Actividad 1.7 Diseño Factorial 2 No Replicado: Notación de Yates Rend. (%) Notación de Yates Rend. (%)

Actividad 1.
7 Diseño factorial 25 no replicado

En una planta donde se fabrican semiconductores se requiere mejorar el rendimiento del
proceso vía diseño de experimentos. De acuerdo con la experiencia del grupo de mejora, los
factores que podían tener mayor influencia sobre la variable de respuesta (rendimiento), así
como los niveles de prueba, son los siguientes:
A: Nivel de abertura (pequeña, grande)

B: Tiempo de exposición (20% abajo, 20% arriba)
C: Tiempo de revelado (30 seg, 45 seg)
D: Dimensión de la máscara (pequeña, grande)
E: Tiempo de grabado (14.5 min, 15.5 min)
Se decide correr un experimento 25 con una sola réplica para estudiar los cinco factores.
Los resultados de cada uno de los tratamientos en orden de Yates se muestran a
continuación:
Notación de Yates Rend. (%) Notación de Yates Rend. (%)
(1) 7 e 8
a 9 ae 12
b 34 be 35
ab 55 abe 52
c 16 ce 15
ac 20 ace 22
bc 40 bce 45
abc 60 abce 65
d 8 de 6
ad 10 ade 10
bd 32 bde 30
abd 50 abde 53
cd 18 cde 15
acd 21 acde 20
bcd 44 bcde 41
abcd 61 abcde 63
a) Determina qué factores son significativos mediante el gráfico de Pareto y el gráfico
de probabilidad normal para los efectos.
b) Elimina los efectos no significativos del análisis y obtén el mejor ANOVA.
Análisis de Varianza
Fuente GL SC Ajust. MC Ajust. Valor F Valor p
Modelo 4 11585.1 2896.28 991.83 0.000
Lineal 3 11081.1 3693.70 1264.90 0.000
A:N_abertura 1 1116.3 1116.28 382.27 0.000
B:T_exposicion 1 9214.0 9214.03 3155.34 0.000
C:T_revelado 1 750.8 750.78 257.10 0.000
Interacciones de 2 términos 1 504.0 504.03 172.61 0.000
1 504.0 504.03 172.61 0.000
A:N_abertura*B:T_exposicion
Error 27 78.8 2.92
Total 31 11664.0
c) Mediante las gráficas de los efectos y de interacción determina los niveles de los
factores que se deben fijar para maximizar el rendimiento.
Los factores A, B, y C se deben de ajustar en su nivel alto.
d) Obtén el modelo de regresión (variables codificadas) para explicar el
comportamiento del rendimiento durante las pruebas.
Ecuación de regresión en unidades no codificadas
Rendimient = 30.531 + 5.906 A:N_abertura + 16.969 B:T_exposicion
o + 4.844 C:T_revelado
+ 3.969 A:N_abertura*B:T_exposicion
e) Determina el valor predicho, el intervalo de confianza y el intervalo de predicción

del 95% para el tratamiento que maximiza el rendimiento. Interpreta los resultados
obtenidos.
Predicción de respuesta múltiple

Valor de
Variable configuración
A:N_abertura grande
B:T_exposicion 0.2
C:T_revelado 45
Respuesta Ajuste EE de ajuste IC de 95% IP de 95%

Rendimient 62.219 0.675 (60.833, (58.449,
o 63.605) 65.989)
Tenemos una confianza del 95% de que el valor promedio del rendimiento
tendra un valor de 60.833 a 63.605 siempre y cuando el proceso se ajuste
a las condiciones de A, B y C dichas anteriormente, además de que un
valor individual tendrá una valor de 58.499 a 65.989.
f) Verifica los supuestos del modelo.

g) Determina qué factores son significativos mediante el gráfico de Pareto y el gráfico
de probabilidad normal para los efectos.
Diagrama de Pareto Estandarizada para Rendimiento
+
B:B: Tiempo de exposición -
A:A: Nivel de abertura
C:C: Tiempo de revelado
AB
0 10 20 30 40 50 60
Efecto estandarizado
h) Elimina los efectos no significativos del análisis y obtén el mejor ANOVA.

