Pompes 2
Pompes 2
Pompes 2
Pompes volumétriques
par Jean LECLERC
Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale
Consultant
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POMPES À TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________
La norme NF X 10 501 donne la définition suivante d’une pompe Les pompes volumétriques se subdivisent en deux sous-groupes
volumétrique suivant la nature des mouvements mécaniques considérés :
— les pompes à déplacement alternatif dérivées des compres-
seurs à piston ;
« Pompe à vide dans laquelle un volume rempli de gaz est — les pompes à déplacement rotatif qui évitent les problèmes
isolé cycliquement de l’admission, ce gaz étant ensuite transféré mécaniques de bielles toujours plus fragiles et qui permettent
vers un refoulement. Dans la plupart des types de pompes volu- d’avoir un « écoulement gazeux » plus régulier. Quelques pompes
métriques, le gaz est comprimé avant son refoulement. On dis- récentes « dites sèches » (cf. § 1) ont d’ailleurs repris la même évo-
tingue les pompes volumétriques alternatives et les pompes lution que les compresseurs secs. On trouvera ci-après la descrip-
volumétriques rotatives ». tion sommaire des principales pompes commerciales. À partir d’un
même type de fonctionnement, il a été créé plusieurs modèles afin
de répondre à des besoins de plus en plus diversifiés : propreté du
Les pompes volumétriques comprennent aussi les pompes à vide, sécurité (norme NF EN 1012-2, cf [Doc. BM 4 273]), rejet à
injection de gaz qui sont des pompes volumétriques dans lesquelles l’environnement, facilité et coût de la maintenance, dimensionne-
un dispositif permet l’injection d’une quantité réglable d’un gaz non ment pour des débits-volumes plus importants et des pressions
condensable au cours de la phase de compression du cycle de pom- limites de plus en plus basses.
page, afin de réduire les condensations à l’intérieur de la pompe.
Ces pompes sont couramment appelées pompes à lest d’air ou Ce sous-groupe comprend :
encore à « gas ballast ». • les pompes à anneau liquide ;
• les pompes à palettes et leurs différents modèles ;
On classe aussi les pompes volumétriques suivant la qualité du
vide produit. On distingue : • les pompes Roots et leurs dérivées.
— les pompes à vide à bain d’huile qui sont des « Pompes volu-
métriques rotatives dans lesquelles on utilise un bain d’huile pour Remarque : les catalogues des constructeurs donnent quel-
assurer l’étanchéité relative des volumes à pressions différentes et quefois, pour le débit-volume (souvent appelé vitesse de pom-
pour diminuer le volume nuisible à la fin de la phase de compres- page) des pompes volumétriques, deux valeurs :
sion du cycle ». Certains constructeurs font une différence et appel- — le débit nominal : c’est le débit-volume théorique corres-
lent leurs pompes à bain d’huile : pompes à joint d’huile. Dans ces pondant au volume balayé par le mécanisme de la machine
dernières, l’étanchéité interne est plus élaborée. La construction dans l’unité de temps ;
mécanique est mieux ajustée et des mécanismes spécifiques — le débit Pneurop : c’est le débit-volume mesuré suivant la
(pompe à huile à engrenages) de maintien des joints d’huile pen- norme Pneurop 6602 ou ISO 1607/1 (cf. [Doc. BM 4 273]) et [1].
dant la compression sont mis en place. Cela se traduit par de Les pressions limites (très souvent appelées vide limite dans
meilleures performances visibles sur les courbes débit-volume en les catalogues des constructeurs) sont mesurées suivant la
fonction de la pression (figure 1) ; norme Pneurop 6602 ou ISO 1607/2 (cf. [Doc. BM 4 273]) et [1].
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__________________________________________________________________________________________________________ POMPES À TRANSFERT DE GAZ
Clapet
d'aspiration Tête de compresseur
3
4 Sortie
Clapet
Entrée
de refoulement
1
Chambre 2
de compression
Corps de pompe
Joint à lèvre 1 à 4 pistons
Sortie
Entrée
permettant un facteur de compression de l’ordre de 50 à 100 000 et b pompe opérant à basse pression
même plus.
