Univerzitet u Tuzli

Fakultet elektrotehnike
Odsjek Tehnički odgoj i informatika

Seminarski Rad

Obrada Elektronskim Snopom

Prof.dr.sc. Adnan Mustafić Student Mirnes Bektić

Obrada Elektronskim Snopom 1

OBRADA ELEKTRONSKIM SNOPOM (EBM)

Razvoj i primjena snopa elektrona za obradu materijala datira još od 1905. godine kada
je patentiran postupak i uređaj za topljenje metala u visokom vakuumu
bombardovanjem pomoću snopa elektrona.
Ovaj uređaj je posjedovao sve najvažnije karakteristike kasnijih uređaja za
proizvodnju elektronskog snopa. Međutim, tek 1958. godine firma „Carl Zeiss” –
Oberkochen SR Nemačka izradila je prvi industrijski uređaj za obradu skidanjem
materijala i zavarivanje pomoću snopa elektrona, tako da se ova godina može sma
trati pravim početkom primjene snopa elektrona za obradu materijala.

Danas se postupak obrade snopom elektrona primenjuje za širok spektar proizvodnih

operacija kao što su: bušenje malih otvora, izrada prostornih gravura,
sječenje materijala, graviranje, topljenje i isparavanje metala, zavarivanje i
lemljenje, termička obrada i oplemenjavanje površina itd, pri čemu u nekim
slučajevima bez druge alternative.

Obrada Elektronskim Snopom 2

Fizikalne osnove dobijanja visokoenergetskog snopa elektrona

Osnovu ove obrade čini visokoenergetski snop elektrona koji se dobija u uređaju čija je
uprošćena šema prikazana na slici 6.1.
Elektroni se isijavaju iz tanke volframove žice – katode zagrejane električnim putem na
temperaturu od oko 2500 ºC. Struja elektrona koja izlazi iz katode reguliše se i oblikuje
pomoću čašaste Wehnelt-ove elektrode.
Zbog djelovanja snažnog električnog polja između katode i anode, elektroni se
ubrzavaju do vrlo visoke brzine kojom se u snopu kreću prema površini obratka. Na
tom putu snop elektrona prolazi kroz sistem za oblikovanje i vođenje i završava se
fokusiranjem na malu površinu obratka. Sve ovo se odvija u visokom vakuumu, kako
bi se izbjeglo rasipanje energije snopa elektrona pri sudaru sa molekulima gasova iz
atmosfere.

Fokusirani snop elektrona na površinu obratka predstavlja energetski snažan i vrlo

precizan alat za obradu koji ima sledeće važne karakteristike:

Postojan je za vreme obrade, tj. nema habanja ni drugih promena tokom obrade koje bi
uticale na tačnost;

Precizan je i vrlo malih dimenzija, pa kao takav može da obradi filigranski složene konture
sa oštrim ivicama i malim prelaznim radijusima;

Univerzalan je, jer se bez ikakvih promena, naravno osim energetskih, koristi za bušenje
otvora, glodanje gravura, sječenje, zavarivanje, i dr, što znači da nema uobičajenih
priprema i izmena alata tokom obrade; Radi bezkontaktno, pa prema tome ne vrši
nikakav pritisak na obradak i ne deformiše ga, što je veoma važno kod obrade dijelova
osjetljivih na spoljašne sile, odnosno deformacije;

Obrada Elektronskim Snopom 3

 Slika 6.1 Šema uređaja za obradu snopom elektrona

Obrada Elektronskim Snopom 4

Osnovi Procesa EBM-obrade

Energija snopa elektrona, pored zagrijavanja materijala obratka, troši se još i na toplotno i
rentgensko zračenje. Ovo poslednje se javlja iz dubine materijala i poput drugih kvantnih
zračenja, biološki je štetno za ljude ako je njegov intenzitet iznad određenog nivoa. To
nameće potrebu da se pri gradnji i eksploataciji uređaja preduzmu stroge mjere zaštite u
cilju smanjenja intenziteta ovog štetnog zračenja. Gubitak energije usljed rendgenskog
zračenja manji je od 1% [12]. U zavisnosti od visine i načina korišćenja razvijene toplote,
u osnovi se odigravaju dvije vrste procesa obrade snopom elektrona: obrada odvajanjem
čestica materijala i toplotna obrada.

12) Pri naponu ubrzanja od 150 kV, vel = 228 506 km/s, što je više od 2/3 brzine
svjetlosti.

6.2.1. Obrade odvajanjem čestica materijala

Ukoliko se podesi snop elektrona visokog intenziteta i fokusira na vrlo malu

površinu prečnika Ds, slika 6.2, sa kratkim vremenskim djelovanjem od svega
nekoliko μs, onda elektroni prodiru u tanak sloj materijala dubina δ, koja je manja
od 100 μm, pa tako nastaje snažan povr-šinski izvor toplote.

