯﺌﻲ )ﻋﺎﺩﺓ" ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ( ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺩﺍﺭ ﺩﺍﺌﻤﺎ" ﻟﻜﺸﻑ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻔﺤﺹ ﻤﺜل ﺍﻟﻬﻠﻴﻭﻡ‪.‬‬

‫‪٦٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺘﺄﻴﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ )‪:(Ionization of gas‬‬
‫ﺒﺎﻟﺭﻏﻡ ﻤـﻥ ﺘـﻭﻓﺭ ﻁـﺭﻕ ﺍﺨـﺭﻯ ﻟﺘـﺄﻴﻥ ﻏـﺎﺯﺍﺕ ﻀـﻐﻁ ﺍﻟﻔـﺭﺍﻍ )ﻤﺜـل ﺍﻨﺒﻌـﺎﺙ ﺍﻟﻤﺠـﺎل‪ field emission :‬ﻭﺍﻟﺘـﺄﻴﻥ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴـﺎﻭﻱ‪:‬‬
‫‪ ،(chemical ionization‬ﻓــﺎﻥ ﺍﻜﺜــﺭ ﺍﻟﺘﻘﻨﻴــﺎﺕ ﺍﺴــﺘﺨﺩﺍﻤﺎ" ﻟﻤﺤﻠــﻼﺕ ﺍﻟــﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌــﻲ ﻫــﻲ ﺘــﺄﻴﻥ ﺘــﺼﺎﺩﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘــﺭﻭﻥ‬
‫)‪ .(electron-impact ionization‬ﺍﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻤﻌﺩﻥ ﺍﻟﻤﺴﺨﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﺒﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺴﺘﺎﺘﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻨﻭﺩ‪ ،‬ﺍﻭ ﺍﻟﻰ‬
‫ﺼﻔﻴﺤﺔ ﺠﺎﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﺴﻠﻴﻁ ﻤﺠﺎل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ‪ .50-150 V DC‬ﻓﻲ ﺍﻟﻁﺭﻴﻕ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻨﻭﺩ‪ ،‬ﺴﺘﺼﻁﺩﻡ ﺒﻌﺽ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨـﺎﺕ ﺒﺠﺯﻴﺌـﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ‪ ،‬ﻓﺘﻘﻭﻡ ﺒﻨﺯﻉ ﻭﺍﺤﺩ ﺍﻭ ﺍﻜﺜﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻐﻼﻑ ﺍﻟﺨﺎﺭﺠﻲ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﻭﻟﺩ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﻤﻭﺠﺒﺔ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻥ ﺘﻨﻘـﺴﻡ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺍﺠﺯﺍﺀ )‪ (fragments‬ﺨﻼل ﺘﻠﻙ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪ ،‬ﻭﺍﻥ ﻜل ﺠﺯﺀ ﻜﺎﻴﻭﻥ ﻤﻭﺠﺏ ﺴﻭﻑ ﺘﻔﺼل ﻜﺘﻠﻴﺎ" ﻭﺘﻔﺤﺹ ﺒﺎﻟﻤﻁﻴﺎﻑ‪ .‬ﺘﺼﻨﻊ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻓﻲ‬
‫ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺴﺒﺎﺌﻙ ﻭﺍﻟﻤﻌﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﻠﺤﺭﺍﺭﺓ‪ ،‬ﻭﻜل ﻭﺍﺤﺩﺓ ﻤﻨﻬﺎ ﺘﻤﻠﻙ ﺨﻭﺍﺹ ﻤﻤﻴﺯﺓ ﺘـﺼﺒﺢ ﻤﻬﻤـﺔ ﻋﻨـﺩ‬
‫ﺍﺠﺭﺍﺀ ﺍﻟﻌﻤل ﺍﻟﻤﺤﺩﺩ ﻋﻠﻴﻬﺎ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﺘﻨﻜﺴﺘﻥ ﺍﻟﻨﻘﻴﺔ ﺴﺘﺒﻌﺙ ﻜﻤﻴﺎﺕ ﻤﻥ ﺜﻨﺎﺌﻲ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﻜﺎﺭﺒﻭﻥ ﻭﺍﻭل ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﻜﺎﺭﺒﻭﻥ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ‬
‫ﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺍﻻﺭﻴﺩﻴﻭﻡ )‪ (Iridium‬ﺍﻟﻤﻌﺎﻟﺠﺔ ﺒﺎﻟﺜﻭﺭﻴﻭﻡ )‪ (thorium‬ﻟﻼﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻋﻨﺩ ﻭﺠﻭﺩ ﻀﻐﻭﻁ ﺠﺯﺌﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅـﺔ ﺍﻥ‬
‫ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺍﺕ )‪ (thoriated iridium‬ﺘﻜﻭﻥ ﺤﺴﺎﺴﺔ ﻟﻠﺘﻠﻭﺙ ﺒﺎﻟﻬﻴﺩﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﺎﺕ‪ .‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﻫﺫﺍ ﻓﺎﻥ ﺍﻨﺒﻌﺎﺙ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺴﻭﻑ ﻴﻬﺒﻁ‪ .‬ﺍﻻﻨـﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﺨﺘﻠﻔـﺔ ﻤـﻥ ﺍﻟـﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺫﺍﺕ ﺍﻻﻏـﺭﺍﺽ ﺍﻟﺨﺎﺼـﺔ ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻥ ﺘـﺼﻨﻊ ﻤـﻥ ﺍﻟﺭﻴﻨﻴـﻭﻡ )‪ (rhenium‬ﺍﻭ‬
‫)‪.(lanthanum hexaboride‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.1‬ﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﺅﻴﻥ ﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ‬

‫ﻻﺘﺨﺭﺝ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺩﺨل ﺍﻟﻤﺅﻴﻥ ﻭﺘﺨﺭﺝ ﻤﻥ ﺍﻟﺠﻬﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻟﻠﺠﻬﺎﺯ ﻜﺎﻴﻭﻨﺎﺕ‪ .‬ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺠﻬﺩ ﺘﻌﺠﻴل ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺜﺎﺒﺕ )ﻤﺜﻼ" ‪ ،(70 V‬ﻓﺎﻥ‬
‫ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﺘﺄﻴﻥ ﺘﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻐﺎﺯ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪.(10.1‬‬

‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 10.1‬ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﺘﺄﻴﻥ ﺒﺘﺼﺎﺩﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﻤﻌﺭﻭﻓﺔ )‪(70 eV electron‬‬

‫‪٦٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻤﺘﻼﻙ ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺎﺕ ﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻤﻌﻁﺎﺓ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﺴﺘﺠﺎﺒﺔ ﻜل ﻏﺎﺯ ﻟﻠﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺒﻁﺎﻗﺎﺕ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ ﻴﻌﺘﺒﺭ ﺸﻲﺀ ﻨﺎﺩﺭ‪ .‬ﻟﺤـﺴﻥ ﺍﻟﺤـﻅ ﻓـﺎﻥ‬
‫ﺍﻨﺘﺎﺝ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺒﺎﻟﺘﺼﺎﺩﻡ ﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻟﻜل ﻏﺎﺯ ﻴﺘﻨﺎﺴﺏ ﻁﺭﺩﻴﺎ" ﻤﻊ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻤﺭﻜﺏ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪.‬‬
‫ﺘﻌﺠﻴل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ )‪:(Acceleration of ions‬‬
‫ﺤﺎﻟﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﻓﻲ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﺄﻴﻥ‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﺘﻌﺠﻴﻠﻬﺎ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ )‪ (mass separator‬ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺠﺎل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻋﻠﻰ ﻤﺠﻤﻭﻋـﺔ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻔﺘﺤﺎﺕ )‪ (apertures‬ﺘﺩﻋﻰ ﺒﻔﺘﺤﺔ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل )‪ (accelerating aperture‬ﺍﻭ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟـﺩﺨﻭل )‪ .(entrance aperture‬ﺍﻥ ﺍﻟﺩﺭﺠـﺔ ﺍﻟﺘـﻲ‬
‫ﺘﺘﻌﺠل ﻓﻴﻬﺎ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﻫﻲ ﺩﺍﻟﺔ ﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻻﻴﻭﻥ‪ ،‬ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻭﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل )‪ (Va‬ﻋﻠﻰ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟﺩﺨﻭل‪ .‬ﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺒﺸﺤﻨﺔ ﻤﻨﻔـﺭﺩﺓ‪ ،‬ﺍﻟﻤﻌﺠﻠـﺔ‬
‫ﺒﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺜﺎﺒﺘﺔ )‪ (Va‬ﻓﺎﻥ ﺴﺭﻋﺔ ﺘﻌﺠﻴل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻋﻅﻡ ﻤﺎﻴﻤﻜﻥ ﻟﻼﻴﻭﻨﺎﺕ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻭﺍﻁﺌﺔ ﻭﺍﻗل ﻤﺎﻴﻤﻜﻥ ﻟﻼﻴﻭﻨﺎﺕ ﺫﺍﺕ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﻓـﻲ‬
‫ﺒﻌﺽ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﻤﻁﺎﻴﻴﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻐﻴﻴﺭ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﻤﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﺍﻭﻟﻴﺔ ﻭﺍﻁﺌﺔ ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﻤﺴﺎﻋﺩﺓ ﻓﻲ ﻓﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ‪ .‬ﺍﻤـﺎ ﺍﻟﻘﻴﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺔ ﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻻﻨﺤﻴﺎﺯ ﻋﻠﻰ ﻓﺘﺤﺎﺕ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﻓﻬﻲ ﻋﻨﺩ )‪.(1-5 kV DC‬‬
‫ﻓﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ )‪:(Mass separation‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﺍﻟﺘﻁﺭﻕ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺍﻟﻰ ﻨﻭﻋﻴﻥ ﻤﻥ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﻓﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ )ﺍﻟﻔﺼل ﺒﺎﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺭﺒﺎﻋﻲ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ ﻭﺍﻟﻔﺼل ﺒﺎﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ(‪.‬‬
‫ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ )‪:(Magnetic sector mass separator‬‬
‫ﻴﻌﺘﺒﺭ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﺍﻻﺴﻬل ﻟﻠﻔﻬﻡ ﻤﻥ ﺒﻴﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻨﻭﺍﻉ‪ .‬ﺘﻬﺎﺠﺭ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﻤـﻥ ﺍﻟﻤـﺅﻴﻥ ﻭﺘﻌﺠـل ﺒﻭﺍﺴـﻁ ﺸـﻕ ﺍﻟـﺩﺨﻭل‬
‫)‪ (entrance slit‬ﻭﺍﻟﺫﻱ ﺘﺩﺨل ﺍﻟﻰ ﻤﺠﺎل ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻗﻭﻱ )ﻴﻭﻟﺩ ﻋﺎﺩﺓ" ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺩﺍﺌﻡ(‪ .‬ﻭﺘﺤﺕ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻓﺎﻥ ﻤﺴﺎﺭ‬
‫)‪ (Trajectory‬ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺴﺘﻨﺤﻨﻲ ﻁﺒﻘﺎ" ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﺩﻨﺎﻩ‪.‬‬

‫ﺤﻴﺙ ﺍﻥ‪:‬‬
‫‪ = r‬ﻨﺼﻑ ﻗﻁﺭ ﺍﻟﺘﻜﻭﺭ ﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻻﻴﻭﻥ )‪.(m‬‬
‫‪ = B‬ﺸﺩﺓ ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ )‪.(Tesla‬‬
‫‪ = M‬ﺍﻟﻭﺯﻥ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﻲ ﻟﻼﻴﻭﻥ )‪.(gm/mole‬‬
‫‪ = Va‬ﺠﻬﺩ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل )‪.(Volts‬‬
‫‪ = z‬ﺸﺤﻨﺔ ﺍﻻﻴﻭﻥ‬
‫ﻜﻤﺎ ﻴﻘﺘﺭﺡ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.2‬ﻭﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻅﺭﻭﻑ ) ﻟﺠﻬﺩ ﺘﻌﺠﻴل ﻭﺸﺩﺓ ﻤﺠﺎل ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ( ﻓﺎﻨﻪ ﻓﻘﻁ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟـﻰ ﺸـﺤﻨﺔ‬
‫ﻤﺤﺩﺩﺓ ﺴﻭﻑ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺼﺤﻴﺢ ﻟﻠﻤﺭﻭﺭ ﺨﻼل ﺍﻟﺸﻕ ﻗﺒل ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺎﺸﻑ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.2‬ﺭﺴﻡ ﺒﺴﻴﻁ ﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﻓﺎﺼل ﻜﺘﻠﺔ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ‪.‬‬