Orifice d'entrée
Exemple 1 : cette pompe (figure 3) comporte quatre pistons d’éga- du gaz
les dimensions ; les deux premiers sont connectés en parallèle de Sortie vers
façon à obtenir un plus grand débit-volume dans le domaine des hautes l'étage suivant
pressions. Le dernier piston est à double effet (c’est-à-dire qu’il com-
prime à l’aller et au retour). Les pistons sont à segments et ont un joint Clapet
d'entrée
à lèvre à leur extrémité. Les gaz présents sur les faces arrière des pis-
tons (excepté pour le piston d’échappement) sont pompés par le pis-
ton suivant afin de diminuer les fuites du joint à lèvre.
Chaque piston a un double système de clapets. À haute pression
Clapet
(figure 3 a), les clapets fonctionnent comme dans un compresseur d'échappement
ordinaire, mais quand la pression devient trop basse (figure 3 b), Joint à lèvre
l’admission se fait par d’étroits orifices dans le cylindre (figure 3 c) pla-
cés près de l’extrémité en fin de course du piston. Les clapets d’échap- Cylindre
pement sont alors ouverts par de petits tampons butoirs en
élastomère. La surface des cyclindres est recouverte d’un matériau
plastique [poly(tétrafluoroéthylène) PTFE] ayant un faible coefficient de Piston
frottement et un très bas taux d’usure. c piston à segment
Exemple 2 : le transfert de gaz purs (c’est-à-dire ne devant pas être Figure 3 – Pompe à pistons à quatre cyclindres (doc. Varian)
pollués par la pompe), de gaz dangereux et de gaz radioactifs par pom-
page dans un réacteur chimique en vue de leur récupération sans
contamination nécessite l’utilisation de matériaux spéciaux. Cela a con-
duit à concevoir et à réaliser des machines à plusieurs étages afin Plusieurs systèmes mécaniques sont utilisés pour effectuer la
d’obtenir une pression limite convenable (figure 4). Ces machines coû- compression : à piston pendulaire, à came et excentrique (figure 5)
teuses restent indispensables dans bon nombre d’applications. ou à moteur électrique linéaire alternatif (électroaimant plus res-
sort). Certains modèles comportent deux, trois ou quatre étages en
■ Domaine d’utilisation : pompage primaire sec. série et parfois deux membranes en parallèle suivies de deux mem-
branes en série. La figure 6 représente les caractéristiques de cette
Pression : de 105 Pa à 2 Pa. dernière configuration. Le débit-volume de ces pompes dépend
légèrement de la nature des gaz pompés (figure 7). Cela est dû aux
Débit-volume : de 7,5 dm3/s à 15 dm3/s (27 m3/h à 54 m3/h). effets, d’une part, du changement du régime d’écoulement dynami-
que des gaz qui passe du régime turbulent au régime laminaire puis
transitoire et, d’autre part, aux effets thermiques (les gaz pompés se
refroidissant lors de leur entrée dans la pompe).
3.2 Pompes à membrane Les membranes en élastomères, à cause de leur nature chimique
et de leur dégazage, limitent le pompage de certains gaz.
Le moteur électrique doit avoir suffisamment de couple pour
■ Les pompes à membrane (ou diaphragm pumps chez les Anglo- décoller la membrane quand celle-ci est plaquée par la pression
Saxons) sont dérivées des petits compresseurs à membrane et sont atmosphérique en position haute (norme NF X P 10513) (cf. [Doc.
la version moderne des pompes à piston. Malgré leurs performan- BM 4 273]).
ces limitées, elles rendent de grands services pour l’obtention de
vide propre car elles sont utilisées comme pompes primaires et de ■ Domaine d’utilisation : pompage primaire.
prévidage pour les pompes à fixation, les pompes moléculaires et Débit-volume : de 0,1 dm3/s à 5 dm3/s (0,3 m3/h à 18 m3/h).
turbomoléculaires hybrides. Elles servent aussi au laboratoire pour
le pompage dans le domaine du vide grossier et pour le transfert de Pression limite : pompes monoétagées : de 105 Pa à 2 x 102 Pa ;
gaz vers les appareils d’analyse. pompes à quatre étages : de 105 Pa à 2 Pa.