Pretvaranje kinetičke energije elektrona u toplotu vrši se u ovom sloju praktično trenutno,
što dovodi do isparavanja, sagorijevanja i eksplozivnog izbacivanja rastopljenog
materijala iz tog sloja (vidi ilustraciju na slici 6.2).
S obzirom na vrlo visoke temperature na koje je zagrijan taj sloj materijala, koje se kreću
od 4000 do 6000 K, može se pretpostaviti da dominira odvajanje materijala isparavanjem
i sagorijevanjem u odnosu na izbacivanje rastopljenog materijala i čvrstih čestica.

Obrada Elektronskim Snopom 5

Slika 6.2 Šematski prikaz procesa obrade skidanjem materijala pomoću snopa elektrona

Pri ovoj obradi se deo toplotne energije koji se iz zone delovanja snopa odvodi
provođenjem svodi na najmanju moguću mjeru.
To se postiže vrlo visokim temperaturama u tankom sloju pregrijanog materijala zapremine
Ds =  / 4 *  , s obzirom da toplota provođenja raste linearno, a pritisak isparavanja
2

eksponencijalno sa temperaturom, kao i primjenom impulsnog djelovanja snopa elektrona,

tako da impulsi pri kojima se postiže željeni efekat isparavanja traju od 10-6 do 10 s, dok
je pauza između dva impulsa za 50 do 100 puta duža.
Prema tome za uspješno sprovođenje ove vrste obrade snopom elektrona moraju biti
ispunjena dva bitna uslova: visoka koncentracija energije snopa, kojom se u kratkom
vremenskom intervalu postižu visoke temperature i impulsni rad uređaja.

Obrada Elektronskim Snopom 6

6.2.2. Toplotne obrade
U ovu grupu spadaju obrade u kojima se razvijena toplota koristi za zagrijavanje
ili rastapanje m snopa materijala. Najvažniji predstavnik ove grupe je zavarivanje, pa se
na njemu i objašnjava proces obrade, koji je u osnovi sličan kod svih vrsta toplotne obrade.
Zavarivanje se ostvaruje delovanjem elektrona određenog intenziteta na površinu obratka
koja je nešto većeg prečnika Ds, (slika 6.3), nego kod prethodno opisane obrade, koji uz to
djeluje u dužem vremenskom intervalu. Pri tim parametrima obrade dolazi do isparavanja
samo manjeg površinskog sloja materijala. Veći dio materijala koji je zahvaćen dejstvom
snopa se intenzivno zagrijava, a preko bočnih površina ova toplota se provodi u bližu
okolinu, što ima za posljedicu topljenje materijala u uskoj zoni delovanja snopa na velikoj
dubini H.

Slika 6.3 Šematski prikaz procesa zavarivanja snopom elektrona

Obrada Elektronskim Snopom 7

Proizvodne operacije EBM-obrade

Operacije obrade elektronskim snopom koje se koriste u masinskoj industriji su

brojne i raznovrsne od kojih se najvaznije sematski prikazane na slici :

a) izrada uskih proreza; b) izrada ravnih gravura; c) izrada prostornih gravura; d)

zavarivanje; e)sječenje; f) izrada cilindričnih ili koničnih rupa/otvora; g) perforiranje
tankih limova; h) graviranje – označavanje delova; i) kaljenje i površinsko oplemenjavanje
Slika 6.4 Najvažnije operacije obrade snopom elektrona sa potrebnim kretanjima

Najveći broj prikazanih operacija ostvaruje se odvajanjem čestica materijala, slika

6.4/a,b,c,e,f,g,h. One se izvode pomjeranjem obratka ili skretanjem snopa elektrona, čime
se postiže kontinualno skidanje tankog sloja materijala debljine δ, kako je opisano u
prethodnim tačkama. Način na koji se obrada odvija je vrlo sličan obradi klasičnim
glodanjem ili bušenjem, pa se otuda za ovu obradu ponekad koristi i naziv
„glodanje/bušenje snopom elektrona”. Kao što se iz navedenih primjera vidi, snop
elektrona se ovde koristi kao svojevrsno „glodalo”, odnosno „burgija” i može da izvodi sve
one obrade koje izvode i klasični alati ove vrste. Za ovo su razvijene i posebne mašine, tzv.
„elektronske glodalice” i one po pravilu imaju CNC-upravljanje u više osa kako je to
naznačeno uz svaku operaciju prikazanu na slici 6.4. Prethodno navedene operacije se
mogu izvoditi u jedno ili više impulsnoj tehnici. Osim perforiranja tankih limova, kod koga
se najčešće jednim impulsom izrađuje jedan otvor, ostale operacije se po pravilu izvode
kao više impulsna obrada.

Obrada Elektronskim Snopom 8

6.4. Struktura uređaja za EBM-obradu

Uređaj za EBM obradu sačinjava nekoliko karakterističnih jedinica koje se mogu analizi-
rati kao zasebne cjeline, a to su:
a) Elektronsko-optički stub za dobijanje, oblikovanje i vođenje snopa elektrona, tzv.
elektronski top
b) Radna komora za smeštaj radnih predmeta pri obradi;
c) Vakuumska jedinica koja obezbeđuje potreban vakuum u elektronskom topu i
radnoj komori;
d) Jedinica za nadzor i upravljanje procesom obrade i radom cijelog uređaja.