‫‪٦٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻥ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺴﺘﻨﺤﺭﻑ ﺒﺸﻜل ﺍﻗل ﺒﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﻭﺘﺘﺎﺭﺠﺢ ﺒﻌﻴﺩﺍ" ﻋﻥ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟﺨﺭﻭﺝ )‪.(exit aperture‬‬
‫ﻭﺒﻨﻔﺱ ﺍﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﺍﻗل ﻓﺎﻥ ﻤﺴﺎﺭﺍﺘﻬﺎ ﺴﺘﻨﺤﺭﻑ ﺒﺸﻜل ﻜﺒﻴﺭ ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﺍﻟﻤﺠـﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴـﺴﻲ‬
‫ﻭﺴﺘﻤﻨﻊ ﺍﻴﻀﺎ" ﻤﻥ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺎﺸﻑ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻓﺘﺤﺔ ﺍﻟﺨﺭﻭﺝ‪.‬‬
‫ﻋﻤﻠﻴﺎ"‪ ،‬ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻟﻠﻜﺘﻠﺔ ﺒﺘﻐﻴﻴﺭ ﺠﻬﺩ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﻓﻘﻁ ﺴﻴﺘﻁﻠﺏ ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﻗﺎﺩﺭ ﻋﻠﻰ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﻓﻭﻟﺘﻴﺎﺕ ﺍﻜﺘـﺴﺎﺡ )‪(sweep voltages‬‬
‫ﻤﺴﺘﻘﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﻁﻭل ﻤﻌﺩل ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺤل ﺍﻟﻌﻤﻠﻲ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻟﻤﺸﻜﻠﺔ ﻫﻭ ﺘﻘﺴﻴﻡ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﺍﻟﻰ ﻗﺴﻤﻴﻥ ﺍﻭ ﺜﻼﺜﺔ ﺍﻗﺴﺎﻡ‪ ،‬ﻭﺍﻟﻰ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ‬
‫ﻤﻐﺎﻨﻴﻁ ﺩﺍﺌﻤﻴﺔ ﻤﺘﻌﺩﺩﺓ ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻁﺭﻴﻘﺔ ﻤﺴﺢ ﻤﻌﺩل ﻭﺤﺩﺓ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﺫﺭﻴﺔ )‪ (AMU‬ﻤﻥ ‪ 2‬ﺍﻟﻰ ‪ 50‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺩﺍﺌﻡ ﺒـﺸﺩﺓ ‪،0.1Tesla‬‬
‫ﺒﻴﻨﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﻤﺴﺢ ﻤﻌﺩل ‪ 50‬ﺍﻟﻰ ‪ 300 AMU‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺒﺸﺩﺓ ‪ .0.25 Tesla‬ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﻁﺎﻴﻴﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﻜﻠﻔﺔ ﻤﻐﺎﻨﻴﻁ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‬
‫ﺒﺩﻻ" ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻐﺎﻨﻴﻁ ﺍﻟﺩﺍﺌﻤﻴﺔ‪ .‬ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻟﻤﻐﺎﻨﻴﻁ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺸﺩﺓ ﻤﺠﺎل ﻤﺘﻐﻴﺭ ﻴﻌﺘﻤﺩ ﻋﻠﻰ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺍﻟﻤﺎﺭ ﺨـﻼل ﻤﻠﻔـﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ‪.‬‬

‫ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺒﺎﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺭﺒﺎﻋﻲ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ )‪:(Quadrupole mass separator‬‬

‫ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤﻁﺎﻴﻴﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺭﺒﺎﻋﻴﺔ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺒﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﻤﺴﺘﻤﺭﻩ ﻭﻤﺘﻨﺎﻭﺒﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﻓﺼل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﻨـﺴﺒﺔ ﺍﻟﻜﺘﻠـﺔ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.3‬ﺘﻤﺜﻴل ﻤﺒﺴﻁ ﻟﻠﺩﺍﺌﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﻤﺠﻬﺯﺓ ﻟﻠﻔﻭﻟﺘﻴﺎﺕ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﻭﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺒﺔ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻗﻀﻴﺏ ﻓﻲ ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺭﺒﺎﻋﻲ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ‪.‬‬

‫ﻭﻜﻤﺎ ﻴﻔﺘﺭﺽ ﺍﻻﺴﻡ‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﻫﻨﺎﻙ ﺍﺭﺒﻌﺔ ﺍﻗﻁﺎﺏ )‪ (poles‬ﺍﻭ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﺩﺍﺕ ﺒﺸﻜل ﻗﻀﻴﺏ )‪ (rod-shaped electrodes‬ﻓﻲ ﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠـﻪ ﺭﺒـﺎﻋﻲ‬
‫ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﻓﺼل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻟﻼﻴﻭﻨﺎﺕ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ ﻤﺭﺘﺒﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺒﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﻜل ﺯﻭﺝ ﻤﺭﺒﻭﻁ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺎ" ﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﺒﻴﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ .10.3‬ﻤﺠﻤﻭﻋـﺔ ﻭﺍﺤـﺩﺓ ﻤـﻥ ﺍﻻﻗﻁـﺎﺏ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﻌﺎﻜﺴﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺎﻨﺤﻴﺎﺯ ﻤﻭﺠﺏ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﺒﺘﻴﺎﺭ ﻤﺴﺘﻤﺭ )‪ ،(DC‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﺍﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﻘﻁﺒﻴﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺎﻨﺤﻴﺎﺯ ﺴﺎﻟﺏ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ‬
‫ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﺍﺨﺭ ﻨﻭﻉ )‪ .(DC‬ﻫﻨﺎﻙ ﺘﻴﺎﺭ ﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﺒﺘﺭﺩﺩ ﺭﺍﺩﻴﻭﻱ )‪ (RF‬ﻤﻭﺍﻓﻕ ﻟﻠﻔﻭﻟﺘﻴﺔ )‪ (DC‬ﻭﻤﻁﺒﻕ ﻋﻠﻰ ﻤﺠﻤﻭﻋﺘﻲ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﺩﺍﺕ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﺜﺒﻴـﺕ‬
‫ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ ﻓﻲ ﻤﻭﺍﻗﻊ ﻤﺤﺩﺩﺓ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﺒﻌﻀﻬﺎ ﺍﻟﺒﻌﺽ ﻭﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻟﻠﻤﻁﻴﺎﻑ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺩﺴﻜﺎﺕ ﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ ﻤﺸﻜﻠﺔ ﺒﺩﻗﺔ‪ .‬ﻴﺤﻭﻱ ﻜـل‬
‫ﺩﺴﻙ ﻋﻠﻰ ﺍﺭﺒﻌﺔ ﺜﻘﻭﺏ ﻟﺘﺜﺒﻴﺕ‪ ،‬ﻭﺘﺭﺼﻴﻑ ﻭﺍﻟﻌﺯل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻟﻠﻘﻀﺒﺎﻥ ﺍﻻﺭﺒﻌﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺜﺒﺘﺎﺕ ﺍﻟﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ ﺘﺴﻤﺢ ﻟﻠﻘـﻀﺒﺎﻥ ﺒﺎﻋـﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﺜﺒﻴـﺕ‬
‫ﺒﺸﻜل ﺼﺤﻴﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺒﻌﺩ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻨﻅﻴﻑ ﻋﻠﻴﻬﺎ‪.‬‬
‫ﺘﻌﻤل ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﻤﻭﺠﺏ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﺠﻬﺯ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ )‪ (DC‬ﻜﻤﺭﺸﺢ ﻤﺭﻭﺭ ﺴﺭﻴﻊ )‪ (high-pass‬ﻴﺠﻤﻊ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ‬
‫ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪ .‬ﺍﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻻﺨﺭﻯ ﻤﻥ ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺴﺎﻟﺏ ﺍﻟﻤﺠﻬﺯﺓ ﻤﻥ ﻤﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻻﺨـﺭ ﺘﻌﻤـل‬
‫‪٦٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻜﻤﺭﺸﺢ ﻟﻤﺭﻭﺭ ﺒﻁﺊ )‪ (low-pass‬ﻭﻴﺠﻤﻊ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﺒﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﺍﻗل ﻤﻥ ﻗﻴﻤﺔ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺎﺘﻴﻥ ﺍﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺘﻴﻥ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ ﺘﻭﻓﺭ ﻁﺭﻕ ﻤﺅﺜﺭﺓ ﺘﺴﻤﺢ ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﻋﺩ ﻭﻜﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﻤﺭﻏﻭﺒﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.4‬ﻴﻭﻀﺢ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﺘﻤﻠﻙ ﻗﻴﻤﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺘﺎﺜﺭ ﺒﻘﻭﺓ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻴﺎﺭ ﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﺫﻱ ﺍﻟﺘﺭﺩﺩ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻁﻐﻲ ﻋﻠﻰ‬
‫ﻗﻀﺒﺎﻥ ﺫﻱ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﻤﻭﺠﺏ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.4‬ﺍﻴﻭﻥ ﻤﻭﺠﺏ ﺫﻱ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻴﺘﺫﺒﺫﺏ ﺘﺤﺕ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﻭﻤﺘﻨﺎﻭﺒﺔ‬

‫ﺍﻥ ﻤﻘﺩﺍﺭ ﺍﻟﺘﺫﺒﺫﺏ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﻴﻨﻤﻭ ﺒﺴﺭﻋﺔ ﻜﻠﻤﺎ ﻴﻨﺘﻘل ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺨﻼل ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺤﺘﻰ ﻴﺼﻁﺩﻡ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺒﺎﺤﺩ ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﺫﻱ ﻴـﺭﺘﻁﻡ‬
‫ﺒﺎﻟﻘﻀﻴﺏ ﺴﻴﻔﻘﺩ ﺸﺤﻨﺘﻪ ﻭﻻﻴﻤﻜﻥ ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻜﺸﻔﻪ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻓﻴﺘﻡ ﺘﺭﺸـﻴﺤﻬﺎ )‪ (filtered‬ﺒﻭﺍﺴـﻁﺔ ﺘـﺎﺜﻴﺭ‬
‫ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻙ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺴﺎﻟﺏ )‪ (DC‬ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ .10.5‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻜﺒﻴﺭﺓ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺒﻁﺌﺎ" ﻓﻲ ﺘﺄﺜﺭﻫﺎ ﻓﻲ‬
‫ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﺫﻱ ﺍﻟﺘﺭﺩﺩ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ )‪ (RF AC‬ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﺨﻑ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺎﺜﻴﺭ ﺍﻟﻜﻠﻲ ﻟﻼﻨﺤﻴﺎﺯ ﺍﻟﺴﺎﻟﺏ ﻋﻠـﻰ ﺍﻻﻴﻭﻨـﺎﺕ‬
‫ﺍﻻﻜﺜﺭ ﻜﺒﺭﺍ" )‪ (more massive ions‬ﻫﻭ ﺒﺴﺤﺒﻬﺎ ﺒﺎﻟﺘﺩﺭﻴﺞ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﺤﺩ ﺍﻟﻘﻀﺒﺎﻥ ﺫﺍﺕ ﺍﻻﻨﺤﻴﺎﺯ ﺍﻟﺴﺎﻟﺏ ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﻤﺭ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺨﻼل ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠـﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺭﺓ ﺜﺎﻨﻴﺔ‪ ،‬ﺤﺎﻟﻤﺎ ﻴﺼﻁﺩﻡ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻤﻊ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﺩ ﻓﺎﻨﻪ ﺴﻴﻔﻘﺩ ﺸﺤﻨﺘﻪ ﻭﻻﻴﻤﻜﻥ ﻜﺸﻔﻪ‪ .‬ﺒﺎﺨﺘﻴﺎﺭ ﻗﻴﻡ ﻤﻨﺎﺴﺒﺔ ﻟﺠﻬﺩ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﻭﺠﻬـﻭﺩ ﺍﻨﺤﻴـﺎﺯ ﻤﺘﻨـﺎﻭﺏ‬
‫ﻭﻤﺴﺘﻤﺭ ﻓﻴﻤﻜﻥ ﺨﻠﻕ ﻤﺭﺸﺢ ﻜﺘﻠﺔ ﻓﻌﺎل ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﻋﻤﻠﻴﺎ"‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﺘﻐﻴﻴﺭ ﻤﻌﺎﻤل ﻭﺍﺤﺩ ﻜل ﻤﺭﺓ )ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴـل‪ ،‬ﺍﻟﺘـﺭﺩﺩ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴـﻭﻱ‪ ،‬ﺍﻭ ﺠﻬـﻭﺩ ﺍﻟﺘﻴـﺎﺭ‬
‫ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ(‪ ،‬ﻭﻴﺘﻡ ﺘﺴﺠﻴل ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻟﻜل ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.5‬ﺍﻴﻭﻥ ﻤﻭﺠﺏ ﺫﻱ ﻨﺴﺒﺔ ﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺸﺤﻨﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻴﺘﺫﺒﺫﺏ ﺘﺤﺕ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﻭﻤﺘﻨﺎﻭﺒﺔ ﻭﺍﻟﺫﻱ ﻴﻨﺠﺫﺏ ﺒﻘﻭﺓ ﺍﻟﻰ‬
‫ﻗﻀﺒﺎﻥ ﺘﺤﺕ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺴﺎﻟﺏ ﻨﻭﻉ ‪.DC‬‬