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Entrée Sortie
1. Aspiration
11 11 11
1 12 1 12 1 12
2 2 2
3 10 3 4
10 4 10 5
3
6
8 7 8 7 8 7
9 9 9
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0,6
10 2 5 100 2 5 1 000 Revêtement
Pression p (hPa) céramique
Débit-volume S (L /min)
Aspiration
Soufflet
40 métallique
Débit-volume à 50 Hz Espace
de séparation
30 Roulements
Double soufflet Corps
métallique Contrôle d'étanchéité
20 Plateau rotulant Arbre
Moyeu
Roulements
10
Figure 8 – Pompe à plateau basculant (doc. SRTI)
0
2 5 2 5 2 5
1 10 102 L’étanchéité sur les surfaces en frottement durant la compression est
Pression d'entrée (hPa) assurée par un dépôt de céramique.
pompe à 4 étages avec de l'hélium ■ Domaine d’utilisation : pompage primaire sec.
pompe à 4 étages avec du diazote
Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
pompe à 3 étages avec de l'hélium
pompe à 3 étages avec du diazote Débit-volume : de 7 dm3/s à 110 dm3/s (25 m3/h à 400 m3/h).
pompe à 2 étages avec de l'hélium
pompe à 2 étages avec du diazote
Figure 7 – Influence de la nature du gaz pompé pour les pompes 4. Pompes rotatives
à membrane (doc. Vacuubrand)
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Aspiration
Refoulement
a b c d
Lors de la mise en rotation de la roue, la force centrifuge résultant — l’étanchéité entre les orifices d’aspiration et de refoulement
de la rotation crée un anneau liquide concentrique à la roue n’est jamais parfaite.
(figure 9 b). Le volume des alvéoles constituées entre les aubes et
l’anneau liquide ne varie pas au cours d’un cycle. En outre, la pression de vapeur du liquide de l’anneau, compte
tenu de sa température réelle, ajoutée à celle des gaz et des vapeurs
Si l’on excentre la roue par rapport au corps, cela entraîne une pompées, intervient sur les performances débit-volume et pression
variation du volume de chaque alvéole au cours du cycle limite de la pompe.
(figure 9 c). Dans un premier temps, le volume des alvéoles croît
régulièrement, créant une zone de dépression. Dans un second La figure 11 montre les caractéristiques débit-volume/pression
temps, le volume des alvéoles diminue régulièrement, créant ainsi d’une pompe pour différentes températures de l’anneau liquide
une zone de compression. L’anneau de liquide qui limite le volume dans le cas de l’eau.
de chaque alvéole joue le rôle de piston liquide.
■ Taux de compression
En équipant les faces latérales du corps de deux orifices en forme
de croissant, il est possible de profiter de la zone de dépression pour L’énergie cinétique de l’anneau liquide est un élément détermi-
aspirer un fluide gazeux, puis de le refouler à la fin de la zone de nant pour le rapport de compression de la pompe. En effet, dans la
compression à travers l’orifice correspondant (figure 9 d). partie aspiration, la roue transmet au liquide une énergie cinétique
Les pompes à anneau liquide travaillent sans frottement mécani- qui est fonction de la vitesse de la roue, de sa géométrie et de la
que. Elles peuvent donc tourner à des vitesses élevées (jusqu’à masse volumique du liquide. Puis, dans sa partie refoulement, le
3 000 tr/min). Cependant, l’anneau liquide frotte sur le stator et sa liquide restitue une partie de son énergie cinétique au gaz pour le
température s’éléverait fortement s’il n’était constamment renou- comprimer et, ainsi, le refouler.
velé. Cela oblige à des montages du type donné sur la figure 10. Un On montre qu’il existe [9], pour une configuration donnée, un rap-
constructeur, pour les petits modèles, incorpore dans une seule port de compression maximal tel que :
machine avec un seul moteur électrique un échangeur refroidi par
air.