Na slici 6.1, na kojoj je šematski prikazan uređaj za EBM-obradu, mogu se uočiti dvije
najvažnije jedinice, odnosno elektronski top i radna komora. Elektronski top, čiji spoljni
izgled je prikazan na slici 6.5 [12], sačinjavaju dva dijela: izvor snopa elektrona,
uključujući i elemente za regulisanje njegove jačine, i sistem za oblikovanje i vođenje

snopa elektrona.
Slika 6.5 Elektronsko-optički stub uređaja za EBM-obradu

Obrada Elektronskim Snopom 9

U potpoglavlju 6.1. opisan je izvor snopa elektrona i pri tome je pomenuto da se struja
elektrona koja izlazi iz katode reguliše i oblikuje pomoću čašaste Wehnelt-ove elektrode.
Regulisanje struje Is se postiže promenom prednapona U pomenute elektrode u odnosu na
katodu pri konstantnom naponu ubrzanja, kako je prikazano na slici 6.6.

Sa slike 6.6/a se vidi da je pri dovoljno velikom prednaponu upravljačke elektrode Uue=U
struja snopa I = 0, a E (r=0, z=0)< 0. Smanjenjem negativnog prednapona, slika 6.6/b,
dobija se struja snopa I > 0, s tim što elektrone emituje samo vrh katode, a E (r=0, z=0)=0.
Daljim smanjivanjem negativnog prednapona, slika 6.6/c, struja snopa I se sve više
povećava, s obzirom da elektrone emituje veća površina katode; E (r=0, z=0)>0. Na taj
način upravljačka Wehnelt-ove elektroda deluje kao elek-trični šiber kojim se otvara ili
zatvara prolaz snopu elektrona.

Slika 6.6 Regulisanje struje snopa promenom prednapona upravljačke Wehnelt-ove

elektrode

Prethodno opisana promena struje snopa pomoću Wehnelt-ove elektrode može se

predstaviti i analitički pomoću jednačine oblika:

Obrada Elektronskim Snopom 10

 3

I s = G  (U ue − U pz ) 2

U prethodno datim relacijama je :

Uue-Prednapon upravljacke diode
Upz – napon kojim se potpuno zaustavlja prolaz elektrona,
E – jačina polja katode i
G – faktor geometrijskog rasporeda elektroda i oblika emisione površine katode.
Sistem za oblikovanje i vođenje snopa elektrona uglavnom sačinjavaju: magnetna sočiva
za centriranje mlaza, blende, korektivna sočiva, specijalni optički sistem za posmatranje
predmeta pri obradi, sa povećanjem do 70x, kao i ranije pomenuta magnetna sočiva za
fokusiranje snopa elektrona na površinu obratka i za skretanje snopa elektrona po površini
obratka.
Radna komora, u kojoj vlada vakuum od 1 do 10-2 Pa, služi za odvijanje samog procesa
obrade snopom elektrona.
Oblik i veličina radne komore zavisi od veličine radnih predmeta i veličine serije koja se
obrađuje. U komori se nalazi radni sto za obratke koji može imati više tran-slatornih
i obrtnih kretanja.

Slika 6.7 CNC-uređaj za obradu metala snopom elektrona

Obrada Elektronskim Snopom 11

Slika 6.7 prikazuje izgled manjeg uređaja za obradu snopom elektrona koji ima sledeće ka-
rakteristike: snaga snopa 1 kW, zapremina komore 1,3 m 3 , raspolaže manipulatorom
za obratke sa tri NU-ose i ima sistem za potpuno automatsko upravljanje uz pomoć
računara [6].

Slika 6.8 Postrojenje za zavarivanje sa pokretnim elektronskim topom

Obrada Elektronskim Snopom 12

Na slici 6.8 prikazano je vrlo veliko postrojenje za zavarivanje sa pokretnim 60/30 kV
elektronskim topom, umesto obratka koji miruje, koje se koristi u raketnoj industriji,
atomskoj tehnici i gradnji podmornica. Ima prečnik vakuumske komore od 13 m, a može
da primi obratke mase do 25 t [12].

6.5. Tehnološke karakteristike EBM–obrade

6.5.1. Uticajni parametri na proces obrade

U zavisnosti od područja primene, pri obradi snopom elektrona se mogu regulisati sledeći
parametri obrade, s obzirom da oni bitno utiču na proces EBM–obrade:
-Intenzitet snopa elektrona pomoću struje grejanja katode i napona upravljanja Wehnelt-
ovom elektrodom;
-Prečnik snopa na površini obratka fokusiranjem pomoću magnetnih sočiva;
-Vreme delovanja snopa, kontinualnim ili impulsnim radom;
- Brzina kretanja snopa po površini obratka.
Podešavanje prethodno datih parametara vrši se korišćenjem određenih fizikalnih ili empi-
rijskim zavisnosti vezanih za snop elektrona od kojih su najvažnije:

Kinetička energija elektrona:

1
Ek = me  v e = e  U s
2

gde je:

m = 9,1·10 −28 (g) – masa elektrona

e = 1,602·10 −19 (C) – elektromagnetno naelektrisanje elektrona.

