Mikrotehnoloogia
Mikrotehnoloogia käsitleb niisuguste kehade ja nendest moodustatud struktuuride tootmismenetlusi, mille mõõtmed jäävad vahemikku 0,1–1000 mikromeetrit.
Kui struktuuriüksuste mõõtmed on väiksemad kui 0,1 μm (100 nm), on tegemist nanotehnoloogiaga.
Mikrotehnoloogilisi menetlusi rakendati kõigepealt integraallülituste valmistamisel (vt pooljuhttehnoloogia), alates 1990. aastatest ka mitmes muus valdkonnas, näiteks
- elektromehaanilised mikrosüsteemid (MEMS), mille koosseisu võib kuuluda (lisaks elektroonilistele) mehaanilisi, optilisi, (bio)keemilisi jm komponente;
- mikrooptilised sensorid ja täiturid;
- analüütilised mikrosüsteemid, näiteks mikrokoguses proovi vajav (bio)keemiline analüsaator ühel kiibil (kiiplabor, inglise lab-on-a-chip);
- mikrovoolistehnoloogia – kasutab vooliste (vedelike, gaaside) mikromõõtmelises ruumis käitumise iseärasusi;
- vedelkristallekraanid (LED-kuvarid);
- päikeseelemendid ja -paneelid.