p 2 ρχ 2 u 2
-----2- = ----- ----------------- + 1
■ Débit-volume et pression limite p max 3 2 p1
1
Comme dans toute pompe à vide, le débit-volume et la pression
limite sont affectés par les fuites internes. Celles-ci ont deux avec masse volumique du liquide (kg/m3),
origines :
coefficient lié à la vitesse de l’anneau liquide,
— l’anneau liquide n’est pas parfaitement tangent au moyeu, il y
a donc un faible débit d’autoalimentation de la pompe qui réduit le u vitesse périphérique du liquide à la partie
débit théorique ; inférieure de l’anneau (m/s).
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6 °C
15
à
u
5 Ea 20
25
27
4
29
32
3
2
Le liquide refoulé n'est pas réutilisé.
La pompe est alimentée directement, sous faible pression 1
(0,3 bar effectif maximum)
N = 750 tr/min
1
p 2max = --- [ ρχ 2 u 2 + 2 p 1 ]
3
Le liquide refoulé se sépare du gaz dans un réservoir, on en recycle Si la valeur maximale du taux de compression venait à être
une partie que l'on complète par un apport de liquide frais. dépassée, l’énergie cinétique de l’anneau serait insuffisante pour
Économie de 20 % à 50 % et plus suivant la température.
assurer la compression et maintenir l’anneau liquide. On assisterait
b fonctionnement en recyclage partiel alors à l’effondrement des caractéristiques de la pompe.
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Débit-volume (m3/h)
1
140
Stator
2
120 1
1
2
100
Rotor
1 2
Fentes 80
2
1
2
60
1
2
40
Cellule Palette
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Air Réservoir
Refoulement d'huile
Air Déshuileur
et
huile Niveau
Indicateur d'huile
de niveau Huile
d'huile Clapets
antiretour
Valve
solénoïde Aspiration
Chambre
de compression
Arbre moteur Glissière
Stator Rotules
Chambre
Piston d'aspiration
Excentrique
Eau
de refroidissement
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Remarque : choix de l’huile dans les pompes à joint d’huile. 4.4.1 Principe
L’huile, dans ces pompes, remplit quatre fonctions :
Deux rotors de profils identiques et conjugués, couplés par des
engrenages, tournent en sens inverse l’un de l’autre dans un carter,
— étancher les fuites internes entre les organes en mouvement
sans que les rotors ne se touchent ni ne touchent le carter (figure
relatif, d’où l’appellation joint d’huile ;
23). Dans la rotation, chaque rotor crée entre lui et le stator un
espace variable croissant du côté de l’aspiration, décroissant du
— éliminer la chaleur engendrée par la compression du gaz,
côté du refoulement et produisant ainsi l’effet de pompage (cf. pha-
l’huile agissant comme un fluide caloporteur ;
ses I à IV, figure 23).
— lubrifier les organes en mouvement ; Le gaz véhiculé est transmis de la chambre d’aspiration à celle de
refoulement sans compression interne, la pression au refoulement
— « laver » en permanence l’intérieur du corps de pompe et per- étant déterminée par la résistance du circuit en aval.
mettre ainsi le pompage de gaz chargés de très fines poussières. Les jeux entre les rotors et entre ceux-ci et le stator sont faibles
(de l’ordre de 0,1 mm à 1 mm suivant les tailles des machines et les
On demandera donc aux huiles un certain nombre de propriétés positions considérées), de sorte qu’une lubrification des organes
qui pourraient être contradictoires (cf. encadré). internes de la chambre de compression est inutile et que le gaz véhi-
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1 800 tr/min
I II
10–2
Refoulement
10–3
10–2 10–1 1 10 102 103
Pression d'aspiration (hPa)
p2 (refoulement)
K=
p1 (aspiration)
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Aspiration Aspiration
Refoulement
Refoulement
Aspiration
Figure 29 – Schéma d’une pompe à vide Roots avec by-pass
et clapet de compensateur de pression intégrés (doc. Leybold)
Nota : ces pompes, de construction récente, n’ont pas encore reçu de dénominations
normatives et sont souvent appelées sous le vocable de pompes sèches (dry en anglais).