Obrada Elektronskim Snopom 13

Snaga snopa elektrona:

P = U b ·I s – neprekidni režim rada (6.3)

P = = U b ·I s ·f·t = U b ·Li·f – impulsni režim rada (6.4)

gde je:

Ub = (20÷200) kV ± 0,01% – napon ubrzanja,

Is = 0,01÷100 mA, – jačina struje snopa elektrona

Li (C) – impulsno naelektrisanje snopa elektrona

f = 50 Hz do 50 kHz – frekvencija impulsa

t = 0,1÷10 na 6 μs – vrijeme djelovanja impulsa.

Brzina elektrona u snopu: (6.5)

ve = 5,9  107 U s

pri cemu je Ub u (V).

Obrada Elektronskim Snopom 14

 Specifična snaga ili intenzitet snopa u fokusu:

Specifična snaga – intenzitet snopa u fokusu q i vreme delovanja impulsa snopa elektrona
t su dva najvažnija tehnološka parametra kojima se definiše područje primene snopa
elektrona, kako je prikazano na dijagramu slika 6.9.

Obrada Elektronskim Snopom 15

 Slika 6.9 Pregled područja različitih primjena obrade snopom elektrona

6.5.2. Proizvodnost, tačnost i kvalitet obrade

Proizvodnost pri obradi elektronskim snopom zavisi od niza faktora kao što su: specifična
snaga u fokusu, vrijeme impulsa i pauze, površina na koju se snop fokusira, položaj
fokusa u odnosu na površinu obratka, broj impulsa, brzina kretanja obratka,
toplotno-fizičke karakteristike materijala koji se obrađuje i dr. Može se izražavati na
različite načine u zavisnosti od područja primjene. Tako npr. kod obrada
skidanjem materijala, proizvodnost se izražava u mm/min ili
kom/s, kod perforiranja limova kao br. otvora/s, kod zavarivanja brzinom u m/s itd.

Obrada Elektronskim Snopom 16

Slika 6.10 Eksperimentalno-računske vrednosti prečnika fokusiranog snopa u
zavisnosti od napona ubrzanja i struje snopa

Slika 6.11 Uticaj naelektrisanja impulsa na max. dubinu bušenja koja se može postići
sa 10 000 impulsa
Na slikama 6.10, 6.11 i 6.12 dati su dijagrami na kojima su prikazane neke međuzavisnosti
parametara EBM–obrade koji utiču na proizvodnost, a dobijeni su eksperimentalnim putem
[8].

Obrada Elektronskim Snopom 17

Sa dijagrama na slici 6.10 može se videti kako napon ubrzanja Us i struja snopa Is utiču na
prečnik snopa u fokusu. Dijagram pokazuje da se manji prečnik snopa može dobiti pri
većim naponima ubrzanja Us i manjim strujama snopa Is (za Us > 150 kV i Is = 1 mA
prečnik snopa iznosi oko 9 μm).
Kao što pokazuje dijagram na slici 6.11, veće dubine bušenja, pri istom broju impulsa,
postižu se većim impulsnim naelektrisanjem L, tj. većom strujom snopa I i dužinom
delovanja impulsa t (L = I·t).
Dijagram na slici 6.12 pokazuje pri svim vrednostima impulsnog naelektrisanja znatan
uticaj položaja fokusa na broj impulsa koji je potreban da se izbuši jedan otvor. Za podatke
date na dijagramu, optimalni položaj fokusa snopa iznosi oko 2 mm ispod površine obratka.

Tačnost obrade elektronskim snopom zavisi od energetskih parametara snopa i njihove

stabilnosti, sistema za fokusiranje, tačnosti sistema za upravljanje impulsima, kao i tačnosti
mehaničkih uređaja za pomak. Ona je vrlo visoka i obično se kreće u granicama 2÷4 μm
[5].
Konusni oblik fokusiranog snopa elektrona utiče da i oblik izbušenog otvora ima blagi
konus kako je prikazano na slici 6.13 [3]. Ovde se radi o vrlo malim otvorima koji se buše
sa jednim ili više impulsa bez skretanja snopa. Međutim, kod većih prečnika otvora ova
greška se može ispraviti zakretanjem snopa tako da jedna strana konusa bude paralelna sa
osom otvora, a potom njihovim rotiranjem u krug

Kvalitet obrade koji se postiže elektronskim snopom spada u područje srednje fine obrade i
kreće se od N7 do N9, dok je obrađena površina čista. Treba znati da se povećanjem
kvaliteta obrade smanjuje proizvodnost pri obradi, pa zbog toga treba ići na minimalni
kvalitet obrade koji zadovoljava funkciju dijela koji se obrađuje.