‫‪٧٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ‪:‬‬
‫ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻰ ﻜل ﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﻓﺎﺼل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ )ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻭﺭﺒﺎﻋﻲ ﺍﻻﻗﻁﺎﺏ(‪ ،‬ﻓﺎﻥ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﻻﻴﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭﻫﺎ ﺨﺎﺭﺠﺎ" ﺴﺘﺼﻁﺩﻡ ﺒﻜﺎﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻨـﺎﺕ‪،‬‬
‫ﺤﻴﺙ ﺘﻭﻟﺩ ﺍﺸﺎﺭﺓ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﻀﺨﻴﻡ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺎ" ﻭﺘﺭﺴل ﺍﻟﻰ ﺩﺍﺌﺭﺓ ﻋﺩ ﻨﺒﻀﺎﺕ )‪ ،(pulse counting circuitry‬ﻭﺘﻅﻬﺭ ﺍﺨﻴـﺭﺍ"‬
‫ﻜﺸﺩﺓ )ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻴﻭﻥ( ﻀﺩ ﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪.‬‬
‫ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻋﺩﺓ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﻥ ﻜﻭﺍﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻓﻲ ﻤﻁﺎﻴﻴﻑ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﺘﺠﺎﺭﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺒﺴﻴﻁ‪ ،‬ﺍﻟﻭﺤﺩﺍﺕ ﺍﻟﻐﻴﺭ ﻤﻜﻠﻔـﺔ ﻋـﺎﺩﺓ" ﻤـﺎﺘﻁﺒﻕ ﺍﻨﺒـﻭﺏ ﻓـﺭﺍﺩﻱ‬
‫)‪ ،(Faraday cup‬ﺒﻴﻨﻤﺎ ﺍﻻﻜﺜﺭ ﻜﻠﻔﺔ‪ ،‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻤﺎ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺩﺍﻱ ﻤﻊ ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻱ )‪(secondary electron multiplier‬‬
‫ﺍﻭ ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ )‪ .(channel electron multiplier‬ﺍﻥ ﺤﺴﺎﺴﻴﺔ ﻜﻭﺍﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺘﺤﺩﺩ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺒﻤﺼﻁﻠﺢ ﺍﻟﺘﻴـﺎﺭ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒـﺎﺌﻲ ﻟﻜـل‬
‫ﻀﻐﻁ‪ ،‬ﻤﺜل )‪ .(amps/Torr‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻘﻊ ﻗﻴﻡ ﺤﺴﺎﺴﻴﺔ ﺍﻟﻜﻭﺍﺸﻑ ﻀﻤﻥ ﺍﻟﻤﻌﺩل )‪ ،(1×10-5- 4×10-6Amp/Torr‬ﻋﻠﻰ ﺍﻓﺘﺭﺍﺽ ﻭﺠﻭﺩ ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ‬
‫ﺍﻟﻨﺘﺭﻭﺠﻴﻥ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻌﻤل ﻀﻤﻥ ﻤﻌﺩل ﻀﻐﻁ ﺘﺸﻐﻴﻠﻲ ﺒﺤﺩﻭﺩ )‪ (10-2 to 10-12Torr‬ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻗﺎﺩﺭﺍ" ﻋﻠـﻰ ﺘـﺴﺠﻴل‬
‫ﻤﻌﺩل ﺘﻴﺎﺭ ﻀﻤﻥ )‪.(10-6 to -10-12Amps‬‬
‫ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﻤﺭﻜﺏ )‪:(Compound ion detector‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.6‬ﻴﻭﻀﺢ ﻜﺎﺸﻑ ﻤﻥ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﺭﻜﺏ )‪ ،(compound‬ﺤﻴﺙ ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﻭﺍﺴﻊ ﻟﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﻤﻤﻜﻨﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﻤﻌﺎﻟﺠﺘﻬﺎ ﺒﺘﺸﻐﻴل ﺍﻤـﺎ‬
‫ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺩﺍﻱ ﻓﻘﻁ ﺍﻭ ﻤﻊ ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻱ )‪.(SEM‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.6‬ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻴﻭﻥ ﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﻜﺘﻠﻲ‬

‫ﻴﻤﻜﻥ ﻗﻴﺎﺱ ﺘﻴﺎﺭﺍﺕ ﺍﻴﻭﻥ ﻤﻥ ‪ 10-6‬ﺍﻟﻰ ‪ 10-12Amps‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺩﺍﻱ ﻓﻘﻁ‪ .‬ﻴﻤﻜـﻥ ﺍﻴـﻀﺎ" ﻗﻴـﺎﺱ ﺘﻴـﺎﺭﺍﺕ ﺍﻴـﻭﻥ ﻤـﻥ ‪ 10-12‬ﺍﻟـﻰ‬
‫‪ 10-17Amps‬ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﺎﺭﻴﺙ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺩﺍﻱ ﻭﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺴﺎﻟﺏ )‪ (-1 to -3 kV‬ﺍﻟﻰ ﺴﻠﺴﻠﺔ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻤﺭﺒﻭﻁﺔ ﺍﻟـﻰ ﺩﺍﻴﻨـﻭﺩﺍﺕ )‪(dynodes‬‬
‫ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻱ‪ .‬ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺸﻐﻴل ﻜﺎﺸﻑ )‪ (SEM‬ﻴﺘﻡ ﺘﻀﺨﻴﻡ ﺘﻴﺎﺭ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﻘﻠﻴل ﺍﻻﻭﻟـﻲ )‪ (10-12 to 10-17 Amps‬ﺒﺎﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ‬
‫ﻤﻀﺎﻋﻑ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ )‪ .(electron multiplication‬ﺍﻥ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻘﺼﻑ ﺍﺭﻀﻲ ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻓﺭﺩﺍﻱ ﺘﻭﻟﺩ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨـﺎﺕ ﺜﺎﻨﻭﻴـﺔ ﻨﺘﻴﺠـﺔ ﻫـﺫﺍ‬
‫ﺍﻻﺼﻁﺩﺍﻡ‪ .‬ﺴﺘﻨﺠﺫﺏ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﺴﺘﺎﺘﻴﻜﻴﺎ" ﺍﻟﻰ ﺍﻭل ﺩﺍﻴﻨﻭﺩ ﻓﻲ ﺠﻬﺎﺯ ‪ .SEM‬ﺘﺼﻨﻊ ﻋﺎﺩﺓ" ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺩﺍﻴﻨﻭﺩﺍﺕ ﻤﻥ ﻤﻭﺍﺩ ﺘﻨﺒﻌـﺙ‬
‫ﻤﻨﻬﺎ ﺘﻠﻘﺎﺌﻴﺎ" ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﻘﺼﻑ ﺒﺎﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ‪ .‬ﺍﻥ ﺴﺒﺎﺌﻙ ﺒﺭﻴﻠﻴﻭﻡ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ )‪(Cu 2-4%, Be) (Copper-beryllium‬‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺎﻟﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﻴﺎ" ﻟﺘﻭﻟﻴﺩ ﻏﺸﺎﺀ ﺴﻁﺤﻲ ﻤﻥ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﺒﺭﻴﻠﻴﻭﻡ ﺘﻌﻁﻲ ﺨﺎﺼﻴﺔ ﺍﻨﺒﻌﺎﺙ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻤﻔﻀﻠﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﻟـﺩﺓ ﻓـﻲ ﺍﻟـﺩﺍﻴﻨﻭﺩ‬
‫ﺍﻻﻭل ﺘﻨﺠﺫﺏ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﺩﺍﻴﻨﻭﺩ ﺍﻟﺜﺎﻨﻲ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺠﺎل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻭﻋﻨﺩ ﺍﺼﻁﺩﺍﻤﻬﺎ ﻤﻊ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﺩﺍﻴﻨﻭﺩ ﺍﻟﺜﺎﻨﻲ ﺴﺘﻭﻟﺩ ﻤـﺭﺓ ﺜﺎﻨﻴـﺔ ﺴﻠـﺴﻠﺔ ﻤـﻥ‬
‫ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﻟﻜل ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻗﺎﺩﻡ‪ .‬ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺎﻟﺔ‪ ،‬ﻴﻤﻥ ﺍﻟﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﺤﺼﻴﻠﺔ ﺍﺸﺎﺭﺓ ﺘﻘﻊ ﺒﻴﻥ )‪.(105-106‬‬

‫‪٧١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ )‪:(channel electron detector‬‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﻨﻭﻉ ﺍﺨﺭ ﻤﻥ ﻜﺎﺸﻑ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻴﺴﻤﻰ ﺒﻜﺎﺸﻑ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ )‪ .(channel electron detector‬ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﻭﺍﺸﻑ ﻴﻌﻁـﻲ ﺤـﺼﻴﻠﺔ‬
‫ﺒﻨﻔﺱ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻭﺼﻔﺕ ﺒﻬﺎ ﻟﻨﻭﻉ ﻜﺎﺸﻑ )‪ (SEM‬ﺍﻟﻤﺸﺭﻭﺡ ﺴﺎﺒﻕ ‪ :‬ﺃﻱ ﻤﻀﺎﻋﻔﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ )‪.(electron multiplication‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.7‬ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ ﻤﻊ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ‪.‬‬

‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ ﺴﻘﻭﻁ ﺍﻻﻴﻭﻥ ﻋﻠﻰ ﻜﺎﺜﻭﺩ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻗﻤﻊ ﻤﻭﻟﺩﺍ" ﺴﻠﺴﻠﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻨﺠﺫﺏ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﺴﺘﺎﺘﻴﻜﻴﺎ"ﻋﻠـﻰ‬
‫ﻁﻭل ﺍﻨﺒﻭﺏ ﺘﻀﺨﻴﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻤﻘﻭﺱ ﻨﺯﻭﻻ"‪ .‬ﻴﺼﻨﻊ ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ ﻤﻥ ﺯﺠﺎﺝ ﺨﺎﺹ ﻴﺤﻭﻱ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﺭﺼﺎﺹ ﻭﺍﻜﺎﺴـﻴﺩ ﺍﻟﺒﺯﻤـﻭﺙ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤـﺔ‬
‫ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻤﻼﺯﻤﺔ ﻟﻠﺯﺠﺎﺝ ﻴﻭﻓﺭ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻤﺸﺎﺒﻬﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﻠﻙ ﺍﻟﻤﺼﻨﻌﺔ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺴﻠﺴﻠﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺎﺕ ﻓﻲ ﺠﻬﺎﺯ )‪ .(SEM‬ﻴﺼﻨﻊ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨـﻭﻉ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻜﻭﺍﺸﻑ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺍﻨﺒﻭﺏ ﻤﻘﻭﺱ ﻟﺴﺒﺒﻴﻥ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﻴﻤﻨﻊ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻨﺘﻘﺎل ﺒﺎﻻﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻤﻌﺎﻜﺱ ﺨﻼل ﺍﻻﻨﺒﻭﺏ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺯﻴﺎﺩﺓ ﺍﻟﻌﺩﺩ ﺍﻟﻤﺅﺜﺭ ﻟﻠﺩﺍﻴﻨﻭﺩﺍﺕ ﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻤﻀﺎﻋﻔﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻫﻡ ﻤﻴﺯﺓ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﻭﺍﺸﻑ ﻋﻠﻰ ﻨﻭﻉ )‪ (SEM‬ﻫﻭ ﺍﻥ ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺍﻟﻘﻨﺎﺓ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺘﺤﻤل ﺘﻌﺭﺽ ﻤﺴﺘﻤﺭ ﻟﻠﻬﻭﺍﺀ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﻤﺸﺎﻜل ﻫﺫﻩ‬
‫ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﻓﻬﻲ ﺍﻥ ﻜﻠﺘﻴﻬﻤﺎ ﺘﻤﻠﻜﺎﻥ ﺯﻤﻥ ﻋﻤل ﻤﺤﺩﻭﺩﺓ ﻭﺍﻟﺫﻱ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺤﺩﻭﺩ ﺴﻨﺔ ﺍﻟﻰ ﺴﻨﺘﻴﻥ‪ .‬ﻜﻤﺎ ﻴﺠﺏ ﺍﻟﺤﺫﺭ ﻓﻲ ﺤﺎﻟﺔ ﻭﺠﻭﺩ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴـﺴﻴﺔ‬
‫ﺸﺎﺭﺩﺓ )‪ ،(stray magnetic fields‬ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻀﺨﺎﺕ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ ﻤﺜﻼ"‪ ،‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺅﺜﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﺘﺠﺎﻩ )‪ (trajectory‬ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﻀﻤﻥ ﺃﻱ ﻨـﻭﻉ ﻤـﻥ‬
‫ﻤﻀﺨﻡ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ‪.‬‬

‫ﺍﻥ ﻨﻬﺎﻴﺔ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺴﻠﺴﻠﺔ ﺍﻟﻤﻌﻘﺩﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺨﻁﻭﺍﺕ )ﺍﻟﺘﺎﻴﻴﻥ‪ ،ionization :‬ﺍﻟﺘﻌﺠﻴـل‪ ،acceleration :‬ﺍﺨﺘﻴـﺎﺭ ﺍﻟﻜﺘﻠـﺔ‪ mass selection :‬ﻭ ﻜـﺸﻑ‬
‫ﺍﻻﻴﻭﻥ ‪ (ion detection‬ﻫﻭ ﺘﻤﺜﻴل ﺍﻟﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺸﺩﺓ ﺍﺸﺎﺭﺓ ﻜﺩﺍﻟﺔ ﻟﻨﺴﺒﺔ ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻏﻠﺏ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ ﺘﻌﻁﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻌﻠﻭﻤﺎﺕ‬
‫ﻜﻨﺎﺘﺞ ﻋﻠﻰ ﺸﺎﺸﺔ )‪ (CRT‬ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺭﺴﻡ ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻟﻠﺭﺴﻡ ﺍﻟﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪.10.8‬‬

‫‪٧٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 10.8‬ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﺘﺤﻠﻴل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻤﺎﺨﻭﺫﺓ ﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺘﺤﻭﻱ ﺯﻴﺕ ﻫﺎﻴﺩﺭﻭﻜﺎﺭﺒﻭﻨﻲ‪.‬‬

‫ﺘﺸﻐﻴل ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ )‪:(Operation of partial pressure analyzers‬‬

‫ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻟﺤﻴﻁﺔ ﻭﺍﻟﺤﺫﺭ ﻋﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻤﺤﻠﻼﺕ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﻤﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ‪ ،‬ﺤﺘﻰ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻟﺒﺴﻴﻁ ﻤﻨﻬﺎ‪ ،‬ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻜﻠﻔﺎ" ﻭﻤـﻥ‬
‫ﺍﻟﺴﻬﻭﻟﺔ ﺍﺘﻼﻓﻪ ﻋﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﻪ ﺒﺸﻜل ﺨﺎﻁﺊ‪ .‬ﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺠﺏ ﺍﺨﺫ ﺍﻻﺴﺌﻠﺔ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ ﺒﻨﻅﺭ ﺍﻻﻋﺘﺒﺎﺭ ﻋﻨﺩ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺠﻬﺎﺯ ﺍﻟﺘﺤﻠﻴل ﻋﻠﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﻤﺎﻨﻭﻉ ﺍﻟﺘﺸﺨﻴﺹ ﺍﻟﺫﻱ ﺍﺤﺎﻭل ﺍﻥ ﺍﻗﻴﺴﻪ ﻟﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ؟ )ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻨﻭﻋﻴﻪ ﻤﻘﺎﺒل ﺒﻴﺎﻨﺎﺕ ﻜﻤﻴﺔ(‬
‫‪ -٢‬ﻤﺎﻫﻲ ﺍﻟﻘﻴﻤﺔ ﺍﻟﻌﻅﻤﻰ ﻟﻠﻀﻐﻁ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ؟‬
‫‪ -٣‬ﻤﺎﻫﻭ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻜﺘﻠﺔ ﻟﻠﻐﺎﺯ )‪ (AMU‬ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻊ؟‬
‫‪ -٤‬ﻫل ﺘﺤﺘﺎﺝ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﺍﻟﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺤﻤﻴﺹ )‪(baked-out‬؟ ﻭﻤﺎﻫﻲ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒﺔ؟‬
‫‪ -٥‬ﻫل ﻫﻨﺎﻙ ﺍﻤﻜﺎﻨﻴﺔ ﺤﺼﻭل ﺘﻠﻭﺙ ﻟﻤﺤﻠل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ؟ ﻜﻴﻑ ﻴﻤﻜﻥ ﺘﻘﻠﻴل ﻫﺫﻩ ﺍﻻﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ؟‬
‫‪ -٦‬ﻫل ﺍﻥ ﺍﻟﺩﻗﺔ )‪ (resolution‬ﻟﻤﺤﻠل ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﺠﺯﺌﻲ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺘﻁﺒﻴﻕ؟‬

‫‪٧٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﻔﺼل ‪ :١١‬ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻷﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ )‪(Thin Film Deposition Processes‬‬

‫ﺴﻭﻑ ﻨﻭﺠﻪ ﺍﻫﺘﻤﺎﻤﻨﺎ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻔﺼل ﺍﻟﻰ ﺍﺴﺒﺎﺏ ﺍﻟﻌﻤل ﺒﺠﻬﺩ ﻟﻠﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﺒﻴﺌﺔ ﻓﺭﺍﻍ‪ :‬ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺠﺭﻯ ﺘﺤﺕ ﺘﻠﻙ ﺍﻟﺒﻴﺌﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺭﺴﻴﺏ‬
‫ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﺍﺩﺕ ﺍﻟﻰ ﺘﺎﺜﻴﺭ ﻜﺒﻴﺭ ﻋﻠﻰ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﺘﻜﻨﻭﻟﻭﺠﻴﺎ ﺍﻟﻤﻔﻴﺩﺓ ﻓﻲ ﺤﻴﺎﺘﻨﺎ ﻭﻨﺫﻜﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﺍﻻﺩﺍﺀ ﺍﻟﺒﺼﺭﻱ ﺍﻟﻤﻁﻭﺭ )ﺍﺒﺘﺩﺍﺀ" ﻤﻥ ﻋﺩﺴﺎﺕ ﺍﻟﻜﺎﻤﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻨﻅﺎﺭﺍﺕ ﺍﻟﺸﻤﺴﻴﺔ(‪.‬‬
‫‪ (٢‬ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﺩﻗﻴﻘﺔ‪.‬‬
‫‪ (٣‬ﺍﻨﺘﺎﺝ ﺍﻟﺩﻭﺍﺌﺭ ﺍﻟﺩﻗﻴﻘﺔ )ﺍﺒﺘﺩﺍﺀ" ﻤﻥ ﺴﺎﻋﺔ ﺍﻟﻴﺩ ﺍﻟﻰ ﻓﺭﻥ ﺍﻟﻤﺎﻴﻜﺭﻭﻑ( ﺍﻟﻰ ﻗﺎﺩﺡ ﺍﻟﺴﻴﺎﺭﺓ ﻭﺍﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﻤﺭﺍﻗﺒﺔ‪.‬‬
‫‪ (٤‬ﻁﻼﺀ ﺍﻟﺯﻴﻨﺔ‪.‬‬
‫‪ (٥‬ﺼﻨﺎﻋﺔ ﺍﻟﺤﻭﺍﺴﻴﺏ‪.‬‬
‫‪ (٦‬ﺍﻟﺯﺠﺎﺝ ﺍﻟﻤﻌﻤﺎﺭﻱ‪.‬‬
‫‪ (٧‬ﺤﻤﺎﻴﺔ ﺍﻟﻌﺩﺩ ﻭﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻻﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﺼﺤﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺘﺤﺕ ﺒﻴﺌﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪:‬‬
‫ﺍﻥ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﻗﺩ ﺘﻁﻭﺭﺕ ﺘﺎﺭﻴﺨﻴﺎ" ﺒﺎﻟﻅﻬﻭﺭ ﺤﺴﺏ ﺍﻟﺘﺭﺘﻴﺏ ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ‪:‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ‬
‫‪ -١,١‬ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‬
‫‪ -١,٢‬ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﺒﺎﻟﺤﺙ‬
‫‪ -١,٣‬ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‬
‫‪ -٢‬ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ‬
‫‪ -٢,١‬ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻨﺎﺌﻲ‬
‫‪ -٢,٢‬ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻼﺜﻲ‬
‫‪ -٢,٣‬ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻥ‬
‫‪ -٣‬ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻴﻭﻨﻴﺔ‬
‫‪ -٤‬ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﻘﻭﺱ‬
‫‪ -٥‬ﺍﻟﺘﺨﺩﻴﺵ ﺒﺎﻟﻠﻴﺯﺭ‬
‫ﻭﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﻫﻨﺎﻙ ﺜﻼﺙ ﺨﻁﻭﺍﺕ ﻓﻲ ﺃﻱ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴﺔ ﻭﻜﻤﺎ ﻫﻭ ﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪:11.1‬‬
‫‪ -١‬ﺍﻨﺘﺎﺝ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ‪.‬‬
‫‪ -٢‬ﺍﻨﺘﻘﺎل ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬
‫‪ -٣‬ﺘﻜﺜﻑ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﻟﺘﺸﻜﻴل ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺒﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.1‬‬

‫‪٧٤‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻤﺎ ﻟﻤﺎﺫﺍ ﺘﺠﺭﻱ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻓﻬﻨﺎﻙ ﺴﺒﺒﻴﻥ ﺍﺴﺎﺴﻴﻴﻥ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﺘﺘﻀﻤﻥ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻜﻤﻴﺎﺕ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻓﺎﺫﺍ ﺘﻭﺍﺠﺩ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ ﻓﺎﻥ ﺃﻱ ﻤﻌﺩﻥ ﻓﻌﺎل ﺴﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺘﻜﻭﻴﻥ ﺍﻜﺎﺴﻴﺩ ﻤﻊ ﺍﻻﻭﻜﺴﺠﻴﻥ‪.‬‬
‫‪ (٢‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ ﻤﻊ ﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺨﻼل ﺍﻻﻨﺘﻘﺎل ﻟﻠﺒﺨﺎﺭ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﻗﺩ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺘﻘﻠﻴل ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻜﻠﻲ ﻭﻗﺩ ﻴﺅﺩﻱ ﺍﻟـﻰ ﻤﻨـﻊ‬
‫ﻨﻤﻭ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻜﺜﻴﻑ‪.‬‬
‫ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺘﺒﺨﺭﺓ ﺘﺘﻜﺜﻑ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﺒﺘﺭﺘﻴﺏ ﻤﻌﻘﺩ ﻤﻥ ﺍﻻﺤﺩﺍﺙ ﺍﻟﺘﻰ ﺘﺤﺩﺩ ﺍﻟﻌﺩﻴـﺩ ﻤـﻥ ﺍﻟﺨـﻭﺍﺹ ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻴـﺔ ﻟﻠﻐـﺸﺎﺀ‬
‫ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺏ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﻻﺸﺎﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺨﻁﻭﺍﺕ ﺍﻟﻨﻤﻭ ﻟﻼﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﺒﻌﻤﻠﻴﺎﺕ ﺘﺩﻋﻰ ﺒﺎﻟﺘﻨﻭﻱ ﻭﺍﻟﻨﻤﻭ )‪.(Nucleation and Growth‬‬
‫ﺍﻟﺘﻨﻭﻱ )‪ :(Nucleation‬ﺍﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻤﻥ ﻨﻭﻉ )‪ (ad atoms‬ﺍﻭ ﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﺼل ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺘﻔﻘﺩ ﻁﺎﻗﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺍﻤﺘﺼﺎﺼﻬﺎ ﻤﻥ ﻗﺒل‬
‫ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻤﻠﻜﻬﺎ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺴﻁﺢ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﺘﺘﺤﺭﻙ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﺤﺘﻰ ﺘﻔﻘﺩ ﺍﻟﻁﺎﻗـﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴـﺔ ﺍﻟﻤﻁﻠﻭﺒـﺔ‬
‫ﻟﻠﺤﺭﻜﺔ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﻭﻴﺸﺎﺭ ﺍﻟﻴﻬﺎ ﻋﺎﺩﺓ ﺒﻤﺼﻁﻠﺢ )‪.(Adam mobility‬‬
‫ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺴﺘﻤﺭ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻟﻨﻭﻯ )‪ (nuclei‬ﻓﺎﻥ ﻨﻤﻭ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻁﺢ ﻴﻜﻭﻥ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﺼﻔﺎﺌﺢ ﻤﺴﺘﻤﺭﺓ ﺘﻐﻁﻲ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺩﺍﺨل ﺍﻟﻜﻴﻤﻴـﺎﻭﻱ‬
‫ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺴﻁﺢ ﺘﺤﺩﺩ ﻗﻭﺓ ﺍﻻﺼﺭﺓ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﻭﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬
‫ﻓﻤﺜﻼ ﺍﻟﺫﻫﺏ ﻻﻴﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﻜﻭﻴﻥ ﺍﺼﺭﺓ ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻤﻊ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﺴﻴﻠﻜﻭﻥ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺘﺼﺎﻗﻴﺔ ﻏﺸﺎﺀ ﺍﻟﺫﻫﺏ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺯﺠـﺎﺝ ﻴﻜـﻭﻥ ﻀـﻌﻴﻔﺎ"‪ .‬ﺍﻥ‬
‫ﻋﻠﻤﻴﺔ ﺘﺤﺴﻴﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻻﻟﺘﺼﺎﻗﻴﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﻏﺸﺎﺀ ﺍﻭﻟﻲ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻜﺭﻭﻤﻴﻭﻡ ﺍﻭ ﺍﻟﻨﻭﺒﻴﻭﻡ ﻭﺒﺴﻤﻙ )‪ (500Å‬ﻭﺘـﺴﻤﻰ ﻫـﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴـﺔ‬
‫ﺒﺎﻟﺭﺍﺒﻁ )‪ (Binder‬ﺜﻡ ﻴﺘﻡ ﻁﻼﺀ ﺍﻟﺫﻫﺏ ﻓﻭﻕ ﻁﺒﻘﺔ ﺍﻟﺭﺍﺒﻁ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻜﺭﻭﻤﻴﻭﻡ ﻭﺍﻟﻨﺒﻴﻭﻡ ﻴﻜﻭﻨﺎﻥ ﺍﻭﺍﺼﺭ ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻤﻊ ﺍﻭﻜﺴﻴﺩ ﺍﻟﺴﻴﻠﻜﻭﻥ ﻓـﻲ ﺍﻟﺯﺠـﺎﺝ‬
‫ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻭﺍﺼﺭ ﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻤﻊ ﻁﺒﻘﺔ ﺍﻟﺫﻫﺏ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻴﻔﻀل ﻋﺎﺩﺓ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻋﻠﻰ ﻋﻤﻠﻴﺎﺕ ﺍﺨﺭﻯ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺨﻭﺍﺹ ﺍﻟﺘﺎﻟﻴﺔ‪:‬‬
‫ﺍﻟﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﻨﻘﺎﻭﺓ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺍﻟﺘﺼﺎﻗﻴﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ ﻭﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺸﺩ ﺍﻟﻤﻴﻜﺎﻨﻴﻜﻲ ﻓﻲ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﺘﺭﺴﻴﺏ ﻁﺒﻘﺎﺕ ﺍﻏﺸﻴﺔ ﺭﻗﻴﻘﺔ ﺠﺩﺍ" ﻭﻤﺘﻌﺩﺩﺓ ﺍﻟﻁﺒﻘﺎﺕ ﻤﻥ ﻤﻭﺍﺩ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪.‬‬ ‫‪-٤‬‬
‫ﺍﻟﻘﻠﻴل ﻤﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻤﺤﺼﻭﺭ‪.‬‬ ‫‪-٥‬‬
‫ﺍﻤﺎ ﺍﻫﻡ ﺍﻟﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﺍﻟﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻴﻬﺎ ﻟﻠﻭﺼﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻬﺩﻑ ﺍﻟﻤﻨﺸﻭﺩ ﻓﻬﻲ‪:‬‬
‫ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻟﺫﺭﺍﺕ )‪.(ad atoms‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﻤﻌﺩل ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺯﺍﺌﺩﺓ ﺍﻟﻤﻁﺒﻘﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺨﻼل ﺍﻟﻨﻤﻭ‪.‬‬ ‫‪-٤‬‬
‫ﺘﺸﺘﺕ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺨﻼل ﺍﻨﺘﻘﺎل ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ‪.‬‬ ‫‪-٥‬‬
‫ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﻤﺤﺘﺙ ﺤﺭﺍﺭﻴﺎ" )‪:(Thermal Induced Evaporation‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﺩﺨﺎل ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ )‪ (source material‬ﺍﻭ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ )‪ (charge‬ﻟﺨﻠﻕ ﺴﺤﺎﺒﺔ ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻨﺘﻘل ﻓـﻲ‬
‫ﺍﺘﺠﺎﻫﺎﺕ ﺒﺨﻁﻭﻁ ﻤﺴﺘﻘﻴﻤﺔ ﻨﺤﻭ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪ .‬ﻭﻋﻨﺩ ﻭﺼﻭﻟﻬﺎ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺍﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻭﺍﻟﺸﻘﻭﻕ )‪ (clusters‬ﺴﻭﻑ ﺘﺘﻜﺜـﻑ ﻤـﻥ ﺍﻟﻁـﻭﺭ‬
‫ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ ﻟﺘﻜﻭﻴﻥ ﻏﺸﺎﺀ ﺼﻠﺏ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﻤﺘﺼﺎﺹ ﺤﺭﺭﺓ ﺍﻟﺘﻜﺜﻑ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪ .‬ﺍﻤﺎ ﻤﻥ ﻨﺎﺤﻴﺔ ﺍﻻﺒﻌﺎﺩ ﺍﻟﻤﺎﻴﻜﺭﻭﺴﻜﻭﺒﻴﺔ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻭﻗﻌﻴﺔ ﻤﻥ ﻫﺫﻩ‬
‫ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﺠﺩﺍ"‪ .‬ﻭﻫﺫﺍ ﻤﺎﻴﺤﺼل ﻋﻨﺩ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﺴﺎﺱ )ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ( ﻤﻥ ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻙ ﺤﻴﺙ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺴﺒﺏ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻓﻲ ﺍﺫﺍﺒـﺔ‬
‫ﺍﻟﺒﻼﺴﺘﻙ ﺍﺜﻨﺎﺀ ﻋﻠﻤﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ‪ .‬ﻭﻟﻜﻥ ﻤﻊ ﺍﻟﺨﺒﺭﺓ ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻟﺘﺤﻜﻡ ﺒﺎﻟﻤﺴﺎﻓﺔ ﻭﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺴﻤﺢ ﺒﻁﻼﺀ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺤﺴﺎﺴﺔ ﻟﻠﺤـﺭﺍﺭﺓ ﺩﻭﻥ‬
‫ﺍﻥ ﺘﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺍﺫﺍﺒﺘﻬﺎ‪.‬‬