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Transmission Injection
hydraulique- de gaz
mécanique
Entraînement Joint
principal Sonde contrôle
température
Étage primaire
Barrière gazeuse
Étage secondaire
Ventilateur
Troisième étage
1 2 3 4
Circulateur
refroidissement
Bride d'aspiration
Bride de refoulement
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Ce mode de fonctionnement procure un taux de compression pouvoir fonctionner dès la pression atmosphérique jusqu’à quel-
élevé. Il faut, par ailleurs, remarquer que le pas de chaque rotor ques pascals sans utiliser de systèmes de refroidissement au refou-
étant constant, la compression se produit dans la dernière demi- lement et sans nécessiter de vanne de dérivation de pression.
spire avant le refoulement. Il résulte de cela un échauffement impor-
tant à ce niveau. On a pu y relever des températures supérieures à ■ Les deux rotors (figure 35) de forme cylindrique à base circulaire
300 °C. Ces températures sont abaissées par injection de gaz exté- sur presque toute leur circonférence présentent une cavité suivie
rieur comme dans certaines pompes Roots multiétagées ; il est en par un bec protubérant sur un secteur. Lors de la rotation, un des
effet préférable d’éviter des températures trop élevées si elles becs vient se loger dans la cavité du rotor et vice versa. Les lumières
s’approchent du point d’inflammation des solvants pompés. d’aspiration par détente et de refoulement par compression sont
positionnées de manière axiale, contrairement au mécanisme Roots
La dilution présente toutefois des inconvénients dans les applica- où le positionnement est radial. Lorsque les deux rotors sont en
tions comportant une récupération par condensation au refoule- rotation, le gaz est capté via une lumière d’aspiration qui se trouve
ment. La présence de plus grandes quantités d’incondensables peut alignée avec la cavité d’un des rotors. Au fur et à mesure de la rota-
imposer l’adjonction de dispositifs spéciaux. Dans ce cas, la pompe tion, l’aspiration est isolée et le volume de gaz est comprimé par les
est alors refroidie par une chemise d’eau dont on régule la tempéra- becs jusqu’à ce que la cavité du second rotor soit en communication
ture en fonction des pressions partielles de vapeur. avec les lumières de refoulement (figure 36). Les rotors jouent le
■ Domaine d’application : pompe primaire sèche. rôle de clapets. Le faible volume mort du gaz restant est reconduit
au cycle de pompage suivant.
Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
Débit-volume : de 20 dm3/s à 750 dm3/s (72 m3/h à 2 700 m3/h). ■ Le principe à becs procure un meilleur taux de compression que
le mécanisme Roots à une pression de 100 Pa (figure 37). Les mesu-
res montrent qu’une valeur de 50 est atteinte à 100 Pa pour chuter à
25 à la pression atmosphérique. Les conductances à l’aspiration
4.7 Pompes à becs sont différentes pour les deux mécanismes : l’effet de clapet produit
par les rotors à becs (la lumière est graduellement ouverte et fer-
mée) est plus restrictif, tandis que le mécanisme Roots offre une
Contrairement au principe Roots, le mécanisme à becs (claw en meilleure conductance, ce qui induit une plus grande capacité
anglais) est un véritable compresseur qui présente l’avantage de d’aspiration à des pressions inférieures à 100 Pa.
Bec de rotor
Refoulement
Aspiration
a étage à bec
Lumière
Lumière de refoulement
d'aspiration Aspiration
Compression Refoulement
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Aspiration
Pignons synchronisés
Étage type Roots
Entrée
Sortie
Étages à bec
Arbre moteur
Figure 38 – Pompe à bec avec premier étage Roots (doc. BOC Edwards)
Refoulement
Aspiration
Taux
de compression
60
50
Étage à becs Étage
40 à bec
inversé
30
20 Étage Roots
10
0 Refoulement
10–3 10–2 10–1 1 10 102 103
Pression d'aspiration (hPa) Figure 39 – Pompe à bec avec inversion d’un lobe (brevet Edwards)
Compte tenu du taux de compression, il est nécessaire d’assem- ■ Domaine d’utilisation : pompe primaire sèche.
bler plusieurs étages de rotors à becs (trois à quatre). Un modèle Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
commence d’ailleurs par un étage Roots suivi de 3 étages à becs
(figure 38). Débit-volume : de 15 dm3/s à 175 dm3/s (54 m3/h à 630 m3/h).