Obrada Elektronskim Snopom 18

 • Slika 6.12 Uticaj položaja fokusa na potreban broj impulsa za različita
naelektrisanja impulsa Uslovi pri obradi: UB = 130 kV; ti = 10 μs; fi = 1000
Hz;

Obrada Elektronskim Snopom 19

 • 6.6. Područje primene

• Tehnologija obrade snopom elektrona razvija se u nekoliko karakterističnih

pravaca:
Obrada skidanjem materijala,
Zavarivanje i lemljenje mikro elemenata,
Topljenje i isparavanje metala;
Kaljenje i površinsko oplemenjavanje.
Koristi se za obradu svih vrsta materijala (metalnih i nemetalnih), bez obzira na
njihova mehanička svojstva i hemijski sastav. S obzirom na dimenzije „reznog alata”,
koje mogu biti mikrometarske vrednosti, ovim postupkom se obavljaju prvenstveno
mikro obrade (npr. izrada in-tegralnih kola – čipova), ali je isto tako moguća
primjena i za makro obrade (npr. zavarivanje velikih delova i rezervoara). U
nastavku se daju neki karakteristični primjeri primjene EBM–obrade.
6.6.1. Obrade skidanjem materijala

Proces EBM–obrade u kome se oblikovanje postiže odstranjivanjem materijala sa

mjesta obrade opisan je u tački 6.2, dok je u tački 6.3. dat pregled najvažnijih
proizvodnih operacija. Kao što se iz toga može videti, na ovaj način mogu se bušiti
otvori (normalni, duboki malog prečnika, konični ili pod određenim uglom),
perforirati tanki limovi, obrađivati profilni prorezi i gravure, vršiti različite vrste
graviranja, seći različiti materijali i dr.

6.6.1.1. Bušenje otvora elektronskim snopom

Ovim postupkom se mogu bušiti različiti otvori, kako po geometrijskom obliku, tako
i po dubini i položaju ose. Ako je odnos dubina otvora/prečnik veći, onda se to smatra
klasičnim bušenjem i izvodi se sa više impulsa koji slede jedan za drugim.

Obrada Elektronskim Snopom 20

Međutim, ako je odnos dubina otvora/prečnik manji (najviše 5:1), što je slučaj kod
tankih limova, a uz to je i broj istih otvora vrlo veliki, onda se to naziva perforiranjem,
koje se tako izvodi da se sa jednim impulsom najčešće obradi jedan otvor.

Raznovrsnost materijala koji se na ovaj način mogu obrađivati (čelik, mesing, aluminijum,
rubin, safir, sintetički i prirodni dijamant itd.) i mogućnost bušenja ekstremno malih otvora
prečnika svega 10 μm, glavne su odlike i prednosti ovog postupka u odnosu na druge
konvencionalne i nekonvencionalne metode obrade.

Na slici 6.14 prikazana je glava komore za sagorijevanje kod helikoptera prečnika 317 mm
od legure kobalta sa 3730 kosih otvora Ø0,9 mm sa uglovima nagiba između 90º i 25º u
odnosu na po-vršinu obratka, koji služe za hlađenje.

Ovi otvori su izbušenih snopom elektrona sa tolerancijom međusobnog položaja ±0,1 mm,
tako da vrijeme takta, koje se računa od početka rada vakuumske pumpe za radnu
komoru do izlaska izbušenog dela, iznosi oko 20 min [4]. Ovi podaci dovoljno rječito
govore o efikasnosti po-stupka EBM–obrade.

Slika 6.14 Primjer bušenja glave komore za sagorijevanje kod helikoptera

Obrada Elektronskim Snopom 21

Drugi primjer se takođe odnosi na otvore za hlađenje na turbinskim lopaticama, slika 6.15
[3]. Na izlaznoj ivici lopatice izbušen je niz gusto poređanih otvora Ø0,4 mm dubine 5
mm, a na ulaznoj ivici u istom skladu niz kosih otvora.

Kroz koso izbušene otvore ubacuje se hladan vazduh koji se kao laminarni film raspoređuje
iznad površine metalnog dijela i tako ga štiti od delo-vanja pregrijanih radnih gasova.

Perforiranje otvora je veoma čest proizvodni zadatak. Radi se o gusto izbušenim otvorima
različitog geometrijskog oblika na tankim limovima, slika 6.4/g. Ova obrada se veoma
efikasno izvodi primenom snopa elektrona, što potvrđuju i podaci dati na dijagramima,
slika 6.16 [3].

Pada u oči da se ovom tehnikom mogu bušiti otvori najmanjeg prečnika od 50 μm na

materijalima debljine 50 μm, a najvećeg prečnika 1 mm na materijalima debljine 5 mm. To
je uglavnom područje u kome se klasično bušenje ili prosecanje teško može primjeniti,
dok bi to za elektrohemijsku i elektroerozivnu obradu bio specifičan slučaj obrade.