‫‪٧٥‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ )‪:(Resistance Evaporation‬‬
‫ﺘﻌﺘﺒﺭ ﻤﻥ ﺍﺴﻬل ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ )ﻤﻌﺩﻥ ﺍﻭ ﺴﺒﻴﻜﺔ ﺍﻭ ﻤﺯﻴﺞ ﺍﻭ ﻤﺭﻜﺏ( ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺒﺨﻴﺭﻫﺎ‪ .‬ﻴﺘﻡ‬
‫ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻭﺘﻴﺎﺭ ﻋﺎﻟﻲ )‪ (10-40 VDC, 1-10A‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﻭﻤﺠﻬﺯ ﻨﺎﻓﺫ )‪ (Feed through‬ﻻﺩﺨﺎل ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﺜﻡ ﺘﻤﺭﺭ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺨﻼل ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ )‪ (Filament‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻜﻭﻥ ﺒﺘﻤﺎﺱ ﻤﻊ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻰ ﺩﺭﺠـﺔ ﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﺤﻭﺍﻟﻲ )‪ .(1000-2000oC‬ﺍﻥ ﺍﻫﻡ ﻤﺘﻁﻠﺒﺎﺕ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻟﻠﺤﺼﻭل ﻋﻠﻰ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺒﺨﻴﺭ ﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻜﻔﻭﺀﺓ ﻫﻲ ﺍﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻤﻠﻙ ﻀـﻐﻁ ﺒﺨـﺎﺭﻱ‬
‫ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﻟﻠﺸﻌﻴﺭﺓ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪.(1.1‬‬

‫ﺠﺩﻭل ‪11.1‬‬
‫ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺘﺘﺒﺨﺭ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺤﺘﻰ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻐﺭﻓﺔ ﻭﻟﻜﻥ ﺍﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺒﺒﺴﺎﻁﺔ ﺴﻭﻑ ﻴﻌﺠل ﻤﻥ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﻤﺤﺩﺩﺓ ﻓﺎﻥ ﻀﻐﻁ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺙ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻴﺩﻋﻰ ﺒﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻥ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻌﻼﻗﺔ ﺒﻴﻥ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻥ ﻟﻠﻤـﺎﺩﺓ ﻭﺩﺭﺠـﺔ ﺍﻟﺤـﺭﺍﺭﺓ‬
‫ﻋﻤﻭﻤﺎ" ﻴﺘﺒﻊ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 11.2‬ﺍﻟﻤﺒﻴﻥ ﺍﺩﻨﺎﻩ‪:‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.2‬‬
‫ﻟﻨﺎﺨﺫ ﺍﻟﻜﺎﺩﻤﻴﻭﻡ ﻜﻤﺜﺎل ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻤﻠﻙ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﻋﺎﻟﻲ ﺒﺸﻜل ﻤﻤﻴﺯ ﻋﻨﺩ ﺠﻤﻴﻊ ﺩﺭﺠﺎﺕ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺒﻘﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻥ ﺍﻟﻤﺒﻴﻨﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل‪ .‬ﺒـﺸﻜل‬
‫ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺭﻴﻨﻴﻭﻡ )‪ (Rhenium‬ﻴﻤﻠﻙ ﺍﻗل ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﻟﻬﺫﻩ ﺍﻟﻤﻌﺎﺩﻥ ﻋﻨﺩ ﺠﻤﻴﻊ ﺩﺭﺠﺎﺕ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪.‬‬
‫‪٧٦‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﺘﺠﺭﻱ ﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺎ" ﺘﺤﺕ ﻅﺭﻭﻑ ﻓﺭﺍﻍ ﻋﺎﻟﻴﺔ )‪ (high‬ﺍﻟﻰ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﺠﺩﺍ” )‪ (very high‬ﻭﻴﺘﻡ ﻋﺎﺩﺓ ﺍﺨﺘﻴـﺎﺭ ﺤﺎﻭﻴـﺔ ﺠـﺭﺓ‬
‫ﺍﻟﺠﺭﺱ ﻻﺠﺭﺍﺀ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻟﺤﺠﻡ ﻤﺨﺘﺒﺭﻱ ﺤﻴﺙ ﺘﻭﻓﺭ ﻤﺭﻭﻨﺔ ﺘﺼﻤﻴﻤﻴﺔ ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﻓﺎﺌﺩﺓ ﺍﻨﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﻤﺭﺍﻗﺒﺔ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺒﺸﻜل ﻤﺒﺎﺸﺭ ﻭﺘﺤﺕ ﻜﻠﻔـﺔ‬
‫ﻤﻌﻘﻭﻟﺔ ﺠﺩﺍ" )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪.(11.3‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.3‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﻤﻌﺎﺩﻥ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﻠﺤﺭﺍﺭﺓ ﻤﺜل ﺍﻟﺘﻨﻜﺴﺘﻥ ﻭﺍﻟﺘﻨﺘﺎﻟﻴﻭﻡ ﺍﻭ ﺴﺒﺎﺌﻙ ﺍﺨﺭﻯ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻫﻡ ﺨﺼﺎﺌﺹ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﻫﻲ‪:‬‬
‫ﺘﻤﻠﻙ ﻨﻘﻁﺔ ﺫﻭﺒﺎﻥ ﻋﺎﻟﻴﺔ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺫﻭﺒﺎﻨﻴﺔ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﻗﺎﺒﻠﺔ ﻟﻠﺘﺒﻠل ﺒﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﺘﺤﻤل ﺍﻟﺼﺩﻤﺎﺕ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‪.‬‬ ‫‪-٤‬‬
‫ﻫﻨﺎﻙ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﺸﻜﺎل ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺍﺕ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪ (11.4‬ﻭﻤﻨﻬﺎ ﺍﻟﺴﻠﻙ ﺍﻟﺨﻁﻲ ﻭﺍﻟﻤﻠﻑ ﻭﺍﻟﺒﻭﺩﻗﺔ ﻭﺍﻟﺼﻨﺩﻭﻗﻲ )‪ (Boxes‬ﻭﻜل ﻨﻭﻉ ﻤـﺼﻤﻡ‬
‫ﻟﺘﻁﺒﻴﻕ ﻤﺤﺩﺩ‪ .‬ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﻠﻔﻴﺔ ﺘﺼﻨﻊ ﻤﻥ ﻤﻌﺎﺩﻥ ﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﺘﺤﻤل ﺒﺎﻟﺸﺤﻨﺔ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻌﻠﻴﻕ ﺠﺯﺀ ﺼﻐﻴﺭ ﻤﻥ ﻤﺴﺎﺤﺔ ﺍﻟﺴﻠﻙ ﻟﻴﻜﻭﻥ ﺒﺘﻤﺎﺱ ﻤﻊ‬
‫ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ .‬ﻋﻨﺩ ﺍﺠﺭﺍﺀ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﻤﻌﺎﺩﻥ ﻓﺎﻨﻬﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﻤﻠﻔﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﺴﺭﻴﻊ ﺠﺩﺍ" ﻟﻠـﺸﺤﻨﺔ ﺍﻟﻤﻌﻠﻘـﺔ‬
‫ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺍﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﺴﺘﺫﻭﺏ ﻤﻭﻗﻌﻴﺎ" ﻭﺘﺴﻘﻁ ﻤﻥ ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.4‬‬

‫‪٧٧‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﺸﺎﻜل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ‪:‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻭﻟﺩ ﺸﻭﺍﺌﺏ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺘﺭﺴﺏ ﻤﻊ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﺘﻜﺜﻑ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺍﻥ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ ﻟﻠﺴﺒﻴﻜﺔ ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺒﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﻴﺨﺘﻠﻑ ﻋﻥ ﺘﻠﻙ ﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ )ﺒﺎﻻﺨﺹ ﺍﺫﺍ ﻜﺎﻨﺕ ﺍﻟﻌﻨﺎﺼﺭ ﻓـﻲ ﺍﻟـﺴﺒﻴﻜﺔ ﺘﻤﻠـﻙ‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﻀﻐﻭﻁ ﺒﺨﺎﺭﻴﺔ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ(‪.‬‬
‫ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺘﺒﺨﺭﺓ ﻟﻜل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﺒﺨﻴﺭﻴﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺴﻭﻑ ﺘﺘﻌﺭﺽ ﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻨﺎﺘﺠﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﻤﺸﻌﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﻲ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺅﺜﺭ ﻋﻠﻴﻬﺎ‪.‬‬ ‫‪-٤‬‬
‫ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﺒﺘﻘﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺴﺨﻴﻥ ﺒﺎﻟﺤﺙ )‪:(Induction Heated Thermal Evaporation‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺘﻘﻨﻴﺔ ﺍﻤﺭﺍﺭ ﺘﻴﺎﺭ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﺨﻼل ﻤﺎﺩﺓ ﺸﺤﻨﺔ ﻤﻭﺼﻠﺔ ﻟﻠﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﺘﻴﺎﺭ ﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﺫﻱ ﺘـﺭﺩﺩﺍﺕ ﺭﺍﺩﻴﻭﻴـﺔ )‪ .(RF‬ﺍﻥ‬
‫ﻤﺩﻯ )‪ (1-50kW‬ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﺤﺠﻡ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ .‬ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﻨﺎﻭﺏ ﻴﻤﺭﺭ ﺨﻼل ﻤﻠـﻑ‬ ‫ﻫﺫﺍ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ ﻴﻭﻟﺩ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻤﺠﻬﺯ ﻗﺩﺭﺓ ﻀﻤﻥ‬
‫ﻤﻥ ﺍﻟﻨﺤﺎﺱ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺤﻴﻁ ﺒﺒﻭﺩﻗﺔ ﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ ﻤﻘﺎﻭﻤﺔ ﻟﻠﺤﺭﺍﺭﺓ )ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪.(11.5‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.5‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺒﻭﺍﺩﻕ ﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ ﺤﻴﺙ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻬﻡ ﺍﺨﺘﻴﺎﺭ ﻨﻭﻉ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺒﻭﺩﻗﺔ ﻟﻠﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻟﻤﺤﺩﺩ‪ .‬ﻓﺎﺫﺍ ﺘﻡ ﺍﺨﺘﻴـﺎﺭ‬
‫ﻏﻴﺭ ﺼﺤﻴﺢ ﻟﻠﺒﻭﺩﻗﺔ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﺭﺒﻤﺎ ﺘﺘﻔﺎﻋل ﻜﻴﻤﻴﺎﺌﻴﺎ" ﻤﻊ ﺍﻟﺒﻭﺩﻗﺔ ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺘﺘﻠﻑ ﻜل ﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻜﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﻭﺩﺓ ﻓﻲ ﻨﻅﺎﻡ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﻓﻲ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪ 11.2‬ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﺒﻴﻥ ﺍﻋﻅﻡ ﺩﺭﺠﺔ ﺤﺭﺍﺭﺓ ﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻟﻠﺒﻭﺍﺩﻕ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻭﻨﻭﻉ ﺍﻟﻤﻌﺩﻥ ﻟﻬﺎ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺠﺩﻭل ‪11.2‬‬
‫ﻤﺸﺎﻜل ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﺤﺙ‪:‬‬
‫ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻤﻭﺼﻠﺔ ﻟﻠﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﺠﻬﺯ ﺍﻟﻘﺩﺭﺓ ﺍﻟﺭﺍﺩﻴﻭﻱ ﻭﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺘﻨﻐﻴﻡ ﻤﻜﻠﻔﺔ ﺠﺩﺍ" ﻭﻜﺒﻴﺭ ﺍﻟﺤﺠﻡ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺤﺼل ﺘﺩﺍﺨل ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﻭﺍﻟﺒﻭﺩﻗﺔ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫‪٧٨‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﻤﻴﺯﺍﺕ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﺤﺙ‪:‬‬
‫ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺘﻠﻭﺙ ﻗﻠﻴﻠﺔ ﻟﻠﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺏ‪.‬‬ ‫‪-١‬‬
‫ﺴﻴﻁﺭﺓ ﺍﻜﺒﺭ ﻟﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ‪.‬‬ ‫‪-٢‬‬
‫ﻴﻤﻜﻥ ﺘﺤﻤﻴل ﺸﺤﻨﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻟﻜل ﻤﺭﺤﻠﺔ ﺘﺭﺴﻴﺏ‪.‬‬ ‫‪-٣‬‬
‫ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ )‪:(Electron Beam Evaporation‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﻫﺫﻩ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﺤﺯﻤﺔ ﻤﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻁﺎﻗﻴﺔ ﻤﻥ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﻤﺴﺨﻨﺔ ﺘﺠﻬﺯ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ‬
‫ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺘﻐﻴﺭﺍﺕ ﻓﻲ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺠﻤﻴﻊ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﺍﻨﻅﻤﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﻟﻬـﺎ ﺍﻨـﻭﺩ )ﺍﻨﺤﻴـﺎﺯ‬
‫ﻤﻭﺠﺏ( ﻭﻜﺎﺜﻭﺩ )ﺍﻤﺎ ﻤﺅﺭﺙ ﺍﻭ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯﺓ ﺴﺎﻟﺏ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻻﻨﻭﺩ( ‪ ،‬ﺍﻨﻅﺭ ﺍﻟﺸﻜل ‪.11.6‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.6‬‬
‫ﺴﻴﺘﻡ ﺍﻟﺘﻁﺭﻕ ﺍﻟﻰ ﻨﻭﻋﻴﻥ ﺍﺴﺎﺴﻴﻴﻥ ﻤﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺒﺨﺭﺍﺕ‪:‬‬
‫‪ (١‬ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺠﻠﺔ ﺒﺎﻟﺸﻐل )‪(Work accelerated‬‬
‫‪ (٢‬ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺠﻠﺔ ﺫﺍﺘﻴﺎ" )‪(Self accelerated‬‬
‫ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺠﻠﺔ ﺒﺎﻟﺸﻐل )‪:(Work accelerated‬‬
‫ﺘﻭﺠﻪ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻟﺘﻨﻜﺴﺘﻥ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ )ﺍﻟﺸﻜل ‪ (11.7‬ﺍﻟﻰ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﻓﻭﻟﺘﻴﺔ ﻋﻠﻲ ‪(10-40 kV‬‬
‫)‪ .DC‬ﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻓﺘﺤﺔ ﺘﺒﺌﻴﺭ )‪ (Focusing aperture‬ﺘﺴﺎﻋﺩ ﻋﻠﻰ ﺘﻘﻠﻴل ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﺍﻟﻤﻨﺘﺸﺭﺓ ﺨﺎﺭﺝ ﻤﺤﻭﺭ ﺘﺤﺭﻙ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺩﺍﺨل ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.7‬‬