Une autre version de pompe sèche à becs, qui offre une pression
limite de l’ordre de 10 Pa, consiste à l’empilement sur un axe de trois
étages de rotors à becs mais dont les rotors au niveau du second 4.8 Pompes à spirales
étage sont en position inversée de manière que la lumière de refou-
lement du premier étage soit en communication directe avec la
lumière d’aspiration du second (figure 39). Cette disposition permet Ces pompes (scroll pumps en anglais) ont été créées en France
un trajet des gaz plus direct à travers la pompe, entraînant une dans les années 60 pour l’industrie nucléaire (séparation isotopique
meilleure conductance limitant, de plus, la consommation d’éner- de l’hexafluorure d’uranium) par la société Normetex (brevet P. Vul-
gie. liez). On recherchait une pompe pour transférer l’hexafluorure d’ura-
nium à 80 °C.
Un autre avantage de cette configuration est de diminuer la corro-
sion et le dépôt des particules. Comme dans toutes les pompes Ces machines sont entièrement en acier inoxydable et les joints
Roots multiétagées, la température des gaz va en croissant et il est sont métalliques (hélicoflex ®). L’étanchéité au niveau du mouve-
nécessaire d’avoir une chemise de refroidissement par circulation ment est assurée par un soufflet métallique (figure 41). Cette
d’eau dont la température est régulée. Les passages d’arbre peu- pompe, très coûteuse et réservée aux applications nucléaires, a
vent comporter un dispositif de balayage à l’aide de gaz neutre pour cependant servi de modèle pour des réalisations plus simples. La
éviter tout contact des gaz de procédés avec la garniture et éviter chambre est alors en alliage léger et les joints en élastomère
toute rétrodiffusion dans le circuit (les paliers étant graissés avec (Viton ®). Certaines parties sont recouvertes de PTFE pour diminuer
des produits type graisse polyether perfluorée). la corrosion lorsque des gaz actifs sont pompés (figure 42).
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Débit-volume S (m3 / h)
100 Aspiration Refoulement
8
6
Spirale fixe
4
2
Spirale mobile
10 Caisson
8
6
4
Anneau de protection
2
Arbre de rotation
1 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68 2 4 68
10–3 10–2 10–1 1 10 102 103
Pression (hPa)
Figure 40 – Caractéristiques d’une pompe à bec d’un débit-volume Figure 42 – Pompe à spirale spéciale (éclaté) (doc. Varian)
de 100 m3/h
Moteur 90 °
d'entraînement Vilebrequin
Spirale mobile
Paliers animée d'une
du vilebrequin translation
circulaire
C D
Spirale fixe
Paliers 0° Compression
du vilebrequin Aspiration
Membrane
souple
180 °
Filtre
d'aspiration
Poche
Aspiration
Refoulement Aspiration
360 °
Compression
circuit de pompage
circuit d'huile
Deux couloirs spiralés sont imbriqués l’un dans l’autre, l’un est
Refoulement
fixe et l’autre se déplace d’un mouvement de translation circulaire
(figure 43). Le déplacement relatif entre les deux spirales crée une
série de volumes en forme de croissants qui sont plus grands à la
périphérie et deviennent plus petits au fur et à mesure que l’on se
rapproche du centre. Les gaz sont ainsi comprimés par diminution
du volume et évacués à l’extérieur.
Compression
■ Domaine d’utilisation : pompe primaire sèche.
Pression : de 105 Pa à 1 Pa.
Débit-volume : de 7 dm3/s à 40 dm3/s (20 m3/h à 150 m3/h). Figure 43 – Mécanisme d’une pompe à spirale
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