Obrada Elektronskim Snopom 22

Slika 6.15 Turbinske lopatice sa gusto izbušenim otvorima za hlađenje na ulaznoj i
izlaznoj ivici

Slika 6.16 Područje prečnika i brzina perforiranja primenom snopa elektrona

Obrada Elektronskim Snopom 23

Tipičan primer primene perforiranja prikazan je na slici 6.17. Radi so o filterskom bubnju
od nehrđajućeg čeličnog lima debljine 0,1 mm sa otvorima Ø0,2 mm, za potrebe
prehrambene industrije, izbušenim postupkom perforiranja sa brzinom obrade od 3000
otvora u sekundi [12].

Slika 6.17 Filterski bubanj za prehrambenu industriju

6.6.1.2. Izrada profilnih proreza i gravura

Obrada otvora, proreza, gravure i drugih formi složenih oblika (vidi sliku 6.4/a,b,c i f) sa
jednim jedinim impulsom se ne može uvek ostvariti. U takvim slučajevima se koristi
višeimpulsna tehnika koja najčešće podrazumijeva i skretanje elektronskog snopa ili
pomjeranje obratka.

Skidanje materijala snopom elektrona ostvaruje se slično obradi klasičnim glodanjem ili
bušenjem (vidi odeljke 6.2. i 6.3.).

Skretanje elektronskog snopa i pomeranje obratka ostvaruje se odgovarajućim računarskim

programima saglasno datoj konturi, uz istovre-meno delovanje snopa elektrona visokom
frekvencijom.

Obrada Elektronskim Snopom 24

Na ovaj način se može obrađivati: metal, grafit, staklo, keramika, sintetički materijali i dr.
Na slici 6.18 dat je primjer profilnih proreza izrađenih EBM–glodanjem [3].

6.6.1.3. Graviranje metala i keramike

Visoka preciznost i brzina obrade snopom elektrona omogućile su još jedno područe
njegove racionalne primjene, koje je ranije bilo ograničeno na hemijsko nagrizanje ili
mehaničko graviranje.
Radi se, dakle, o graviranju, koje ovde nije ograničeno samo na označavanje dijelova radi
identifikacije, već znatno šire.

Na slici 6.19 dat je primjer sitnih gravura na valjku za duboku štampu izrađenih pomoću
snopa elektrona [3].

Slika 6.19 Primjeri gravura na valjcima za duboku štampu izrađenih snopom

elektrona a), b) i c) – primjeri udubljenja za prijem boje različitog prečnika i dubine

Mala udubljenja–gravure, prečnika oko 100 μm i dubina koje odgovaraju rasteru slike
(kreću se od 0 do preko 30 μm), nose farbu za štampanje. Mala zapremina znači slabije, a
velika jače tonove boje.

Obrada Elektronskim Snopom 25

Ovaj ekstra brzi postupak graviranja valjaka imaće u budućnosti mogućnost da se aktuelne
informacije u slici digitaliziraju i prenesu na daljinu, a potom u kratkom vremenu
visokokvalitetno odštampaju.

Napredak elektronske industrije, posebno kompjuterske tehnike, umnogome zavisi od

načina gradnje i proizvodnih postupaka koji će omogućiti dobijanje finih struktura.

Graviranje i bušenje nepečene keramike snopom elektrona dovodi do proizvodnje dijelova

višeslojne keramike.

Više tanko graviranih ploča (širina gravure oko 50 μm), se postave jedna na drugu, a fini
kanali se zaliju metalom, čime se dobija trodimenzionalno sastavljeni sistem mreže
provodnika.

Obrada Elektronskim Snopom 26

6.6.1.4. Graviranje naparenih metalnih slojeva

Na sličan način, kao kod prethodno opisanog graviranja keramike, vrši se i graviranje
naparenih metalnih slojeva. Snop elektrona se upravlja pomoću računarskog programa,
tako da se obradom postigne gravura željene geometrije električnih kola, slika 6.20 [3].

Iz naparenog metalnog sloja (npr. tantal na substratu stakla) izrade se mreže otpornika. U
toku obrade mogu se precizno mjeriti otpornosti kola i vršiti kalibrisanje. Visoka brzina
kalibrisanja omogućuje ekonomičnu proizvodnju velikih serija. Jednostavnom izmjenom
računarskog programa, mijenja se i geometrija električnog kola, što je od posebnog značaja
kod pojedinačne ili maloserijske izrade za potrebe istraživanja

Slika 6.20 Gravura hibridnog električnog kola širina traga 40 μm, bizina graviranja
5 m/s

Obrada Elektronskim Snopom 27

6.6.1.5. Sječenje elektronskim snopom

Postupak sječenja (vidi sliku 6.4/e) se bazira na zagrijavanju obratka kontinualnim ili
pulzirajućim elektronskim snopom sa lokalnim razvojem takve specifične snage koja je u
stanju da proizvede najpovoljnije termofizičke, termohemijske, hidrodinamičke,
gasodinamičke i erozivne procese za odvajanje materijala.

Snop elektrona pada na površinu obratka i u prvom trenutku jedan dio površine materijala
isparava, dok se potpovršinski sloj zagrijava do tačke topljenja.
Čim ispareni materijal napusti zonu djelovanja, snop elektrona pada na već zagrijani sloj
materijala i izaziva njegovo isparavanje ili sagorijevanje, čime nastaje procep (rez) u
obratku.