‫‪٧٩‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺘﺘﻭﻓﺭ ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺘﺸﻜﻴﻼﺕ ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺘﺼﻤﻴﻤﺎ" ﻭﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻤﺎ"‪ .‬ﺒﻌﺽ ﺍﻨﻭﺍﻉ ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺠﻠﺔ ﺒﺎﻟﺸﻐل ﺘـﺴﺘﺨﺩﻡ‬
‫ﻤﻠﻔﺎﺕ ﻜﻬﺭﻭﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻴﺔ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﻭﺠﻴﻪ ﻭﺘﺭﻜﻴﺯ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ‪.‬‬
‫ﻤﺒﺨﺭﺍﺕ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﻌﺠﻠﺔ ﺫﺍﺘﻴﺎ" )‪:(Self accelerated‬‬
‫ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻨﻭﻉ ﺍﻨﻭﺩ ﻤﺴﺎﻋﺩ ﻟﻐﺭﺽ ﻤﻨﺢ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﺸﻌﻴﺭﺓ ﺍﻭ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻴﺴﻤﺢ ﺒﺘﺒﺨﻴـﺭ ﻤـﻭﺍﺩ‬
‫ﺍﻟﺸﺤﻨﺔ ﺍﻟﺘﻲ ﻻﺘﻜﻭﻥ ﻤﻭﺼﻠﺔ ﻟﻠﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﻤﺜل ﻓﻠﻭﺭﻴﺩ ﺍﻟﻜﺎﻟﺴﻴﻭﻡ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻡ ﻓﻲ ﻁﻼﺀ ﻋﺩﺴﺎﺕ ﺍﻟﻜﺎﻤﻴﺭﺍﺕ ﻟﺘﺤﺴﻴﻥ ﺨﺼﺎﺌﺼﻬﺎ ﺍﻟﺒﺼﺭﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪11.8‬‬
‫ﺍﻟﺘﺎﻟﻲ ﻴﻭﻀﺢ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.8‬‬
‫ﺍﻥ ﻤﺴﺩﺱ ﺍﻟﺘﻌﺠﻴل ﺍﻟﺫﺍﺘﻲ ﻴﻤﻠﻙ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻐﺎﻨﻴﻁ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻟﻤﺴﺢ ﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﺨﻼل ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ‪ .‬ﺘﺴﺘﺨﺩﻡ ﻤـﺴﻴﻁﺭﺍﺕ ﻤـﺴﺢ‬
‫ﺍﻭﺘﻭﻤﺎﺘﻴﻜﻴﺔ ﻟﻠﻨﻭﻋﻴﻥ ﺍﻟﻤﺫﻜﻭﺭﻴﻥ ﻭﺒﺎﻨﻭﻉ ﺘﺠﺎﺭﻴﺔ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﺴﻴﻁﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺴﺢ ﻫﺫﻩ ﺘﻌﻤل ﻋﻠﻰ ﺘﻐﻴﻴﺭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﻐـﺎﻨﻴﻁ ﺍﻟﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴـﺔ ﻭﺒﺎﻟﺘـﺎﻟﻲ‬
‫ﺘﺠﺭﻑ ﺍﻟﺤﺯﻤﺔ ﻋﻠﻰ ﺸﻜل ﻨﻤﻁ )‪ (Lissajous‬ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻫﻲ ﻋﺒﺎﺭﺓ ﻋﻥ ﻤﻭﺠﺎﺕ ﺠﻴﺒﻴﺔ ﺒﺎﺒﻌﺎﺩ ﺜﻨﺎﺌﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻟﻼﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ )‪:(Sputter Deposition of Thin Film‬‬
‫ﻋﻠﻰ ﻏﺭﺍﺭ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺘﻡ ﻓﻴﻬﺎ ﺘﺴﺨﻴﻥ ﻤﺎﺩﺓ ﻟﺯﻴﺎﺩﺓ ﻀﻐﻁ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﺘﻭﺍﺯﻥ ﻓﺎﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺘﺘـﻀﻤﻥ ﺠﻌـل ﺍﻟﻤـﺎﺩﺓ‬
‫ﺘﺘﺤﻭل ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻁﻭﺭ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺍﻟﺘﺩﺍﺨل ﺍﻟﻔﻴﺯﻴﺎﻭﻱ ﻟﻠﺩﻗﺎﺌﻕ ﺍﻟﻤﺘﺼﺎﺩﻤﺔ ﻤﻊ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ )ﺍﻟﺫﻱ ﻨﺸﻴﺭ ﺍﻟﻴﻪ ﻋﺎﺩﺓ ﺒﺎﻟﻬﺩﻑ )‪ .((Target‬ﺘﺘـﻭﻓﺭ‬
‫ﺍﻟﻌﺩﻴﺩ ﻤﻥ ﺍﻨﻭﻉ ﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﻏﺸﺎﺀ ﺭﻗﻴﻕ ﻟﻼﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻓﻲ ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﺍﺠﻬﺯﺓ ﺍﻟﺤﻔﻅ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻴﺔ )ﻤﺜل ﺍﺸﺭﻁﺔ ﺍﻟﺘـﺴﺠﻴل‬
‫ﻭﺍﻗﺭﺍﺹ ﺍﻟﺤﺎﺴﻭﺏ( ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﺍﻟﺒﺼﺭﻴﺔ‪.‬‬
‫ﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻨﺎﺌﻲ )‪:(Diode Sputtering‬‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ 11.9‬ﻴﻭﻀﺢ ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﺒﺴﻁ ﻟﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺘﺭﺫﻴﺫ ﻨﻭﻉ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻨﺎﺌﻲ‪ .‬ﺒﻌﺩ ﺍﻥ ﻴﺘﻡ ﺘﻔﺭﻴﻎ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺍﻟﻰ ﻗﻴﻤﺔ ﻀﻐﻁ ﺍﻻﺴﺎﺱ ﻟﻐﺭﺽ ﺘﻘﻠﻴـل‬
‫ﺍﻟﺘﻠﻭﺙ ﻟﻠﻐﺸﺎﺀ ﻤﻥ ﻗﺒل ﻏﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﺠﻭ ﺍﻭ ﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺎﺀ‪ ،‬ﻴﺘﻡ ﻀﺦ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ )ﺍﻏﻠﺏ ﺍﻻﺤﻴﺎﻥ ﺍﻻﺭﻜﻭﻥ( ﺍﻟﻰ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﻟﻤﺤﺎﻓﻅﺔ ﻋﻠﻰ ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ‬
‫ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻋﻨﺩ ﺤﺩﻭﺩ )‪ (1-100 mTorr‬ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﻤﺴﻴﻁﺭﺍﺕ ﺍﻟﺠﺭﻴﺎﻥ ﺍﻟﻜﺘﻠﻲ )ﺒﺠﺭﻴﺎﻥ ﻨﺤﻭ ﺍﻻﻋﻠﻰ)‪ ((upstream‬ﻟﻐـﺭﺽ ﺍﻟـﺘﺤﻜﻡ‬
‫ﺒﺨﻠﻴﻁ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪ ،‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺼﻤﺎﻡ ﺒﻭﺍﺒﺔ )ﺒﺠﺭﻴﺎﻥ ﻨﺤﻭ ﺍﻻﺴﻔل )‪ .((downstream‬ﺍﻥ ﻫﺫﺍ ﺍﻟـﺼﻤﺎﻡ ﻤﻭﻀـﻭﻉ ﻤﺒﺎﺸـﺭﺓ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺍﻟﻤﻀﺨﺔ ﺍﻟﺘﺭﺒﻭﻴﺔ ﻭﻤﺠﻬﺯﺓ ﺒﻤﺴﻴﻁﺭ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﻌﻁﻲ ﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺒﺯﻤﻥ ﺤﻘﻴﻘﻲ ﻭﺴﺭﻴﻌﺔ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤـﺎﻨﻭﻤﻴﺘﺭ ﻤﺘـﺴﻌﺎﺕ ﻜﻤـﺼﺩﺭ‬
‫ﺘﺤﺴﺱ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻲ ﻋﻨﺩ )‪ (500-5000 V DC‬ﻤﻁﺒﻕ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻬﺩﻑ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﻗﺒل ﺍﻟﻬﺩﻑ ﺘﺼﻁﺩﻡ ﻟﺠﺯﻴﺌﺎﺕ‬
‫ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺒﺎﻟﻘﺭﺏ ﻤﻥ ﺍﻟﻬﺩﻑ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺅﻴﻥ ﺍﻟﻐﺎﺯ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺘﻌﺠﻴل ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﺘﻁﺒﻴﻕ ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺴـﺎﻟﺏ‪ .‬ﻋﻨـﺩﻤﺎ‬
‫ﺘﺼﻁﺩﻡ ﺍﻻﻴﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻭﺠﺒﺔ ﺒﺎﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﺍﻟﻤﻨﺘﻘﻠﺔ ﺘﻜﻭﻥ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻟﻀﺦ ﺫﺭﺍﺕ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺜﺎﻨﻭﻴﺔ ﻭﺍﻴﻭﻨﺎﺕ ﻭﻀـﻭﺀ‬
‫)ﺘﺤﺕ ﺍﻟﺤﻤﺭﺍﺀ‪ ،‬ﻤﺭﺌﻲ‪ ،‬ﻓﻭﻕ ﺍﻟﻨﻔﺴﺠﻲ ﻭﺍﺸﻌﺔ ﺴﻴﻨﻴﺔ( ﺘﻨﺒﻌﺙ ﺨﻼل ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺼﺎﺩﻡ‪.‬‬