Análisis de Varianza para Rendimiento
Fuente Suma de Cuadrados Gl Cuadrado Medio Razón-F Valor-P
A:A: Nivel de abertura 1116.28 1 1116.28 382.27 0.0000
B:B: Tiempo de exposición 9214.03 1 9214.03 3155.34 0.0000
C:C: Tiempo de revelado 750.781 1 750.781 257.10 0.0000
AB 504.031 1 504.031 172.61 0.0000
Error total 78.8438 27 2.92014
Total (corr.) 11664.0 31
i) Mediante las gráficas de los efectos y de interacción determina los niveles de los
factores que se deben fijar para maximizar el rendimiento.
Gráfica de Efectos Principales para Rendimiento
53
43
Rendimiento
33
23
13
-1.0 1.0 -1.0 1.0 -1.0 1.0
A: Nivel de abertura B: Tiempo de exposición C: Tiempo de revelado
Gráfica de Interacción para Rendimiento
60
B: Tiempo de exposición=1.0
50
40
Rendimiento
B: Tiempo de exposición=1.0
30
20
B: Tiempo de exposición=-1.0
10 B: Tiempo de exposición=-1.0
0
-1.0 1.0
A: Nivel de abertura
Los factores A, B, y C se deben de ajustar en su nivel alto.
j) Obtén el modelo de regresión (variables codificadas) para explicar el

comportamiento del rendimiento durante las pruebas.
Rendimiento = 30.5313 + 5.90625*A: Nivel de abertura + 16.9688*B: Tiempo de exposición + 4.84375*C:
Tiempo de revelado + 3.96875*A: Nivel de abertura*B: Tiempo de exposición
k) Determina el valor predicho, el intervalo de confianza y el intervalo de predicción
del 95% para el tratamiento que maximiza el rendimiento. Interpreta los resultados
obtenidos.
l) Resultados Estimados para Rendimiento
Ajustados Inferior 95.0% Superior 95.0% Inferior 95.0% Superior 95.0%
Fila Valores para Pronóstico para Pronóstico para Media para Media
33 62.2188 58.4485 65.989 60.8328 63.6047
Tenemos una confianza del 95% de que el valor promedio del rendimiento
tendrá un valor de 60.833 a 63.605 siempre y cuando el proceso se ajuste
a las condiciones de A, B y C dichas anteriormente, además de que un
valor individual tendrá un valor de 58.499 a 65.989.
m) Verifica los supuestos del modelo.
Gráfica de Residuos para Rendimiento
1
residuo
-1
-2
-3
0 10 20 30 40
número de ejecución
Gráfica de Probabilidad Normal para Residuos
99.9
99
95
80
porcentaje
50
20
0.1
-3 -2 -1 0 1 2 3
residuos

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Actividad 1.

7 Diseño factorial 25 no replicado

A: Nivel de abertura (pequeña, grande)

e) Determina el valor predicho, el intervalo de confianza y el intervalo de predicción

Predicción de respuesta múltiple

Respuesta Ajuste EE de ajuste IC de 95% IP de 95%

f) Verifica los supuestos del modelo.

Diagrama de Pareto Estandarizada para Rendimiento

A:A: Nivel de abertura

C:C: Tiempo de revelado

h) Elimina los efectos no significativos del análisis y obtén el mejor ANOVA.

Gráfica de Efectos Principales para Rendimiento

Gráfica de Interacción para Rendimiento

Los factores A, B, y C se deben de ajustar en su nivel alto.

j) Obtén el modelo de regresión (variables codificadas) para explicar el

m) Verifica los supuestos del modelo.

Gráfica de Residuos para Rendimiento

Gráfica de Probabilidad Normal para Residuos

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