Pomjeranjem snopa elektrona ili obratka po određenoj putanji ostvaruje se isjecanje željene
konture. Brzina sječenja može biti i do 50 m/s, zavisno od snage elektronskog snopa,
materijala obratka i njegove debljine, vrste uređaja i sistema za fokusiranje.

Posebna pogodnost koju pruža ova vrsta obrade je izuzetno mala širina reza (oko 25 μm),
što je posebno značajno pri sječenju skupih i kvalitetnih materijala. Mala širina reza
obezbeđuje preciznu obradu elemenata najsloženije konfiguracije

6.6.2. Toplotne obrade pomoću snopa elektrona

Kao što je ranije rečeno u ovu grupu spadaju obrade kod kojih se razvijena toplota koristi
samo za zagrijavanje ili topljenje materijala.
Prema tome, pri obradi se vrši samo promjena metalurškog stanja, ali ne i odvajanje
materijala. 6.6.2.1.

Topljenje materijala Proces topljenja materijala se koristi za livenje, čišćenje metala od

nemetalnih uključaka, legiranje itd. Kod njega se elektronski snop koristi za zagrijavanje
do prelaska materijala iz čvrstog u tečno stanje.

Obrada Elektronskim Snopom 28

Na slici 6.21 data je opšta šema topljenja materijala pomoću elektronskog snopa.
Šipka 5 za topljenje stoji u horizontalnom položaju i pomjera se lagano prema snopu 2
koji je usmjeren prema otvoru kristalizatora. Istopljeni materijal 6 pada u kristalizator 9
koji se intenzivno hladi vodom.
Izliveni blok 8 se lagano pomera naniže pomoću šipke 10, tako da istopljeni materijal
uvijek pada sa iste visine u zonu koja se intenzivno hladi.

Slika 6.21 Šema topljenja materijala elektronskim snopom

Obrada Elektronskim Snopom 29

1. elektronski top;
2. elektronski snop;
3. ostvarivanje vakuuma;
4. radna komora;
5. šipka za topljenje;
6. kapljice materijala;
7. rastopina;
8. telo izlivenog bloka;
9. kristalizator hlađen vodom;
10. šipka za povlačenje bloka;
11. senzor za praćenje process

Proces topljenja elektronskim snopom omogućava istovremeno i precizno livenje, tako što
se rastopina dobijena pomoću elektronskog snopa, kada dostigne potrebnu masu,
automatski sipa u kalupe za precizno livenje, slika 6.21 – dole desno.

26.6.2.2. Isparavanje materijala

Kod ove primjene se snop elektrona koristi za zagrijavanje rastopljenog materijala do

temperature pri kojoj nastaje isparavanje tj. za prelaz materijala iz tečnog u gasovito stanje.

Obrada Elektronskim Snopom 30

 Slika 6.23 Princip isparavanja materijala pomoću elektronskog snopa

1. elektronski top; 2. elektronski snop; 3. površina delovanja elektronskog snopa; 4.

vakuumska komora; 5. grejač substrata; 6. substrat; 7. dobijena prevlaka; 8. struja
metalne pare; 9. zaklon za paru; 10. ostvarivanje vakuuma; 11. površina isparavanja;
12. otopljeni dio materijala; 13. materijal za isparavanje; 14. lonac koji se hladi vodom
Proces isparavanja materijala se koristi za nanošenje prevlaka različitog tipa i kvaliteta,
površinsko legiranje itd. Na slici 6.23 prikazana je uprošćena šema uređaja za isparavanje
materijala pomoću elektronskog snopa u cilju presvlačenja.
Materijal na koji se nanosi prevlaka – substrat 6 se zagrijava na određenu temperaturu,
dok se lonac 14 u kome se zagrijava materijala za isparavanje iznutra hladi vodom.
Površinski sloj materijala 12 je rastopljen, a na njegovoj spoljašnoj površini 11, na koju
pada elektronski snop, se ostvaruje proces isparavanja.

Obrada Elektronskim Snopom 31

Manji dio kinetičke energije snopa elektrona troši se na zagrijavanje materijala po dubini,
dok se najveći dio troši za postizanje visoke temperature na površini materijala koji
isparava. Ispareni materijal se kondenzuje na obratku u vidu tanke presvlake.
Za isparavanje se koriste uređaji snage nekoliko MW, sa naponima ubrzanja od 20 do 30
kV. Specifična snaga iznosi do 102 kW/cm [5].

6.6.2.3. Zavarivanje

Primjena elektronskog snopa u tehnologiji zavarivanja datira još od 50-tih godina

ovog vijeka. Ono predstavlja tehnološki proces koji karakteriše topljenje materijala na
mjestu spajanja – zavarivanja elemenata i odvija se bez primene dodatnog materijala.