‫‪٨٠‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.9‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺤﻘﻭﻨﺔ )ﺍﻟﻤﺘﺭﺫﺫﺓ( ﺘﻬﺎﺠﺭ ﺒﺎﺘﺠﺎﻩ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﻓﻲ ﻤﻨﻅﻭﻤﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﺤﻴﺙ ﺘﺘﻜﺜﻑ ﻟﺘﻜﻭﻥ ﺍﻏﺸﻴﺔ‪ .‬ﻭﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻴﻜﻭﻥ ﺒﺤـﺩﻭﺩ‬
‫)‪ (1-100 mTorr‬ﻓﺎﻨﻪ ﺘﺤﺼل ﻜﻤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺘﺸﺘﺕ ﻟﻠﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺘﺭﺫﺫﻩ ﺒﻭﺍﺴﻁﺔ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪ .‬ﺒﻬﺫﺍ ﺍﻟﺘﺸﺘﺕ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺘـﺭﺫﺫﺓ ﺘﻔﻘـﺩ ﺨﺎﺼـﻴﺔ‬
‫ﺍﻻﺘﺠﺎﻫﻴﺔ ﻟﻬﺎ ﻭﺭﺒﻤﺎ ﺘﺼﺒﺢ ﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﺫﺍ ﺘﻡ ﺘﺎﻴﻨﻬﺎ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺘﻔﻘﺩ ﻁﺎﻗﺘﻬﺎ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﻭﻫﺞ ﺍﻟﻤﺭﺌﻲ ﺍﻟﻤﺤﻴﻁ ﺒﺎﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺍﺜﻨﺎﺀ ﻋﻤﻠﻴـﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴـﺫ ﻴـﺩﻋﻰ‬
‫ﺒﺎﻟﺘﻔﺭﻴﻎ ﺍﻟﻤﺘﻭﻫﺞ )‪ (Glow discharge‬ﺍﻭ ﺍﻟﺒﻼﺯﻤﺎ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻀﻭﺀ ﺍﻟﻤﺭﺌﻲ ﻟﻠﺒﻼﺯﻤﺎ ﻴﻤﻠﻙ ﻟﻭﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﺨﺎﺼﻴﺔ ﻟﻐﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻭﻟﻠﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺤﺼل ﻓﻴﻬﺎ‬
‫ﺘﺭﺫﻴﺫ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻀﻭﺀ ﺍﻟﻤﺭﺌﻲ ﻟﻐﺭﺽ ﻓﺤﺹ ﺍﻟﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ ﻟﻠﺒﻼﺯﻤﺎ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﻁﻴﺎﻑ ﺍﻟﻀﻭﺀ ﺍﻟﻤﺭﺌﻲ‪ .‬ﺍﻥ ﻭﺍﺤﺩ ﻤﻥ ﻤﺘﻁﻠﺒـﺎﺕ‬
‫ﺘﻘﻨﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻟﺜﻨﺎﺌﻲ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﻫﻲ ﺍﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻭﺼل ﻟﻠﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﻌﻨﺎﺼﺭ ﻭﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻌﺎﺯﻟﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﺭﺫﺫ ﺒﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﺨﺭﻯ‪.‬‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺔ ﻟﻠﺘﺭﺫﻴﺫ ﺜﻨﺎﺌﻲ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺫﻭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ ﻫﻲ‪:‬‬
‫ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻋﻨﺩ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ‪1mA/cm2‬‬
‫ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ )ﺍﺭﻜﻭﻥ( ‪3-80 mTorr‬‬
‫ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ‪-3000 VDC‬‬
‫ﻤﺴﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﻤل ‪2-8 cm‬‬
‫ﺍﻋﺘﻤﺎﺩﺍ" ﻋﻠﻰ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻓﺎﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺠﻤﻭﻋﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﻴﺠﺏ ﺍﻥ ﺘﻌﻁﻲ ﻤﻌﺩل ﺘﺭﺴﻴﺏ )‪ .(60-400 Å/min‬ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅـﺔ ﺍﻥ ﻤﻌـﺩل‬
‫ﺘﺎﻜل ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻨﺘﻭﻗﻌﻬﺎ ﻋﻨﺩ ﺤﺩﻭﺩ ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻥ ﺒﻌﺽ ﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺘﺘﻜﺜﻑ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﺴﻁﻭﺡ ﺍﻟﺩﺍﺨﻠﻴﺔ ﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺘﻔﺎﻋل ﺒﻌﻀﻬﺎ ﻤﻊ ﺍﻟﻐﺎﺯﺍﺕ ﺍﻟﻤﺘﺒﻘﻴﺔ ﻟﺘﻜﻭﻴﻥ ﻨﻭﺍﺘﺞ ﺜﺎﻨﻭﻴـﺔ ﻗﺎﺒﻠـﺔ‬
‫ﻟﻠﺘﻁﺎﻴﺭ ﺍﻟﺘﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺯﺍﺤﺘﻬﺎ ﺒﺎﻟﺘﻔﺭﻴﻎ‪.‬‬
‫ﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﺴﺒﺎﺌﻙ ﻭﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ‪:‬‬
‫ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﻟﻠﺴﺒﺎﺌﻙ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﻭﻟﺒﻌﺽ ﺍﻟﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻴﺔ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻨﺠﺯ ﺒﻌﻤﻠﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ‪ .‬ﺒﺼﻭﺭﺓ ﻋﺎﻤﺔ ﻓﺎﻥ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ‬
‫ﺍﻟﻤﺭﺴﺒﺔ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺴﻭﻑ ﻴﻜﻭﻥ ﻟﻬﺎ ﺘﺭﻜﻴﺏ ﻜﻴﻤﻴﺎﻭﻱ ﻤﺸﺎﺒﻪ ﻟﻠﻤﺼﺩﺭ )ﺍﻟﻬﺩﻑ( ﺒﻌﺩ ﻓﺘﺭﺓ ﺘﻭﺍﺯﻥ ﺍﻭﻟﻴﺔ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 11.10‬ﻴﻤﺜل ﻨﻤﻭﺫﺝ ﻤﺒﺴﻁ ﻴﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ‬
‫ﻫﺩﻑ ﻟﺴﺒﻴﻜﺔ ﻤﻜﻭﻨﺔ ﻤﻥ ﻤﺭﻜﺒﻴﻥ )‪ (A‬ﻭ )‪ .(B‬ﻓﺎﺫﺍ ﻓﺭﻀﻨﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﺤﺼﻴﻠﺔ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﻟﻤﺎﺩﺓ )‪ (A‬ﺍﻜﺒﺭ ﻤﻨﻬﺎ ﻤﻥ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ )‪ .(B‬ﺒﺩﺍﻴﺘﺎ" ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺘﻡ ﺘﺭﺫﻴـﺫ‬
‫ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﻤﺭﻜﺏ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻫﺫﺍ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﺼﺎﻋﺩ ﺴﻴﻜﻭﻥ ﺍﻜﺜﺭ ﺘﺭﻜﻴﺯﺍ" ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ )‪ (A‬ﻨﺘﻴﺠﺔ ﺤﺼﻴﻠﺘﻬﺎ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ‪ .‬ﻟﻜﻥ ﺒﻌﺩ ﻓﺘﺭﺓ ﺯﻤﻨﻴﺔ ﻓـﺎﻥ‬
‫ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺴﻭﻑ ﻴﺒﺩﺍ ﺒﺎﻟﺘﺤﻠل ﻤﻥ ﻤﺎﺩﺓ )‪ (A‬ﻭﺍﻟﻜﺜﻴﺭ ﻤﻥ ﺘﺭﻜﻴﺯ )‪ .(B‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﻴﺤﺼل ﻫﺫﺍ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ ﺍﻟﻤﺭﺴﺏ ﺴﻭﻑ ﻴﻤﻠﻙ ﻨﻔﺱ ﺘﺭﻜﻴﺏ‬
‫ﺍﻟﻬﺩﻑ‪.‬‬

‫‪٨١‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.10‬‬
‫ﺨﺼﺎﺌﺹ ﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻓﻲ ﺍﻟﻁﻭﺭ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭﻱ‪:‬‬
‫ﺍﻥ ﺍﻟﺒﺨﺎﺭ ﺍﻟﻤﺘﺼﺎﻋﺩ ﻤﻥ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺏ )ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ( ﻴﺤﻭﻱ ﻋﻠﻰ ﺫﺭﺍﺕ ﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ‪ ،‬ﺍﻴﻭﻨﺎﺕ )ﻤﻭﺠﺒﺔ ﻭﺴﺎﻟﺒﺔ(‪ ،‬ﺍﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ‪ ،‬ﺸﻘﻭﻕ ﻤﺘﻌﺎﺩﻟـﺔ‬
‫ﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺸﻘﻭﻕ ﻤﺸﺤﻭﻨﺔ ﻟﺫﺭﺍﺕ‪ .‬ﻤﻥ ﺘﻠﻙ ﻓﺎﻥ ﺍﻟﻐﺎﻟﺒﻴﺔ ﺍﻟﻌﻅﻤﻰ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺫﺭﺍﺕ ﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ‪ .‬ﺘﻤﻠﻙ ﻫﺫﻩ ﺍﻟـﺫﺭﺍﺕ ﻁﺎﻗـﺎﺕ ﺤﺭﻜﻴـﺔ ﻗﻴﻤﺘﻬـﺎ ﺤـﻭﺍﻟﻲ‬
‫)‪ (50-100‬ﻤﺭﺓ ﺍﻜﺒﺭ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ ﺍﻟﻤﻭﻟﺩﺓ ﻤﻥ ﻤﺼﺎﺩﺭ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ‪ .‬ﺍﻥ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻻﻀﺎﻓﻴﺔ ﻫﻲ ﺍﻟﺴﺒﺏ ﻭﺭﺍﺀ ﺍﻻﻟﺘﺼﺎﻗﻴﺔ‬
‫ﺍﻟﺘﻲ ﻴﺘﻡ ﺍﻴﺠﺎﺩﻫﺎ ﻟﻼﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﻤﺭﺴﺒﺔ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻴﺔ ﻟﻨﻔﺱ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ‪ .‬ﻭﻴﻌﻭﺩ ﺍﻟﺴﺒﺏ ﻓﻲ ﺫﻟﻙ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻀﻐﻁ ﺍﻟﻌﺎﻟﻲ ﻨـﺴﺒﻴﺎ"‬
‫ﻓﻲ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻭﻫﺫﺍ ﻴﻌﻨﻲ ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﺴﺎﺭ ﺍﻟﺤﺭ ﻟﻠﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻤﺘﺭﺫﺫﺓ ﺘﻜﻭﻥ ﻗﺼﻴﺭﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻐﺎﻟﺒﻴﺔ ﺍﻟﻌﻅﻤﻰ ﻟﻠﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﻓـﻲ ﺍﻟﻁـﻭﺭ‬
‫ﺍﻟﻐﺎﺯﻱ ﺍﻟﺘﻲ ﺘﻌﺎﻨﻴﻬﺎ ﺍﻟﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻤﺘﺭﺫﺫﺓ ﺒﻴﻥ ﺍﻟﻬﺩﻑ ﻭﺍﻟﻘﺎﻋﺩﺓ ﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺘﻘﻠﻴل ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻁﺎﻗﺔ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻟﻠﻤﺭﻜﺒﺎﺕ ﺍﻟﻤﺘﺭﺴﺒﺔ ﻋﻨﺩ ﻭﺼﻭﻟﻬﺎ‪ .‬ﻫﺫﺍ ﻴﺅﺜﺭ ﻋﻠﻰ‬
‫ﺤﺭﻜﻴﺔ ﺫﺭﺍﺕ )‪ (ad atom‬ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻜﺜﺎﻓﺔ ﻭﺍﻟﺘﺭﻜﻴﺏ ﺍﻟﺒﻠﻭﺭﻱ ﻟﻠﻐﺸﺎﺀ ﺍﻟﺭﻗﻴﻕ‪ .‬ﻋﻨﺩﻤﺎ ﺘﻔﻘﺩ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﺍﻟﻤﺭﺫﺫﺓ ﻁﺎﻗﺔ ﺒﺎﻟﺘﺼﺎﺩﻤﺎﺕ ﺍﻟﻐﺎﺯ ﻓﻴﻁﻠـﻕ‬
‫ﻋﻠﻴﻬﺎ ﺍﻨﻬﺎ ﺴﺨﻨﺕ )‪ (Thermalized‬ﺃﻱ ﺍﻥ ﻁﺎﻗﺘﻬﺎ ﺍﻟﺤﺭﻜﻴﺔ ﻗﻠﺕ ﻟﺘﺴﺎﻭﻱ ﺘﻠﻙ ﺍﻟﻤﺘﻭﻗﻌﻪ ﻟﻨﻔﺱ ﺍﻟﺫﺭﺍﺕ ﻋﻨﺩ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ‪.‬‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ )‪:(Magnetron Sputter Deposition‬‬
‫ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﺯﻴﺎﺩﺓ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﻋﻥ ﻁﺭﻴﻕ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻤﺠﺎﻻﺕ ﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻴﺔ ﻻﺤﺘﻭﺍﺀ ﺍﻟﺒﻼﺯﻤﺎ ﺒﺎﻟﻘﺭﺏ ﻤﻥ ﻫﺩﻑ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴـﺫ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﻤﻐﻨـﺎﻁﻴﺱ‬
‫ﺍﻟﻤﺜﺒﺕ ﺒﺎﻟﻘﺭﺏ ﺍﻭ ﺘﺤﺕ ﻫﺩﻑ ﻤﺼﺩﺭ ﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﺼﻤﺎﻡ ﺍﻟﺜﻨﺎﺌﻲ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﻴﺴﺘﺨﺩﻡ ﻻﺤﺘﻭﺍﺀ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﺎﺕ ﺍﻟﻤﻨﺒﻌﺜﺔ ﻤﻥ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﺩﻭﺭﺍﻥ ﺒـﺎﻟﻘﺭﺏ‬
‫ﻤﻥ ﺤﺩﻭﺩ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﻫﻨﺎﻙ ﺍﺤﺘﻤﺎﻟﻴﺔ ﺍﻥ ﻴﺼﻁﺩﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻥ ﻓﻲ ﺍﻟﻤﺩﺍﺭ ﺒﺠﺯﻴﺌﺎﺕ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ ﻤﺴﺒﺒﺎ" ﺘﺎﻴﻨﻬﺎ ﺍﻟﺫﻱ ﻴﺯﺩﺍﺩ ﺒﺸﺩﺓ ﺩﻭﻥ ﺍﻟﺤﺎﺠـﺔ ﺍﻟـﻰ‬
‫ﺯﻴﺎﺩﺓ ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﺸﺩﺓ ﺍﻟﻤﺠﺎل ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﻭﻤﻭﻗﻊ ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺱ ﺒﺎﻟﻨﺴﺒﺔ ﻟﻠﻜﺎﺜﻭﺩ ﻴﻜﻭﻥ ﻤﻬﻤﺎ" ﻫﻨﺎ ﻟﻐﺭﺽ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴل ﺍﻟـﺼﺤﻴﺢ ﻟﻤـﺼﺩﺭ‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ‪ .‬ﺍﻟﺸﻜل ‪ 11.11‬ﻴﻭﻀﺢ ﺤﻠﻘﺔ ﺍﻟﺒﻼﺯﻤﺎ ﺍﻟﻤﻭﻟﺩﺓ ﻋﻠﻰ ﻤﺴﺘﻭﻯ ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻥ ﻭﻜﺫﻟﻙ ﺍﻟﻤﻘﻁﻊ ﺍﻟﻌﺭﻀﻲ ﻟﻠﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻥ ﻤﺒﻴﻨﺎ" ﺍﻟﺘﺭﻜﻴـﺏ‬
‫ﺍﻟﻤﻐﻨﺎﻁﻴﺴﻲ ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.1‬‬