Efekat dubinskog zavarivanja pomoću snopa elektrona, opisanog u tački 6.2, bitno se
razlikuje od uobičajenih metoda zavarivanja kod kojih se toplotna energija odaje samo na
površini, a odatle provođenjem prodire u unutrašnjost materijala. Na taj način se ostvaruju
relativno plitki a široki zavari, slika 6.24/a. Kod dubinskog zavarivanja snopom elektrona,
kako je već opisano, nastaje uska i duboka zona topljenja materijala, pa se tako obrazuju
uski i duboki zavari, slika 6.24/b. Zbog toga se primjenom ovog postupka zavarivanja
postižu vrlo visoke tačnosti, tako da se mogu zavarivati i prethodno obrađeni delovi bez
potrebe za njihovom naknadnom doradom. Najvažnije područe primene zavarivanja
elektronskim snopom ostvaruje se u konstrukciji složenih pogonskih dijelova.
Ovo zbog toga što je tehnološki skupo izraditi komplikovane dijelove pogonskih grupa iz
jednog komada.
Osim toga, izrada zupčanika sa strijelastim zubima rendisanjem, glodanjem ili
provlačenjem je vrlo teško u slučaju da se ne može obezbjediti izlaz za alat. Slično je i sa
dva ili više spojenih zupčanika, kao što su slučajevi prikazani na slikama 6.25 i 6.26 [18].

Obrada Elektronskim Snopom 32

Slika 6.24 Primjeri zavara ostvarenih na leguri titana [14] a) izveden WIG–
postupkom; b) izveden snopom elektrona

Takvi komadi se podijele na više dijelova, pojedinačno izrade, a potom precizno centriraju
i zavare snopom elektrona i koriste bez ikakve naknadne obrade. Kod velikih zupčanika i
drugih pogonskih elemenata (kaišnici, lančanici, zamajci i dr.) ovim načinom
konstruisanja postiže se, osim bolje tehnološke prohodnosti, i povoljnije iskorišćenje
materijala; primjer na slici 6.27 gde je razlika u prečnicima zupčanika vrlo velika [18].

Obrada Elektronskim Snopom 33

Slika 6.25 Primjer dvojnog zupčanika izrađenog primjenom EBM – zavarivanja

Slika 6.27 Primjer konstrukcije pogonskog zupčanika zavarenog EBM – postupkom

Slika 6.26 Propeler pumpe izrađen od dva različita materijala i zavaren snopom

Obrada Elektronskim Snopom 34

Najveći nedostatak zavarivanja snopom elektrona je potreba postojanja vakuma u prostoru
za zavarivanje, koji inače veoma korisno utiče na metalurške efekte u zoni zavara, ali je
njegovo održavanje skupo.

Radi toga su razvijene poluvakuumske mašine za zavarivanje, a poznate su i mašine koje

zavaruju snopom elektrona u atmosferi.

Pod normalnim pritiskom snop elektrona se intenzivno rasipa (zbog sudaranja elektrona
sa molekulima gasa), ali je ipak moguće ostvariti intenzitet snopa od 10 W/cm i stepen
iskorišćenja od 95%.

Obrada Elektronskim Snopom 35

LITERATURA

[1] Ardenne M, Schiller S. i dr.: Eine Elektronenstrahl–Bearbeitungsanlage vom 150 kV–

Typ. Feinwerktechnik, 70 (1966), Heft 5, str. 209÷216.
[2] Armenskij V. E, Butrin I. S, i dr. Elektronnolučevaja obrabotka. Proc. of the ISEM–
4, Brati-slava 1974, str. 3÷7.
[3] Dobeneck D.: Materialbearbeitung mit Elektronenstrahen – der Prozeß und seine
industri-elle Anwendung. TZ f. prakt. Metallbearb. 69 (1975.), Heft 5, str. 156÷159.
[4] Kief, H. K.: NC Handbuch – 79. NC – Handbuch – Verlag, Michelstadt–Stockheim,
1979, str. 250÷254.
[5] Lazić M.: Nekonvencionalni postupci obrade. Naučna knjiga, Beograd 1990, str.
124÷140.
[6] Meyer W. E.: Schnellbohren mit Elektronenstrahlen. Fertigungstechnik 102 (1980),
Nr. 73, str. 54÷55.
[7] Opitz W.: Der Elektronenstrahl als neuartiges Werkzeug. Werkstattstechnik, 51
(1961), Heft 9, str. 448÷454.
[8] Pahlitzsch G. Visser A.: Ursachen der thermischen Beeinflussung des Werkstuckes bei
der Elektronenstrahlbearbeitung. Annals of the CIRP, Vol. XVI (1968), str. 193÷201.
[9] Pahlitzsch G, Visser A.: Technologie des Werkstoffabtrages mit Elektronenstrahlen.
Indu-strie–Anzaeiger, 88 (1966.), Nr. 32, str. 653÷660.
[10] Panlitzsch G, Visser A. Herstellgenauigkeit beim Werkstoffabtrag mit Elektronen–
strahlen. Industrie–Anzeiger, 88 (1966), Nr.41, str. 859÷864.

Obrada Elektronskim Snopom 36