‫‪٨٢‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﺒﻤﺎ ﺍﻥ ﺍﻟﺒﻼﺯﻤﺎ ﺘﻜﻭﻥ ﻤﺤﺩﺩﺓ ﺍﻟﻤﻭﻗﻊ ﻓﺎﻥ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﻥ ﺘﻜﻭﻥ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻋﻨﺩ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻭﻤﻭﻟﺩﺘﺎ" ﻜﻤﻴﺔ ﻜﺒﻴﺭﺓ ﻤﻥ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﺍﻟﺘـﻲ ﺘﺘﺒـﺩﺩ‬
‫ﺒﺸﻜل ﻏﻴﺭ ﻓﻌﺎل ﺒﺎﻻﺸﻌﺎﻉ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﻱ‪ .‬ﺍﻥ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺍﻟﻔﻌﺎل ﻟﻠﻜﺎﺜﻭﺩ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻴﻭﻓﺭ ﻁﺭﻴﻘﺔ ﻟﻠﺴﻴﻁﺭﺓ ﻋﻠﻰ ﺩﺭﺠﺔ ﺍﻟﺤﺭﺍﺭﺓ ﻭﻟﻤﻨﻊ ﺘﻠﻑ ﺍﻟﻤﻐـﺎﻨﻴﻁ ﺍﻟﺩﺍﺌﻤﻴـﺔ‬
‫ﺘﺤﺕ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ‪ .‬ﺍﻟﺭﺴﻡ ﺍﻟﺘﺨﻁﻴﻁﻲ ﺍﻟﻤﻭﻀﺢ ﻓﻲ ﺍﻟﺸﻜل ‪ 11.12‬ﻴﻭﻀﺢ ﺒﺸﻜل ﺘﻔﺼﻴﻠﻲ ﺘﺼﻤﻴﻡ ﻤﺼﺩﺭ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤـﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ‪ .‬ﻟﻘـﺩ ﻭﺠـﺩ ﻤـﺼﺩﺭ‬
‫ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ ﺫﻭ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﺍﻟﻤﺴﺘﻤﺭ ﺘﻁﺒﻴﻘﺎﺕ ﻭﺍﺴﻌﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﺼﻨﺎﻋﺔ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻨﻅﻭﻤﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻫﺫﺍ ﺍﻟﻤﺼﺩﺭ ﺘﺒﺩﺍ ﻤﻥ ﻭﺤﺩﺍﺕ ﺘﺭﺴـﻴﺏ‬
‫ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﺍﻟﻤﺩﻤﺠﺔ ﺍﻟﻰ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻁﻼﺀ ﻟﻠﺯﺠﺎﺝ ﺍﻟﻤﻌﻤﺎﺭﻱ ﺒﻁﻭل ‪ 150foot‬ﺍﻟﺘﻲ ﺘـﺴﺘﺨﺩﻡ ﺴﻠـﺴﻠﺔ ﻤـﻥ ﻤـﺴﺩﺴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴـﺫ‬
‫ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ ﻟﻁﻼﺀ ﺼﻔﺎﺡ ﺒﻁﻭل ‪ 4x8 foot‬ﻟﺯﺠﺎﺝ ﺒﻌﺩﺓ ﻁﺒﻘﺎﺕ ﻟﻠﺩﻭﺭﺓ ﺍﻟﻭﺍﺤﺩﺓ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻤﻨﻊ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻟﺠﻤﻴﻊ ﻤـﺴﺎﺤﺎﺕ ﺍﻟﻤـﺴﺩﺱ ﻤﺎﻋـﺩﺍ ﺍﻟﻜـﺎﺜﻭﺩ‬
‫ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺩﺭﻉ ﺍﻭ ﺤﺎﺠﺯ ﺴﻁﺤﻲ ﺍﺭﻀﻲ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﺍﻟﻌﺯل ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺎ" ﻟﻬﺫﺍ ﺍﻟﺩﺭﻉ ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺨﻁﻭﻁ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻤﻥ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻤﻁﺒﻘـﺔ ﻋﻠـﻰ‬
‫ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻋﻭﺍﺯل ﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻜﻴﺔ‪ .‬ﻴﺠﺏ ﻤﻼﺤﻅﺔ ﺍﻥ ﻓﻲ ﺒﻌﺽ ﻤﺴﺩﺴﺎﺕ ﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻲ ﻓﺎﻨﻪ ﻴﻤﻜﻥ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ ﺨﻁـﻭﻁ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴـﺩ ﺒﺎﻟﻤـﺎﺀ‬
‫)ﺍﻟﻤﺼﻨﻌﺔ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﻥ ﺍﻨﺎﺒﻴﺏ ﺍﻟﻔﻭﻻﺫ ﺍﻟﻤﻘﺎﻭﻡ ﻟﻠﺼﺩﺍ( ﻓﻲ ﺘﻭﺼﻴل ﻗﺩﺭﺓ ﺍﻟﻔﻭﻟﺘﻴﺔ ﺍﻟﻌﺎﻟﻴﺔ ﺍﻟﻰ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ﻭﻫﻲ ﻤﻌﺯﻭﻟﺔ ﻜﻬﺭﺒﺎﺌﻴﺎ" ﻋﻨـﺩ ﻤﻨﻁﻘـﺔ ﺍﻟﺘﺠﻬﻴـﺯ‬
‫ﻟﻠﻔﺭﺍﻍ‪ .‬ﻴﺤﺼل ﺘﺤﺕ ﺒﻌﺽ ﺍﻟﻀﺭﻭﻑ ﺘﺭﺫﻴﺫ ﻫﺫﻩ ﺍﻟﺨﻁﻭﻁ ﻭﺍﻟﺘﻲ ﻗﺩ ﺘﺅﺩﻱ ﺍﻟﻰ ﺤﺼﻭل ﺘﻠﻑ ﻟﺨﻁﻭﻁ ﺍﻟﺘﺒﺭﻴﺩ ﺒﺎﻟﻤﺎﺀ ﻀﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ‪.‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.12‬‬
‫ﺍﻟﻤﻌﺩﻻﺕ ﺍﻟﻨﻤﻭﺫﺠﻴﺔ ﻟﻠﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﻟﻤﺼﺎﺩﺭ ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺒﺎﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﺍﻟﻤﺎﻜﻨﺘﺭﻭﻨﻲ‪:‬‬
‫ﻜﺜﺎﻓﺔ ﺍﻟﺘﻴﺎﺭ ﻟﻠﻜﺎﺜﻭﺩ ‪10-50 mA/cm2‬‬
‫ﻀﻐﻁ ﻏﺎﺯ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴﺔ )ﺍﺭﻜﻭﻥ( ‪3 to 50 mTorr‬‬
‫ﺍﻨﺤﻴﺎﺯ ﺍﻟﻜﺎﺜﻭﺩ ‪-400 to -2000 VDC‬‬
‫ﻤﺴﺎﻓﺔ ﺍﻟﻌﻤل ‪2 to 20 cm‬‬

‫ﺍﻻﺠﺘﺜﺎﺙ ﺒﺎﻟﻠﻴﺯﺭ )‪:(Laser Ablation‬‬

‫ﺘﻡ ﺍﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﺤﺯﻡ ﻟﻴﺯﺭ ﻨﺒﻀﻲ ﺫﻱ ﻜﺜﺎﻓﺔ ﻁﺎﻗﺔ ﻋﺎﻟﻴﺔ ﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻏﺸﻴﺔ ﺭﻗﻴﻘﺔ ﻭﻟﻌﻨﺎﺼﺭ ﻤﺨﺘﻠﻔﺔ‪ ،‬ﺴﺒﺎﺌﻙ ﻭﻤﺭﻜﺒﺎﺕ‪ .‬ﻴﺘﻡ ﻓﻲ ﻫـﺫﻩ ﺍﻟﻌﻤﻠﻴـﺔ ﺍﺴـﺘﺨﺩﺍﻡ‬
‫ﻤﺼﺩﺭ ﻟﻴﺯﺭ ﺨﺎﺭﺝ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ ﻟﺘﻭﻟﻴﺩ ﺤﺯﻤﺔ ﻴﺘﻡ ﺘﺒﺌﻴﺭﻫﺎ ﻭﺍﻤﺭﺍﺭﻫﺎ ﺨﻼل ﻓﺘﺤﺔ ﻓﻲ ﺍﻟﺤﺎﻭﻴﺔ ﻭﺍﺭﺘﻁﺎﻤﻬﺎ ﻋﻠﻰ ﻫﺩﻑ ﻀﻤﻥ ﺤﺎﻭﻴﺔ ﺍﻟﻔﺭﺍﻍ )ﺍﻨﻅـﺭ‬
‫ﺍﻟﺸﻜل ‪ .(11.13‬ﻴﺘﻡ ﺘﻭﻟﻴﺩ ﻁﺎﻗﺔ ﻜﺎﻓﻴﺔ ﻟﻨﺴﻑ )ﺍﺠﺘﺜﺎﺙ( ﻤﺎﺩﺓ ﻤﻥ ﺴﻁﺢ ﺍﻟﻬﺩﻑ‪ .‬ﻫﺫﻩ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺠﺘﺜﺔ ﺘﺘﻜﻭﻥ ﻤﻥ ﺫﺭﺍﺕ ﻤﺘﻌﺎﺩﻟﺔ‪ ،‬ﺍﻴﻭﻨـﺎﺕ‪ ،‬ﺸـﻘﻭﻕ‬
‫ﻟﺫﺭﺍﺕ ﻭﺩﻗﺎﺌﻕ ﻤﺎﻜﺭﻭﻴﺔ )‪ .(macro particles‬ﻜﻤﻴﺔ ﺍﻟﻤﺎﺩﺓ ﺍﻟﻤﺭﺴﺒﺔ ﻟﻜل ﻨﺒﻀﺔ ﻟﻴﺯﺭ ﻴﻜﻥ ﻤﺘﻤﺎﺴﻙ ﺠﺩﺍ"‪ ،‬ﻭﺒﺎﻟﺘﺎﻟﻲ ﺘﺴﻤﺢ ﻟﻠﻤﺸﻐل ﺒـﺸﻜل ﺩﻗﻴـﻕ‬
‫ﺒﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻏﺸﻴﺔ ﺒﺎﺴﻤﺎﻙ ﻤﺤﺩﺩﺓ‪ .‬ﺍﻥ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﻫﻨﺎ ﻗﻠﻴل ﺒﺎﻟﻤﻘﺎﺭﻨﺔ ﻤﻊ ﺍﻟﺘﻘﻨﻴﺎﺕ ﺍﻻﺨﺭﻯ )ﺍﻟﺘﺒﺨﻴﺭ ﺒﺎﻟﺤﺯﻤﺔ ﺍﻻﻟﻜﺘﺭﻭﻨﻴﺔ ﻭﺍﻟﺘﺭﺫﻴﺫ ﻤﺜﻼ"(‪.‬‬

‫‪٨٣‬‬
 ‫ﺗﻜﻨﻮﻟﻮﺟﻴﺎ ﺍﻟﻔﺮﺍﻍ ‪......‬ﺩ‪ .‬ﻧﺠﻢ ﺍﻟﺮﺑﻴﻌﻲ‬
‫ﻤﻌﺩل ﺍﻟﻤﻌﺎﻤﻼﺕ ﺍﻟﺘﺸﻐﻴﻠﻴﺔ ﺍﻟﻤﺴﺘﺨﺩﻤﺔ ﻋﺎﺩﺓ ﻤﻭﻀﺤﺔ ﺍﺩﻨﺎﻩ‪:‬‬
‫ﻗﺩﺭﺓ ﺍﻟﻠﻴﺯﺭ ‪100 t0 500 mJ‬‬
‫ﺤﺠﻡ ﺒﻘﻌﺔ ﺍﻟﻠﻴﺯﺭ ﻋﻠﻰ ﺍﻟﻬﺩﻑ ‪0.1 to 0.25 cm2‬‬
‫ﺯﻤﻥ ﺍﻟﻨﺒﻀﺔ ‪5 to 50 ns‬‬
‫ﺍﻟﻁﻭل ﺍﻟﻤﻭﺠﻲ ‪250 to 308 nm‬‬
‫ﺘﺭﺩﺩ ﺍﻟﻨﺒﻀﺔ ‪1 to 20 Hz‬‬

‫ﺍﻟﺸﻜل ‪11.13‬‬
‫ﺍﻥ ﻋﻤﻠﻴﺔ ﺍﻻﺠﺘﺜﺎﺙ ﺒﺎﻟﻠﻴﺯﺭ ﻜﺘﻘﻨﻴﺔ ﺘﺭﺴﻴﺏ ﺤﺎﻟﻴﺎ" ﻤﺤﺩﺩﺓ ﻤﺨﺘﺒﺭﻴﺎ" ﺒﺎﻟﺒﺤﺙ ﻭﺍﻟﺘﻁﻭﻴﺭ ﻭﺫﻟﻙ ﺒﺴﺒﺏ ﻤﻌﺩل ﺍﻟﺘﺭﺴﻴﺏ ﺍﻟﻭﺍﻁﺊ ﻭﻤﺴﺎﻟﺔ ﺍﻻﻤﺎﻥ ﺍﻟﻤﺭﺘﺒﻁﺔ‬
‫ﺒﺎﺴﺘﺨﺩﺍﻡ ﻟﻴﺯﺭﺍﺕ ﺍﻻﺸﻌﺔ ﺍﻟﻔﻭﻕ ﺍﻟﺒﻨﻔﺴﺠﻴﺔ‪ ،‬ﺒﺎﻻﻀﺎﻓﺔ ﺍﻟﻰ ﺘﻜﺎﻟﻴﻑ ﺍﻻﺠﻬﺯﺓ‪ .‬ﺒﻌﺽ ﺍﻻﻏﺸﻴﺔ ﺍﻟﻤﺭﺴﺒﺔ ﺒﺘﻘﻨﻴﺔ ﺍﻻﺠﺘﺜﺎﺙ ﺒﺎﻟﻠﻴﺯﺭ ﺘﺘـﻀﻤﻥ ﺍﻻﻏـﺸﻴﺔ‬
‫ﺍﻟﺭﻗﻴﻘﺔ ﻟﻠﻤﻭﺍﺩ ﺍﻟﻔﺎﺌﻘﺔ ﺍﻟﺘﻭﺼﻴل‪ ،‬ﻁﻼﺀ ﺍﻟﺴﻴﺭﺍﻤﻴﻙ ﻭﺍﻟﻁﺒﻘﺎﺕ ﺍﻟﻤﻌﺩﻨﻴﺔ ﺍﻟﻼﺒﻠﻭﺭﻴﺔ )‪.(amorphous metallic layers‬‬

‫‪٨٤‬‬